【技术实现步骤摘要】
定位平台和定位系统
[0001]本申请涉及定位平台
,特别是涉及一种定位平台和定位系统。
技术介绍
[0002]高精密定位平台因其高刚性、高精度、高分辨率、高动态响应等优点,广泛应用于半导体、光学、生物检测、医疗设备等高端领域。
[0003]现有的高精密定位平台大多由直线电机驱动,一般通过机械弹簧进行配重来平衡负载重力,避免断电或故障状态下掉落造成设备损坏。然而,传统的定位平台在负载变化后,悬停位置会偏高或偏低,无法实现精准悬停。
技术实现思路
[0004]基于此,有必要针对现有技术中定位平台在负载变化后,悬停位置会偏高或偏低,无法实现精准悬停的技术问题,提供一种定位平台和定位系统。
[0005]本申请实施例第一方面提供一种定位平台,该定位平台包括:
[0006]底座;
[0007]载物台,所述载物台位于所述底座沿第一方向的一侧,且可沿第二方向相对于所述底座移动,其中,所述第一方向与所述第二方向彼此垂直;以及
[0008]磁力弹簧,包括沿所述第二方向设置于所述底座 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种定位平台,其特征在于,所述定位平台包括:底座;载物台,所述载物台位于所述底座沿第一方向的一侧,且可沿第二方向相对于所述底座移动,其中,所述第一方向与所述第二方向彼此垂直;以及磁力弹簧,包括沿所述第二方向设置于所述底座的磁棒,以及套设在所述磁棒外侧的磁环;所述磁环与所述载物台连接,以能够在所述载物台带动下沿所述第二方向相对所述磁棒移动;其中,所述载物台和所述磁环在所述第二方向上的距离可调,以使所述载物台负载后相对所述磁棒能够处于目标悬停位置。2.根据权利要求1所述的定位平台,其特征在于,所述定位平台还包括支架,所述磁环设置在所述支架上,所述支架固定在所述载物台上;其中,所述磁环和所述支架在所述第二方向上的距离可调。3.根据权利要求2所述的定位平台,其特征在于,所述支架包括相互连接的固定部和装配部,所述固定部与所述载物台连接;所述装配部上设有贯穿所述装配部的通孔,至少部分所述磁环位于所述通孔内,所述通孔的侧壁上设置有与所述通孔连通的装配孔,所述装配孔内穿设有紧固件,所述紧固件用于紧固所述磁环。4.根据权利要求1
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3中任一项所述的定位平台,其特征在于,所述磁棒和所述载物台在所述第二方向上的距离可调。5.根据权利要求4所述的定位平台,其特征在于,所述磁棒的两端均设置有螺钉,所述底座...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦晓峰,周钟仁,高月波,王光能,张国平,
申请(专利权)人:深圳市大族机器人有限公司,
类型:发明
国别省市:
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