一种真空腔体内膜材料辐照装置制造方法及图纸

技术编号:34480802 阅读:43 留言:0更新日期:2022-08-10 08:57
本发明专利技术涉及一种真空腔体内膜材料辐照装置,其包括:设置在真空腔体内的静态膜辐照装置和动态膜辐照装置;所述静态膜辐照装置中设置有待辐照的单张微孔膜,用于对当前辐照环境进行验证;所述动态膜辐照装置中设置有待辐照的微孔膜膜卷,用于在当前辐照环境验证符合要求后,对待辐照的微孔膜膜卷进行离子束辐照。本发明专利技术首先采用静态膜辐照装置对当前辐照环境进行验证,当符合要求时,采用动态膜辐照装置进行自动微孔膜制备,结构简单、实用,可用于膜材料辐照实验或重离子微孔膜小批量试生产。本发明专利技术可以广泛应用于膜材料辐照领域。本发明专利技术可以广泛应用于膜材料辐照领域。本发明专利技术可以广泛应用于膜材料辐照领域。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体内膜材料辐照装置


[0001]本专利技术涉及一种辐照实验及生产装置,尤其是涉及一种真空腔体内膜材料辐照装置,属于重离子微孔膜及其它膜材料的实验及生产领域。

技术介绍

[0002]重离子微孔膜是世界上最精密的微孔过滤膜,它是一种多孔的塑料薄膜,薄膜上面设置有密密麻麻的小孔,每一个小孔形状和尺寸几乎相同。重离子微孔膜通常采用高能加速器提供的重离子打孔,重离子打孔是重离子微孔膜生产工艺中最为关键的一环,所以在重离子微孔膜的生产中离子束辐照是非常重要的一个生产步骤。
[0003]然而,在目前的辐照生产中,还没有在真空腔体内的用于辐照的简便小型化装置,在高密度、高质量的重离子微孔膜及其它要求在真空腔体内进行辐照的材料具有很大的局限性。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本专利技术的目的是提供一种能够生产出高密度、高质量重离子微孔膜的真空腔体内膜材料辐照装置。
[0005]为实现上述目的,本专利技术采取以下技术方案:
[0006]一种真空腔体内膜材料辐照装置,其包括:设置在真空腔体内的静态膜辐照装置和动态膜辐照装置;所述静态膜辐照装置中设置有待辐照的单张微孔膜,用于对当前辐照环境进行验证;所述动态膜辐照装置中设置有待辐照的微孔膜膜卷,用于在当前辐照环境验证符合要求后,对待加工的微孔膜膜卷进行离子束辐照。
[0007]进一步,所述静态膜辐照装置包括静态膜辐照连接装置、支撑装置以及膜材料夹紧装置;所述静态膜辐照连接装置用于实现所述静态膜辐照装置与所述真空腔体的可拆卸连接;所述支撑装置与所述静态膜辐照连接装置下端相连,并插设在所述真空腔体内;所述膜材料夹紧装置可拆卸地设置在所述支撑装置上,用于夹紧待加工的单张微孔膜。
[0008]进一步,所述静态膜辐照连接装置包括第一连接法兰和连接法兰支撑体,所述第一连接法兰用于与所述真空腔体上的真空腔体法兰连接;所述连接法兰支撑体紧固设置在所述第一连接法兰另一侧,其下端用于连接所述支撑装置。
[0009]进一步,所述支撑装置包括两个支撑底座以及设置在两个所述支撑底座之间的装置支架;所述装置支架由4个立柱组成,分别设置于两个所述支撑底座的四角部;两所述支撑底座内壁设置有凹槽,用于实现所述膜材料夹紧装置的自由抽插。
[0010]进一步,所述膜材料夹紧装置包括膜板架和压膜架,所述膜板架用于放置待加工的单张微孔膜;所述压膜架用于将放置的单张微孔膜固定在所述膜板架上。
[0011]进一步,所述膜板架包括膜板边框和下滑导轨,且所述膜板边框内用于放置单张微孔膜,所述下滑导轨设置在所述膜板边框两端,用于插设在两所述支撑底座的凹槽内。
[0012]进一步,所述动态膜辐照装置包括膜材料自动收放装置和束流探测装置;所述膜
材料自动收放装置固定设置在所述真空腔体上,用于对待加工的微孔膜膜卷进行自动收放;所述束流探测装置设置在待加工的微孔膜膜卷后方,用于探测重离子束流穿透膜后的流强大小,并根据流强大小,对所述膜材料自动收放装置进行连锁,使得重离子束流强度与膜材料运动速度匹配。
[0013]进一步,所述膜材料自动收放装置包括第二连接法兰、收料卷轴、收料膜卷、放料卷轴、放料膜卷、第一连接杆、第二连接杆、机械传动装置、伺服电机、控制装置;所述伺服电机通过所述第二连接法兰固定设置在所述真空腔体内,用于根据所述控制装置发送的控制信号对所述机械传动装置进行控制;所述机械传动装置通过所述第一连接杆和第二连接杆设置在所述第二连接法兰的另一侧,用于在所述伺服电机的控制下对所述收料卷轴和放料卷轴进行驱动,带动所述收料膜卷对放料膜卷进行自动收放料。
[0014]进一步,所述机械传动装置包括主动传动杆和被动传动杆;所述主动传动杆上间隔设置第一收料卷轴和第一放料卷轴,所述被动传动杆上间隔设置第二收料卷轴和第二放料卷轴,且所述第一收料卷轴和第一放料卷轴分别与所述第二收料卷轴和第二放料卷轴对称设置,用于卡设所述收料膜卷和放料膜卷。
[0015]进一步,所述束流测探装置包括束流流强探测器、连接装置以及数据采集装置;所述束流流强探测器通过所述连接装置固定设置在所述真空腔体内微孔膜膜卷后方,用于探测重离子束流穿透膜后在预设探测点的流强大小,并根据周边的探测点分布,分析束斑的分布范围;所述数据采集装置用于采集所述束流流强探测器的探测数据,为所述膜材料自动收放装置的运动控制提供连锁依据。
[0016]本专利技术由于采取以上技术方案,其具有以下优点:
[0017]1、本专利技术通过设置静态膜辐照装置和动态膜辐照装置,首先采用静态膜辐照装置对当前辐照环境进行验证,当符合要求时,采用动态膜辐照装置进行自动微孔膜制备,结构简单、实用,可用于膜材料辐照实验或重离子微孔膜小批量试生产,成本低廉、可弥补小批量生产及实验时的经费不足问题。
[0018]2、本专利技术由于静态膜辐照装置中膜材料夹紧装置在支撑装置内可以自由抽查,当辐照环境改变时,可以方便的对微孔膜材料进行更换,且操作简单。
[0019]3、本专利技术由于动态膜辐照装置可以实现膜材料的自动收放,且能够根据当前束流大小调节膜材料的收放速度,使得膜材料运动速度与束流强度相匹配,保证了膜材料辐照的准确度。
[0020]综上所述,本专利技术可以广泛应用于重离子微孔膜的辐照及其它相似的材料实验及生产中。
附图说明
[0021]通过阅读下文优选实施方式的详细描述,各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本专利技术的限制。在整个附图中,用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中:
[0022]图1是本专利技术实施例提供的静态真空腔体内膜材料辐照装置;
[0023]图2是本专利技术实施例提供的静态膜辐照装置的结构示意图;
[0024]图3是本专利技术实施例提供的膜板;
[0025]图4是本专利技术实施例提供的压膜架;
[0026]图5是本专利技术实施例提供的膜材料自动收放装置结构示意图;
[0027]图6是本专利技术实施例提供的机械传动装置结构示意图;
[0028]图7是本专利技术实施例提供的束流流强探测分布图;
[0029]图中各附图标记如下:
[0030]1、真空腔体;2、静态膜辐照装置;21、静态膜辐照连接装置;211、第一连接法兰;212、连接法兰支撑体;2121、支撑板;2122、辅助支撑板;22、支撑装置;221、支撑底座;222、装置支架;23、膜材料夹紧装置;231、膜板架;232、压膜架;2311、膜板边框;2312、下滑导轨;3、动态膜辐照装置;31、膜材料自动收放装置;310、第二连接法兰;311、收料卷轴;3111、第一收料卷轴;3112、第二收料卷轴;312、放料膜卷;313、放料卷轴;3131、第一放料卷轴;3132、第二放料卷轴;3133、气动伸缩杆;314、收料膜卷;315、第一连接杆;316、第二连接杆;317、机械传动装置;3171、主动传动杆;3172、被动传动杆;3本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于,包括:设置在真空腔体内的静态膜辐照装置和动态膜辐照装置;所述静态膜辐照装置中设置有待辐照的单张微孔膜,用于对当前辐照环境进行验证;所述动态膜辐照装置中设置有待辐照的微孔膜膜卷,用于在当前辐照环境验证符合要求后,对待辐照的微孔膜膜卷进行离子束辐照。2.如权利要求1所述的一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于:所述静态膜辐照装置包括静态膜辐照连接装置、支撑装置以及膜材料夹紧装置;所述静态膜辐照连接装置用于实现所述静态膜辐照装置与所述真空腔体的可拆卸连接;所述支撑装置与所述静态膜辐照连接装置下端相连,并插设在所述真空腔体内;所述膜材料夹紧装置可拆卸地设置在所述支撑装置上,用于夹紧待辐照的单张微孔膜。3.如权利要求2所述的一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于:所述静态膜辐照连接装置包括第一连接法兰和连接法兰支撑体,所述第一连接法兰用于与所述真空腔体上的真空腔体法兰连接;所述连接法兰支撑体紧固设置在所述第一连接法兰另一侧,其下端用于连接所述支撑装置。4.如权利要求2所述的一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于,所述支撑装置包括两个支撑底座以及设置在两个所述支撑底座之间的装置支架;所述装置支架由4个立柱组成,分别设置于两个所述支撑底座的四角部;两所述支撑底座内壁设置有凹槽,用于实现所述膜材料夹紧装置的自由抽插。5.如权利要求4所述的一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于,所述膜材料夹紧装置包括膜板架和压膜架,所述膜板架用于放置待加工的单张微孔膜;所述压膜架用于将放置的单张微孔膜固定在所述膜板架上。6.如权利要求5所述的一种真空腔体内膜材料辐照装置,其特征在于,所述膜板架包括膜板边框和下滑导轨,且所述膜板边框内用于放置单张微孔膜,所述下滑导轨设置在所述膜板边框两端,用于插设在两所述支撑底座的凹槽内。7.如权利要求1所述的一种真空...

【专利技术属性】
技术研发人员:李运杰莫丹胡正国段敬来姚会军刘杰徐瑚珊王玥
申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1