一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法，包括通过PLC控制进行程序升温的加热器，所述加热器对蚀刻液预混原料和添加剂进行程序升温，其中蚀刻液预混原料包括酸、碱、金属无机盐，快速换热器，所述快速换热器连接所述加热器，用以对加热器程序升温后的蚀刻液预混原料快速换热，双氧水混合罐，所述双氧水混合罐连接所述快速换热器，用以对快速换热器快速换热后的蚀刻液预混原料和双氧水混合，采用程序升温制得的显示制程金属离子酸性蚀刻液相对于未使用程序升温的显示制程金属离子酸性蚀刻液蚀刻效果和侧蚀效果更稳定。果更稳定。果更稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法


[0001]本专利技术属于蚀刻液的
，具体涉及一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法。

技术介绍

[0002]蚀刻液，是一种铜版画雕刻用原料。通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。已经使用的蚀刻液类型有六种类型：酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/双氧水蚀刻液。
[0003]由于现有技术的工艺条件不够成熟，使得制备的蚀刻液物质成分不稳定，导致蚀刻液中的组分配比不断发生变化，从而需要对蚀刻液的比重、游离氢离子浓度等多项参数不断进行检测，实时控制各组分的投放量，才能保证生产的蚀刻液能够保持稳定的蚀刻速率，在控制各组分投放量时，操作难度大，在蚀刻液生产时，如何控制蚀刻液生产的工艺条件，避免制得的蚀刻液中的组分配比发生变化，从而保持稳定的蚀刻速率和侧蚀速率是本专利技术亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的通过控制蚀刻液生产的工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统，其特征在于：该用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统包括：
‑
通过PLC控制进行程序升温的加热器（7），所述加热器（7）对蚀刻液预混原料和添加剂进行程序升温，其中蚀刻液预混原料包括酸、碱、金属无机盐；
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快速换热器（8），所述快速换热器（8）连接所述加热器（7），用以对加热器（7）程序升温后的蚀刻液预混原料快速换热；
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双氧水混合罐（3），所述双氧水混合罐（3）连接所述快速换热器（8），用以对快速换热器（8）快速换热后的蚀刻液预混原料和双氧水混合。2.根据权利要求1所述的一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统，其特征在于：还包括：
‑
与加热器（7）连接的酸碱混合釜（6），以及分别与酸碱混合釜（6）连接的酸混合罐（4）和碱混合罐（2），其中，所述酸混合罐（4）用以对酸进行混合，所述碱混合罐（2）用以对碱进行混合，所述酸碱混合釜（6）用以对酸混合罐（4）中酸和碱混合罐（2）中碱进行混合；
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设于酸混合罐（4）和酸碱混合釜（6）之间的第一超声器（5），所述第一超声器（5）用以对酸混合罐（4）中酸超声；
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与双氧水混合罐（3）连接的第二超声器（9），以及与第二超声器（9）连接的过滤系统（1），其中第二超声器（9）和过滤系统（1）用以双氧水混合罐（3）中的物质进行超声、过滤。3.一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：将蚀刻液预混原料和添加剂输送入加热器（7），温度控制在30
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45℃，往复循环1
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3h；步骤2：将步骤1中的物质进行程序升温，程序升温包括两个阶段，第一阶段由30
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45℃升温至45
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60℃，第二阶段由45
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60℃升温至65
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75℃；步骤3：将步骤2中的物质输送入快速换热器（8）降温处理；步骤4：将步骤3中的物质输送入双氧水混合罐（3），并加入双氧水，混合均匀，得到产成品。4.根据权利要求3所述的一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产方法，其特征在于：步骤2中第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵振，陈杰，
申请(专利权)人：江苏和达电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：