一种电化学气体传感器及其制作方法技术

本发明专利技术涉及气体传感器技术领域，提供一种电化学气体传感器及其制作方法。本发明专利技术的传感器包括衬底层、电极层，衬底层包括基底层、绝缘层；电极层设置在绝缘层上表面，电极层包括四个导出电极，四个导出电极的尾端分别设置有四个引线电极，四个引线电极从左到右依次排列且在尾端分别设置有对电极、第一、二工作电极、参比电极；第一、二工作电极为环形叉指电极对，对电极为不封闭环状且环扩环形叉指电极对，参比电极位于环形叉指电极对的右侧。本发明专利技术能够避免长期工作在液态环境中造成的电极气敏材料脱落，减少工作电极化学反应导致的工作表面电荷积累，提高溶解气体检测的精确度、可靠性与稳定性，体积小、成本低、制作工艺简单、易规模化生产。化生产。化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种电化学气体传感器及其制作方法


[0001]本专利技术涉及气体传感器
，尤其是涉及一种电化学气体传感器及其制作方法。

技术介绍

[0002]液体如工厂废水、河流、人体液等会溶解气体，对这些液态环境中溶解态气体的检测技术相比于对气态环境中气体的检测技术要复杂得多且设备成本更加高昂。因此，迫切需要开发低成本、简单易操作的用于溶解气体检测的传感器。
[0003]气体传感器，尤其是电化学气体传感器，是一类能够有效检测液态环境中溶解气体的传感器。其通过构建可靠的三电极体系，利用工作电极与检测气体的特异性反应，可以快速、精确地测定溶解气体的种类和浓度，有利于液态环境的检测。然而，由于长期工作在液态环境中，现有电化学气体传感器上常规的气敏材料容易发生脱落，同时液态环境中反应离子和产物易在电极表面堆积，形成电荷累积。电化学气体传感器中工作电极耐腐蚀性能低下以及工作表面易积累电荷，导致气体检测的可靠性与稳定性较低，成为气体传感器领域亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种电化学气体传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电化学气体传感器，包括衬底层、电极层，其特征在于：所述衬底层包括基底层(11)、设置在基底层(11)上表面的绝缘层(12)；所述电极层设置在所述绝缘层(12)的上表面，所述电极层包括四个导出电极(25)，四个导出电极(25)的尾端分别设置有第一引线电极(241)、第二引线电极(242)、第三引线电极(243)、第四引线电极(244)，所述第一引线电极(241)、第二引线电极(242)、第三引线电极(243)、第四引线电极(244)从左到右依次排列且在尾端分别设置有对电极(21)、第一工作电极(221)、第二工作电极(222)、参比电极(23)；所述第一工作电极(221)、第二工作电极(222)为环形叉指电极对，所述对电极(21)为不封闭环状且环扩所述环形叉指电极对，所述参比电极(23)位于所述环形叉指电极对的右侧。2.根据权利要求1所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述绝缘层(12)的上表面为平面。3.根据权利要求1所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述环形叉指电极包括第一半环形电极段、设置在所述第一半环形电极段内侧且与所述第一半环形电极段同心的第二半环形电极段，所述第一半环形电极段的中部内侧与所述第二半环形电极段的中部外侧通过中间电极段连接，所述第二引线电极(242)、第三引线电极(243)的尾端分别与所述第一工作电极(221)、第二工作电极(222)的第一半环形电极段的中部外侧连接，所述第一工作电极(221)、第二工作电极(222)互相嵌套。4.根据权利要求3所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述第三引线电极(243)为向所述第二引线电极(242)弯曲的弯钩状。5.根据权利要求4所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述第三引线电极(243)包括依次连接的第一条状电极段、第二条状电极段、第三条状电极段，所述第一条状电极段与对应的导出电极(25)连接，所述第一条状电极段、第三条状电极段均平行于所述第二引线电极(242)，所述第三条状电极段朝向所述第二引线电极(242)的尾端。6.根据权利要求1所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述环形叉指电极对设置在所述对电极(21)的内侧，所述对电极(21)的尾端位于所述环形叉指电极对的右侧。7.根据权利要求1所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述绝缘层(12)采用热氧化法或PECVD法制备，各导出电极、各引线电极、对电极(21)、参比电极(23)采用磁控溅射法制备，各工作电极采用磁控溅射法或电化学沉积法或丝网印刷法制备。8.根据权利要求1所述的电化学气体传感器，其特征在于，所述基底层(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓，魏千惠，
申请(专利权)人：有研工程技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：