堵塞清理装置、容器及容器的压力检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及气体处理技术领域，本发明专利技术提供一种堵塞清理装置、容器及容器的压力检测方法。其中，堵塞清理装置包括连接管、清理件和驱动件，连接管的一端适于与被堵塞开口的连接部连接；清理件设于所述连接管内；驱动件连接于所述连接管；驱动件用于驱动所述清理件沿所述连接管的延伸方向运动，以使所述清理件推动堵塞物运动。本发明专利技术提供的堵塞清理装置，用以解决现有技术中管路容易堵塞的缺陷，驱动件驱动清理件在连接管内运动，结构简单、方便拆装且适用于小孔径的开口处的堵塞物清理。适用于小孔径的开口处的堵塞物清理。适用于小孔径的开口处的堵塞物清理。

【技术实现步骤摘要】
堵塞清理装置、容器及容器的压力检测方法


[0001]本专利技术涉及气体处理设备
，尤其涉及一种堵塞清理装置、容器及容器的压力检测方法。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，以及其他的化工加工领域，需要对废气进行处理。在半导体废气处理过程中，往往因制程气体处理而产生大量粉尘，这些粉尘形成堆积后会造成管路堵塞，严重到因负压报警而导致设备宕机。
[0003]对于管路堵塞，通常通过借整机的方式，即整个废气处理设备需要停下来进行清理，清除堵塞点后，再开机。如果想不停机进行清理，管路粗的通常会增加刮刀，但该方案占用的空间较大，需要在本来就紧凑的机台内部增加刮刀部件，同时伴有卡顿等异常现象，可行性较低。在不停机情况下，对于较细的管路，例如负压侦测管路，一般采用手动清理，手动清理具有气体泄漏的风险，气体具有毒性时，气体泄漏又会造成人身健康损害。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种堵塞清理装置，用以解决现有技术中管路容易堵塞的缺陷，驱动件驱动清理件在连接管内运动，结构简单、方便拆装且适用于小孔径的开口处的堵塞物清理。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种堵塞清理装置，其特征在于，包括：连接管，一端适于与被堵塞开口的连接部连接；清理件，设于所述连接管内；驱动件，连接于所述连接管；用于驱动所述清理件沿所述连接管的延伸方向运动，以使所述清理件推动堵塞物运动。2.根据权利要求1所述的堵塞清理装置，其特征在于，所述驱动件的输出端连接齿轮，所述连接管内设置齿形条，所述齿轮与所述齿形条相啮合。3.根据权利要求2所述的堵塞清理装置，其特征在于，所述齿形条的两端设置有止动面。4.根据权利要求1所述的堵塞清理装置，其特征在于，所述驱动件为步进电机。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的堵塞清理装置，其特征在于，所述清理件包括杆部和连接于所述杆部的一端的球面部，所述杆部连接于所述驱动件。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：