本实用新型专利技术公开了一种光刻胶生产用原料取样装置，包括生产储料箱、取样平台和多通道蠕动泵，生产储料箱的侧面上下形成多个取样通道，取样平台的长度方向另一侧设置有器皿放置层架，器皿放置层架包括竖向板、多个支撑板和多个器皿放置板，且多个支撑板和多个器皿放置板交替固定在竖向板上，多通道蠕动泵所包括的多个软管另一端分别穿过多个支撑板设置，本实用新型专利技术通过在生产储料箱的侧部设置多个取样通道与多通道蠕动泵配合使用，能方便对生产储料箱内不同位置的光刻胶进行取样，进而方便操作人员对生产储料箱内不同位置的光刻胶状况进行了解，相较于传统的取样装置，本实用新型专利技术具有较高的实用性。具有较高的实用性。具有较高的实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶生产用原料取样装置
[0001]本技术涉及光刻胶生产装置，尤其涉及一种光刻胶生产用原料取样装置。
技术介绍
[0002]光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。
[0003]目前，现有的光刻胶在生产过程中多采用储料筒来进行存储，在存储过程中会发生一定的沉淀现象，而取样装置在使用时的取样点相对固定，不方便对多个取样点进行同时取样。为此，需要设计一个新的方案给予改进。
技术实现思路
[0004]技术目的：为了解决
技术介绍
中存在的不足，所以本技术公开了一种光刻胶生产用原料取样装置。
[0005]技术方案：一种光刻胶生产用原料取样装置，包括生产储料箱、取样平台和多通道蠕动泵，所述生产储料箱的侧面上下形成多个取样通道，所述多通道蠕动泵设置在取样平台的长度方向一侧，所述多通道蠕动泵所包括的多个软管一端与多个取样通道分别连接，所述取样平台的长度方向另一侧设置有器皿放置层架，所述器皿放置层架包括竖向板、多个支撑板和多个器皿放置板，且多个支撑板和多个器皿放置板交替固定在竖向板上，所述多通道蠕动泵所包括的多个软管另一端分别穿过多个支撑板设置。
[0006]进一步的是，所述多通道蠕动泵为三通道蠕动泵。
[0007]进一步的是，所述器皿放置板的上表面成型有器皿定位槽。
[0008]进一步的是，所述软管与取样通道的连接处安装有计量控制阀。
[0009]进一步的是，所述支撑板的表面成型有让位槽，且所述让位槽内贴附有橡胶圈，所述软管从橡胶圈从穿过。
[0010]本技术实现以下有益效果：
[0011]本技术通过在生产储料箱的侧部设置多个取样通道与多通道蠕动泵配合使用，能方便对生产储料箱内不同位置的光刻胶进行取样，进而方便操作人员对生产储料箱内不同位置的光刻胶状况进行了解，相较于传统的取样装置，本技术具有较高的实用性。
附图说明
[0012]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
[0013]图1为本技术公开的整体结构示意图；
[0014]图2为本技术公开的器皿放置板整体结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]实施例
[0017]参考图1
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2，一种光刻胶生产用原料取样装置，包括生产储料箱10、取样平台20和多通道蠕动泵30，生产储料箱的侧面上下形成多个取样通道11，多通道蠕动泵设置在取样平台的长度方向一侧，多通道蠕动泵所包括的多个软管31一端与多个取样通道分别连接，取样平台的长度方向另一侧设置有器皿放置层架50，器皿放置层架包括竖向板51、多个支撑板53和多个器皿放置板52，且多个支撑板和多个器皿放置板交替固定在竖向板上，多通道蠕动泵所包括的多个软管另一端分别穿过多个支撑板设置。
[0018]作为本技术优选的实施例为，多通道蠕动泵为三通道蠕动泵，与其相对应的是，本技术的生产储料箱侧部需形成有三个采样通道，且三个采样通道需按上中下等距设置，这样能保证对不同位置的光刻胶进行分别取样。
[0019]在其中一个实施例中，器皿放置板的上表面成型有器皿定位槽56，在器皿放置时能对其进行精准定位，且能使器皿精准的接取软管所采集的光刻胶。
[0020]在其中一个实施例中，软管与取样通道的连接处安装有计量控制阀40，当多通道蠕动泵所包括的多个软管均抽取定量的光刻胶时，该计量控制阀将自动关闭，这时通道蠕动泵将无法对生产储料箱内的光刻胶继续进行取样。
[0021]在其中一个实施例中，支撑板的表面成型有让位槽54，且让位槽内贴附有橡胶圈55，软管从橡胶圈从穿过，便于支撑板与软管进行较佳的安装，可避免软管晃动。
[0022]在具体使用时，操作人员先将多个器皿依次放置在多个器皿放置台上，然后多个计量控制阀打开，多通道蠕动泵开始工作并通过多个软管对生产储料箱内各个位置的光刻胶进行取样，且多个软管所取样的光刻胶将落入至多个器皿中进行存放。
[0023]以下着重说明的是，本技术所采用的所有电器配件均为已知结构，在此不做过多赘述。
[0024]上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用原料取样装置，其特征在于，包括生产储料箱、取样平台和多通道蠕动泵，所述生产储料箱的侧面上下形成多个取样通道，所述多通道蠕动泵设置在取样平台的长度方向一侧，所述多通道蠕动泵所包括的多个软管一端与多个取样通道分别连接，所述取样平台的长度方向另一侧设置有器皿放置层架，所述器皿放置层架包括竖向板、多个支撑板和多个器皿放置板，且多个支撑板和多个器皿放置板交替固定在竖向板上，所述多通道蠕动泵所包括的多个软管另一端分别穿过多个支撑板设置。2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：郁亮，周志坚，李兴元，王建远，徐强，
申请(专利权)人：昆山金城试剂有限公司，
类型：新型
国别省市：
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