一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，具体涉及一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚，包括外壳和清洁组件；清洁组件包括电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个弹簧、两个固定板和两个毛刷，使用时，启动气缸，使得气缸的输出端能够推动推杆，推杆移动，可以将位于卡槽内的固定板顶出，开始拉伸弹簧，固定板在卡槽内移动，带动毛刷移动，使得毛刷能够接触到外壳的内壁，将清水倒入外壳内，启动电机，带动转轴转动，使得搅拌釜跟随转动，带动卡槽内固定板上的毛刷跟随转动，可以对外壳内壁进行清洗，解决现有坩埚不方便清洁的问题。解决现有坩埚不方便清洁的问题。解决现有坩埚不方便清洁的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚


[0001]本技术涉及半导体
，具体涉及一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚。

技术介绍

[0002]坩埚是一种用耐火材料制成的容器，可用于固体物质的灼烧、溶液的蒸发结晶等。
[0003]目前，现有技术(CN204752904U)公开了一种坩埚，应用于多晶硅铸锭生产，坩埚包括侧壁及连接侧壁的底壁，侧壁上设凹坑结构，凹坑结构沿侧壁高度方向设置并延伸至底壁。本技术提供的坩埚通过在坩埚的侧壁上设置凹坑结构，从而替代了现有的采用侧壁平整的设计，当在多晶硅的长晶阶段时，侧壁上生长的晶体由于多个凹坑结构的作用，能够在坩埚侧壁上形成小晶粒，从而能够使得晶体的生长方向与中心生长的晶体的生长方向一致，同时由于小晶粒相对于原有的大晶粒的生长应力小，因而能够释放一定的生长应力，使得作用在侧壁晶体上的生长应力减少，有利于侧壁晶体的生长，并能够减少生长成的晶体的位错，故而能够提高晶体的生长质量，同时能够进一步提高后续硅片的转化率。
[0004]但是，采用上述方式，在坩埚使用完毕后，不方便对坩埚的清洁。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚，旨在解决现有坩埚不方便清洁的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚，所述具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚包括外壳和清洁组件；所述清洁组件包括电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个弹簧、两个固定板和两个毛刷，所述电机与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的一侧，所述转轴与所述电机的输出端固定连接，并位于所述电机的一侧，所述搅拌釜与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧，所述搅拌釜具有凹槽和两个卡槽，所述凹槽位于所述搅拌釜的顶部，两个所述卡槽分别位于所述搅拌釜两侧，两个所述气缸分别与所述搅拌釜固定连接，并分别位于所述凹槽内，两个所述推杆分别与两个所述气缸的输出端固定连接，并分别位于两个所述气缸输出端的侧边，两个所述弹簧分别与所述搅拌釜固定连接，并位于所述搅拌釜两侧，两个所述固定板与所述搅拌釜滑动连接，且分别与两个所述弹簧固定连接，并分别位于两个所述卡槽内，所述毛刷与所述固定板固定连接，并分别位于两个所述固定板的侧边。
[0007]其中，所述清洁组件还包括保护壳，所述保护壳与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧。
[0008]其中，所述搅拌釜包括两个连接件和两个桨叶，两个所述连接件分别与所述保护壳固定连接，并分别位于所述保护壳的一侧，两个所述桨叶与两个所述连接件固定连接，并分别位于两个所述连接件的两侧。
[0009]其中，所述外壳包括壳体、端盖和把手，所述壳体与所述电机固定连接，并位于所
述电机的一侧，所述端盖与所述壳体螺纹连接，并位于所述壳体的一侧，所述把手与所述壳体固定连接，并位于所述壳体的一侧。
[0010]其中，所述壳体具有隔离腔，所述隔离腔位于所述壳体靠近所述电机的一侧。
[0011]本技术的一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚，所述具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚包括外壳和清洁组件；所述清洁组件包括电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个弹簧、两个固定板和两个毛刷，所述电机与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的一侧，所述转轴与所述电机的输出端固定连接，并位于所述电机的一侧，启动所述电机，所述转轴开始转动，所述搅拌釜与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧，所述搅拌釜具有凹槽和两个卡槽，所述凹槽位于所述搅拌釜的顶部，两个所述卡槽分别位于所述搅拌釜两侧，所述转轴开始转动，带动所述搅拌釜开始转动，两个所述气缸分别与所述搅拌釜固定连接，并分别位于所述凹槽内，两个所述推杆分别与两个所述气缸的输出端固定连接，并分别位于两个所述气缸输出端的侧边，两个所述弹簧分别与所述搅拌釜固定连接，并位于所述搅拌釜两侧，两个所述固定板与所述搅拌釜滑动连接，且分别与两个所述弹簧固定连接，并分别位于两个所述卡槽内，所述毛刷与所述固定板固定连接，并分别位于两个所述固定板的侧边，启动所述气缸，使得所述气缸的输出端推动所述推杆，所述推杆推动所述卡槽内的所述固定板移动，使得所述弹簧开始拉伸，使得所述毛刷能够接触所述外壳的内壁，完成清洗后，所述气缸的输出端开始收回，带动所述推杆收回，所述弹簧开始压缩，带动所述固定板收回，使用时，启动所述气缸，使得所述气缸的输出端能够推动所述推杆，所述推杆移动，可以将位于所述卡槽内的所述固定板顶出，开始拉伸所述弹簧，所述固定板在所述卡槽内移动，带动所述毛刷移动，使得所述毛刷能够接触到所述外壳的内壁，将清水倒入所述外壳内，启动所述电机，带动所述转轴转动，使得所述搅拌釜跟随转动，带动所述卡槽内固定板上的所述毛刷跟随转动，可以对所述外壳内壁进行清洗，完成清洗后，所述气缸的输出端收回，使得所述推杆跟随收回，使得所述弹簧开始压缩，可以将所述固定板收回所述卡槽内，避免在进行其他工序时有杂物进入所述毛刷，导致清洗效果差，解决现有坩埚不方便清洁的问题。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术提供的一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚的结构示意图。
[0014]图2是本技术提供的一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚的剖视图。
[0015]图3是图2细节A的局部放大图。
[0016]1‑
外壳、2
‑
清洁组件、11
‑
壳体、12
‑
端盖、13
‑
把手、21
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电机、22
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转轴、23
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搅拌釜、24
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气缸、25
‑
推杆、26
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弹簧、27
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固定板、28
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毛刷、29
‑
保护壳、111
‑
隔离腔、231
‑
凹槽、232
‑
卡槽、233
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连接件、234
‑
桨叶。
具体实施方式
[0017]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0018]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚，其特征在于，所述具有自清洁功能的硫化锌球罩加工用坩埚包括外壳和清洁组件；所述清洁组件包括电机、转轴、搅拌釜、两个气缸、两个推杆、两个弹簧、两个固定板和两个毛刷，所述电机与所述外壳固定连接，并位于所述外壳的一侧，所述转轴与所述电机的输出端固定连接，并位于所述电机的一侧，所述搅拌釜与所述转轴固定连接，并位于所述转轴的一侧，所述搅拌釜具有凹槽和两个卡槽，所述凹槽位于所述搅拌釜的顶部，两个所述卡槽分别位于所述搅拌釜两侧，两个所述气缸分别与所述搅拌釜固定连接，并分别位于所述凹槽内，两个所述推杆分别与两个所述气缸的输出端固定连接，并分别位于两个所述气缸输出端的侧边，两个所述弹簧分别与所述搅拌釜固定连接，并位于所述搅拌釜两侧，两个所述固定板与所述搅拌釜滑动连接，且分别与两个所述弹簧固定连接，并分别位于两个所述卡槽内，所述毛刷与所述固定板固定连接，并分别位于两个所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘乾生，
申请(专利权)人：重庆三航光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：