检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种检测设备，包括机架、机械臂组件和固定件，机械臂组件包括固定台与机械臂本体，固定台安装于机架，机械臂本体与固定台连接，固定件安装于机架，固定件包括安装部和限位部，限位部与安装部固定连接，限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位。本实用新型专利技术技术方案通过采用在机架上安装多个固定件，固定件的限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位，进而防止安装在机械臂本体上的吸附前端在使用或移动过程中出现摆动或振动、影响到吸附前端对晶圆的吸附过程。吸附过程。吸附过程。

【技术实现步骤摘要】
检测设备


[0001]本技术涉及机械生产
，特别涉及一种检测设备。

技术介绍

[0002]生产制造物料的过程中，需要使用到机械臂组件来对物料进行转移操作。
[0003]特别是应用到晶圆上，一般采用机械臂组件来转移晶圆，机械臂组件上包括用于吸附晶圆的机械手或吸附前端，吸附前端的吸附口通过真空吸附的方式固定晶圆。但在使用机械手吸附晶圆时，吸附前端会由于移动出现振动的问题，进而容易出现晶圆结构歪斜或是固定晶圆的结构晃动，甚至会出现晶圆从吸附前端脱落的情况发生。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提供一种检测设备，旨在解决机械臂组件移动晶圆时出现的振动问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的检测设备，包括：
[0006]机架；
[0007]机械臂组件，所述机械臂组件包括固定台与机械臂本体，所述固定台安装于所述机架，所述机械臂本体与所述固定台连接；
[0008]固定件，所述固定件安装于所述机架，所述固定件包括安装部和限位部，所述安装部安装于所述机架，所述限位部与所述安装部固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括机架；机械臂组件，所述机械臂组件包括固定台与机械臂本体，所述固定台安装于所述机架，所述机械臂本体与所述固定台连接；固定件，所述固定件安装于所述机架，所述固定件包括安装部和限位部，所述安装部安装于所述机架，所述限位部与所述安装部固定连接，所述限位部与所述固定台的侧壁相接触，以对所述机械臂组件进行限位。2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述安装部包括底板和连接部，所述连接部连接所述底板和所述限位部，所述底板安装于所述机架。3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述连接部包括多个支柱，多个所述支柱连接所述底板和所述限位部。4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述底板的两侧设有多个安装孔，以将所述安装部安装到所述机架上。5.如权利要求2所述的检测设备，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，方一，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：