负压式特种气体存储容器及检测系统和检测方法技术方案

本发明专利技术公开了一种负压式特种气体存储容器，涉及特种气体储存技术领域，包括容器本体，所述容器本体内能够容纳吸附剂，所述容器本体内还设置有插底管，所述插底管的底部伸入所述容器本体内的所述吸附剂中，所述插底管的顶部伸出所述容器本体的顶部开口，所述瓶阀能够与气体管路连接；所述插底管的侧壁上由上至下开设有多层通气口，每层所述通气口均设置有多个。本发明专利技术还公开了一种负压式特种气体存储容器的检测系统及检测方法。本发明专利技术能够缩短气体介质在吸附剂床层的扩散路径，使各床层充分地、均匀地吸附与脱附。均匀地吸附与脱附。均匀地吸附与脱附。

【技术实现步骤摘要】
负压式特种气体存储容器及检测系统和检测方法


[0001]本专利技术涉及特种气体储存
，特别是涉及一种负压式特种气体存储容器及检测系统和检测方法。

技术介绍

[0002]在大规模集成电路等新兴微电子工艺制造过程中，需要砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)和三氟化硼(BF3)等电子气体为工艺提供可靠稳定的氢化物、卤化物气源。由于这几种气体都具有较强的毒性，如果在储存和使用过程中发生泄漏将引发严重的安全问题，因此必须对其进行严格细致的保存和处置。
[0003]传统的储存方法是采用耐高压无缝气体钢瓶，由于瓶内处于高压状态，容易导致气瓶爆炸，进而出现毒性气体泄漏的情况。同时，耐高压气瓶的制作流程复杂，成本较高，不利于大规模生产运用。
[0004]美国ATMI(Advanced Technology Materials Inc)公司率先开发负压包装技术，因其较高的安全特性，逐渐成为各生产厂家和用户用来储存电子气体的首要之选。专利US 5518528披露使用分子筛作为吸附材料的负压包装技术，但因使用的分子筛比表面积和孔体积并不突出，并未展现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种负压式特种气体存储容器，包括容器本体，所述容器本体内能够容纳吸附剂，其特征在于，所述容器本体内还设置有插底管，所述插底管的底部伸入所述容器本体内的所述吸附剂中，所述插底管的顶部伸出所述容器本体的顶部开口，所述插底管的顶部连接有瓶阀，所述瓶阀能够与气体管路连接；所述插底管的侧壁上由上至下开设有多层通气口，每层所述通气口均设置有多个。2.根据权利要求1所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述容器本体采用瓶体，所述瓶体的直径为30mm～250mm，所述瓶体的高度为50mm～1500mm，所述瓶体材质为碳钢或不锈钢；所述瓶体的顶部还设置有瓶帽。3.根据权利要求1所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述插底管设置有一根或者多根，所述插底管的长度为50mm～1000mm，所述插底管的材质为不锈钢，所述插底管的横截面形状为圆柱形、长方形、正方形、盘管形、三角形或凹槽型。4.根据权利要求1所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述通气口采用针孔或狭缝，所述针孔的直径或所述狭缝的宽度为0.1mm～0.5mm。5.根据权利要求1所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述通气口采用针孔，所述针孔的形状为圆形、椭圆形、正方形、长方形、三角形、菱形、一字型或十字型。6.根据权利要求1所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述吸附剂采用碳基的多孔材料。7.根据权利要求6所述的负压式特种气体存储容器，其特征在于，所述吸附剂采用木质活性炭、椰壳活性炭、树脂基活性炭以及商品化的碳材料中的一种或多种；所述吸附剂形状为球形、立方体、圆环状或无规则形颗粒状。8.一种负压式特种气体存储容器的检测系统，其特征在于，能够对如权利要求1
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7任一项所述的负压式特种气体存储容器进行检测，包括：吸附单元，所述吸附单元包括气源，所述气源...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝全仁，巩晓辉，王瀚宁，赵鹏德，于枫，
申请(专利权)人：中昊光明化工研究设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：