一种柔性气体传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性气体传感器，包括依次设置的柔性衬底、电极和气体敏感层，所述电极与气体敏感层形成导电通路，所述电极上设有引线，所述引线与外部电路连接。本发明专利技术所制备的柔性气体传感器其整体结构均能在比较高的温度(200～350℃)下运行，解决了柔性传感器难以在高温环境检测有毒气体的难题，而且本发明专利技术柔性气体传感器的电极以及柔性衬底均采用柔韧性良好的材料，使得本发明专利技术柔性气体传感器在弯曲过程中仍能正常运行，气体敏感层使用的金属半导体氧化物，通过接触CO改变自身阻值，以实现气体检测的快速响应与恢复。同时该柔性传感器均是通过简单的工艺制备而成，成本低，可以批量成产。以批量成产。以批量成产。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性气体传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及传感器
，具体为一种柔性气体传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]传统硅质硬基底传感器因为它的高灵敏度与低接触阻值而大受欢迎。而随着人们对传感器性能要求的不断提高，硬质基底气体传感器的高制造成本、高输入功率等缺点逐渐让人们找寻可替代的产品。另一方面，现在的电子设备越来越向柔性可穿戴的方向发展，柔性电子设备的使用己经普及到生活的方方面面，随着人们保健意识的不断提高，对构建具有个性化诊断和环境监测功能的柔性智能传感器网络有了迫切的需求。柔性传感器因具有良好的柔韧性、延展性、机械和热力学特性，以及轻便、制备成本低、易实现批量化生产等特性，在电子皮肤、航天航空、医疗保健、运动器材和环境监测等领域受到广泛应用。
[0003]在柔性气体传感器领域，制备柔性气体传感器的核心在于将气敏层及电极材料制备于柔性基底上，而其中柔性气体传感器分为三部分：柔性基材、电极和敏感材料，这三个部分直接关系到整个传感器的灵敏度、响应恢复时间以及柔性的特性。但是目前的有毒气体检测多为刚性传感器，有毒气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性气体传感器，其特征在于，包括依次设置的柔性衬底、电极和气体敏感层，所述电极与气体敏感层形成导电通路，所述电极上设有引线，所述引线与外部电路连接。2.根据权1利要求所述的一种柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性衬底的材料为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷中的一种。3.根据权1利要求所述的一种柔性气体传感器，其特征在于，所述电极为叉指电极。4.根据权1利要求所述的一种柔性气体传感器，其特征在于，所述气体敏感层由纳米半导体材料制成。5.根据权4利要求所述的一种柔性气体传感器，其特征在于，所述纳米半导体材料为金属氧化物或聚合物。6.根据权1利要求所述的一种柔性气体传感器，其特征在于，所述柔性衬底的长度为5厘米，宽度为2厘米，厚度为0.2毫米；所述叉指电极的厚度为0.15毫米，叉指宽度为2毫米，相邻叉指之间的间隙距离为2毫米。7.一种柔性气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)制备柔性衬底，并用去离子水超声清洗20～40分钟；(2)制备电极，并将电极置于柔性衬底上；(3)将纳米半导体材料分散于有机溶剂中，滴涂或旋涂在电极及柔性衬底上，烘干制得气体敏感层；(4)在电极上通过导电银浆连接引线，引线与外部电路连接。8.根据权利要求7所述的一种柔性气体传感器的制备方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俐，付林正，赵维玮，陈志文，杨全岭，刘生发，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：