精密垂直升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种精密垂直升降装置，其包括底座、安装座、伺服电机、滚珠丝杆、移动座、升降平台、弹性连接件和光栅传感器，安装座设于底座；伺服电机设于安装座；滚珠丝杆可转动地设于安装座且与伺服电机的输出端连接；移动座与滚珠丝杆的螺母连接，且在伺服电机的驱动下与底座滑动配合，移动座远离底座的一侧具有第一斜面；升降平台与滑动座之间设有滑动配合机构，升降平台沿着第一斜面的方向与移动座滑动配合；弹性连接件设于升降平台的两侧且与底座连接，以限制升降平台的水平运动同时平衡升降平台的部分重力；光栅传感器用于检测移动座相对于底座的移动距离，该精密垂直升降装置结构简单、行程大、精度高且能够承载高质量工件。精度高且能够承载高质量工件。精度高且能够承载高质量工件。

【技术实现步骤摘要】
精密垂直升降装置


[0001]本技术涉及生物检测、晶圆检测及加工装置
，特别涉及一种精密垂直升降装置。

技术介绍

[0002]在生物检测、晶圆检测或者激光加工过程中，由于工件体积较大且质量较高，一般采用工件不动、光学零部件上下运动的方式以实现，从而降低了安装精度的要求。
[0003]但由于整体光学模块需要上下运动，带来光学模块装调难度高、精度低、体积笨重且行程较小的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提供一种精密垂直升降装置，旨在一种结构简单、行程大、精度高且能够承载高质量工件的精密垂直升降装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的精密垂直升降装置，用于承载被控工件并上下移动，所述精密垂直升降装置包括：
[0006]底座；
[0007]安装座，所述安装座设于所述底座；
[0008]伺服电机，所述伺服电机设于所述安装座；
[0009]滚珠丝杆，所述滚珠丝杆可转动地设于所述安装座，且与所述伺服电机的输出端连接，所述滚珠丝杆具有螺母；
[0010]移动座，所述移动座与所述螺母连接，且在所述伺服电机的驱动下与所述底座滑动配合，所述移动座远离所述底座的一侧具有第一斜面；
[0011]升降平台，所述升降平台与所述滑动座之间设有滑动配合机构，所述升降平台沿着所述第一斜面的方向与所述移动座滑动配合；
[0012]弹性连接件，所述弹性连接件有两个且位于所述升降平台的相对两侧，所述弹性连接件分别与所述升降平台和所述底座连接，以限制所述升降平台的水平运动同时平衡所述升降平台的部分重力；
[0013]光栅传感器，所述光栅传感器包括读数头和光栅尺，所述读数头设于所述底座，所述光栅尺设于所述移动座；
[0014]所述伺服电机驱动所述移动座在水平方向上移动，以使得所述升降平台在垂直方向上移动。
[0015]可选地，所述底座包括：
[0016]底板，所述安装座设于所述底板，所述移动座与所述底板滑动配合；
[0017]支架，所述支架有两个且间隔设于所述底板，所述弹性连接件分别与所述升降平台和所述支架连接。
[0018]可选地，所述弹性连接件包括：
[0019]第一弹片，所述第一弹片呈∪形，所述第一弹片的一端设于所述升降平台的侧面；
[0020]第二弹片，所述第二弹片呈∩形，所述第二弹片的一端设于所述升降平台的侧面；
[0021]弹片固定件，所述第一弹片的另一端以及所述第二弹片的另一端通过所述弹片固定件固定于所述支架。
[0022]可选地，所述移动座与所述底座通过交叉滚子导轨实现滑动配合，所述移动座与所述升降平台通过交叉滚子导轨实现滑动配合。
[0023]可选地，所述移动座沿水平移动的方向上间隔设有两个限位钣金，所述底座间隔设有两个光电开关。
[0024]可选地，所述底座设有固定座，所述读数头设于所述固定座。
[0025]可选地，所述移动座远离所述底座的一侧间隔设有两个第一斜块，所述第一斜面设于所述第一斜块，所述升降平台朝向所述移动座的一侧间隔设有两个第二斜块，所述第二斜块设有第二斜面，所述第二斜面与所述第一斜面相互平行，两个所述第二斜块位于两个所述第一斜块的外侧，所述滑动配合机构设于所述第一斜块和所述第二斜块之间，且沿着所述第一斜面的方向倾斜设置。
[0026]可选地，所述移动座朝向所述底座的一侧设有连接块，所述移动座通过所述连接块与所述螺母实现连接。
[0027]可选地，所述精密垂直升降装置还包括遮盖组件，所述遮盖组件包括：
[0028]侧板，所述侧板有四个且依次连接围绕于所述底座的四周；
[0029]防尘板，所述防尘板设于所述升降平台的顶部，且遮挡所述升降平台的四周；
[0030]顶板，所述顶板设于四个所述侧板的顶部且对应连接，所述顶板开设有与所述防尘板相适应的开口。
[0031]可选地，所述顶板围绕所述开口设有凸缘，所述防尘板与所述凸缘上下滑动配合。
[0032]本技术技术方案包括底座、安装座、伺服电机、滚珠丝杆、移动座、升降平台、弹性连接件和光栅传感器，移动座与滚珠丝杆的螺母连接，伺服电机驱动滚珠丝杆转动，使得移动座与底座在水平方向上滑动配合，弹性连接件设于升降平台的两侧并与底座连接，从而限制了升降平台在水平面的移动同时平衡升降平台的部分重力，升降平台沿着第一斜面的方向与移动座滑动配合，使得移动座相对于底座水平移动的同时带动升降平台上下运动，光栅传感器用于检测移动座水平移动的距离，并根据第一斜面的角度，可计算得出升降平台的垂直移动距离，由于采用了伺服电机驱动移动座移动且根据光栅传感器计算得出升降平台垂直移动距离的技术手段，所以，有效解决了现有技术中升降装置存在的装调难度高、精度低、体积笨重且行程较小的技术问题，进而实现了结构简单、行程大、精度高且能够承载高质量工件的技术效果。
附图说明
[0033]图1为本技术精密垂直升降装置一实施例的结构示意图；
[0034]图2为本技术精密垂直升降装置的拆分结构示意图；
[0035]图3为本技术精密垂直升降装置省略遮盖组件的结构示意图；
[0036]图4为本技术精密垂直升降装置的局部结构示意图；
[0037]图5为图4另一视角的结构示意图；
[0038]图6为本技术精密垂直升降装置的局部拆分结构示意图；
[0039]图7为本技术升降平台的结构示意图；
[0040]附图标号说明：
[0041]精密垂直升降装置100；底座10；底板11；光电开关111；固定座112；支架12；安装座20；伺服电机30；滚珠丝杆40；螺母41；移动座50；第一斜块51；第一斜面511；限位钣金52；连接块53；升降平台60；第二斜块61；第二斜面611；弹性连接件70；第一弹片71；第二弹片72；弹片固定件73；光栅传感器80；读数头81；光栅尺82；遮盖组件90；侧板91；防尘板92；顶板93；开口931；凸缘932。
具体实施方式
[0042]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0043]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0044]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密垂直升降装置，用于承载被控工件并上下移动，其特征在于，所述精密垂直升降装置包括：底座；安装座，所述安装座设于所述底座；伺服电机，所述伺服电机设于所述安装座；滚珠丝杆，所述滚珠丝杆可转动地设于所述安装座，且与所述伺服电机的输出端连接，所述滚珠丝杆具有螺母；移动座，所述移动座与所述螺母连接，且在所述伺服电机的驱动下与所述底座滑动配合，所述移动座远离所述底座的一侧具有第一斜面；升降平台，所述升降平台与所述移动座之间设有滑动配合机构，所述升降平台沿着所述第一斜面的方向与所述移动座滑动配合；弹性连接件，所述弹性连接件有两个且位于所述升降平台的相对两侧，所述弹性连接件分别与所述升降平台和所述底座连接，以限制所述升降平台的水平运动同时平衡所述升降平台的部分重力；光栅传感器，所述光栅传感器包括读数头和光栅尺，所述读数头设于所述底座，所述光栅尺设于所述移动座；所述伺服电机驱动所述移动座在水平方向上移动，以使得所述升降平台在垂直方向上移动。2.如权利要求1所述的精密垂直升降装置，其特征在于，所述底座包括：底板，所述安装座设于所述底板，所述移动座与所述底板滑动配合；支架，所述支架有两个且间隔设于所述底板，所述弹性连接件分别与所述升降平台和所述支架连接。3.如权利要求2所述的精密垂直升降装置，其特征在于，所述弹性连接件包括：第一弹片，所述第一弹片呈∪形，所述第一弹片的一端设于所述升降平台的侧面；第二弹片，所述第二弹片呈∩形，所述第二弹片的一端设于所述升降平台的侧面；弹片固定件，所述第一弹片的另一端以及所述第二弹片的另一端通过所述弹片固定件固定于所述支架。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张意，杨斌，李梅，
申请(专利权)人：微动能创北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：