【技术实现步骤摘要】
一种双体镀膜机
[0001]本技术涉及一种双体镀膜机，属于PVD镀膜领域。
技术介绍
[0002]目前，在市场上销售的镀膜机普遍为单体镀膜机组，请参阅图1，所谓单体镀膜机组，即一个设备只有一个真空镀膜腔体1'。单体镀膜机的一个腔体1'配备一套真空泵组2'，一组电源3'，一个电柜4'。真空泵组2'用于抽气获得成膜所需真空；电源3'用于离子清洗供电、溅射成膜供电；电柜4'用于所有电源控制。真空泵组2'包括机械泵/罗茨泵21'、分子泵22'和维持泵23'。真空镀膜设备的使用，其步骤包括：
[0003]S1，真空泵组抽气获得所需真空度
[0004]S11，机械泵/罗茨泵21'抽气获得真空度a；
[0005]S12，在真空1的条件下开启分子泵22'抽气获得真空度b，并启动维持泵23'维持真空度；
[0006]S2，离子清洗；
[0007]S3，溅射沉积成膜。
[0008]通常的抽气过程需要的时间为50～500min，离子清洗过程需要的时间为5～120min，溅射镀膜的时间为20～500m...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双体镀膜机，其特征在于，包括两个独立共存的镀膜腔体，两个独立共存的镀膜腔体公用一组电源、和/或一个电柜、和/或一组机械泵/罗茨泵，每个镀膜腔体的抽气口上均设置有分子泵和与其相连的维持泵；两个镀膜腔体的抽气口分别与所述机械泵/罗茨泵相连；每个镀膜腔体镀膜时均包括抽气步骤、离子清洗步骤...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐智，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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