一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具，包括抽气接口件、密封盖和密封组件，抽气接口件与密封盖连接，密封盖与密封组件连接，抽气接口件中设置有抽气通道，密封盖上设置有贯穿上下表面的通孔，抽气通道与通孔连通，采用其结构，能够有效的解决现有技术中由于不同的分子泵，测试时需要订做不同尺寸的测试治具，成本高，收纳难的问题，通过密封盖和密封组件的配合，即可灵活适配多尺寸的测试口，降低了成本，装配方便，提高了用户的使用体验。验。验。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具


[0001]本技术涉及于抽真空设备的
，尤其涉及一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具。

技术介绍

[0002]分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
[0003]随着国内高新技术的发展，分子泵的应用也越来越高，在半导体、面板和真空电镀等方面都有广泛的应用，分子泵在运行一段时间后通常需要定期对设备进行保养和检测。而通常情况下，分子泵的法兰接口均为圆形结构，往往需要订做对应大小的法兰口密封治具才能进行测试，分子泵由于其工作的环境和需求差异非常大，常规的法兰密封治具是每个检测型号都做一个，大幅拉高维护成本，同时法兰盖的存放也需要大量地方，十分不便。为此，我们提出一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具，包括抽气接口件、密封盖和密封组件，抽气接口件与密封盖连接，密封盖与密封组件连接，抽气接口件中设置有抽气通道，密封盖上设置有贯穿上下表面的通孔，抽气通道与通孔连通。
[0005]优选地，密封组件包括多个密封环，多个密封环以密封盖为中心逐级连接。
[0006]优选地，抽气接口件与密封盖一体成型。
[0007]优选地，抽气接口件远离密封盖一端设置有卡接凸环，卡接凸环用于和抽气装置配合固定连接。
[0008]优选地，还包括弹性材质的密封圈，密封环上设置有连接平台，连接平台上设置有环形槽，环形槽用于放置密封圈，密封圈凸出环形槽设置，多个密封环逐级设置在对应的连接平台上。
[0009]优选地，密封环的数量为五组。
[0010]优选地，密封圈为橡胶材质。
[0011]优选地，密封组件直径大小在600mm以内。
[0012]优选地，分子泵多尺寸法兰密封测试治具为硬性材质制成。
[0013]优选地，密封盖和密封环上分别设置有安装把手。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该技术能够有效的解决现有技术中由于不同的分子泵，测试时需要订做不同尺寸的测试治具，成本高，收纳难的问题，通过密封盖和密封组件的配合，即可灵活适配多尺寸的测试口，降低了成本，装配方便，提高了用户的使用体验。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术整体结构示意图；
[0017]图2为本技术分解结构示意图；
[0018]图3为分子泵多尺寸法兰密封测试治具与分子泵装配结构示意图；
[0019]附图标记：1、抽气接口件；2、密封盖；3、密封组件；11、抽气通道；31、密封环；311、连接平台；312、环形槽；10、卡接凸环；4、分子泵。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]如图1
‑
3所示，本技术一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具，包括抽气接口件1、密封盖2和密封组件3，抽气接口件1与密封盖2连接，密封盖2与密封组件3连接，抽气接口件1中设置有抽气通道11，密封盖2上设置有贯穿上下表面的通孔，抽气通道11与通孔连通。
[0022]通过密封盖2和密封组件3的配合，可以有效的解决现有技术中每个检测型号都要定制一个，大幅度拉高维护成本的问题，可以实现灵活使用应对不同待测试的分子泵4。
[0023]密封组件3包括多个密封环31，多个密封环31以密封盖2为中心逐级连接。
[0024]通过多个密封环31的设置使得该分子泵多尺寸法兰密封测试治具可以适配更多的分子泵4，提高治具使用的灵活性，并且多个密封环31逐级连接体现多尺寸的同时，还具有方便存放的功能，不必要占用较大地方存放。
[0025]该分子泵多尺寸法兰密封测试治具测量分子泵密封的径口范围为100
‑
600mm，并且密封环31的数量为五组，密封盖2大小为100mm，五组密封环31以密封盖2为中心，每组密封环31密封径口逐级增加100mm。
[0026]通过密封盖2和五组密封环31的设置，能够灵活的适配分子泵4径口大小在100
‑
600mm内的范围，无需像传统密封测试治具需要根据不同的分子泵4去每个型号订做一个。
[0027]该分子泵多尺寸法兰密封测试治具还包括弹性材质的密封圈，每组密封环31上设置有连接平台311，连接平台311上设置有环形槽312，密封圈凸出环形槽312设置，多个密封环31逐级设置在对应的连接平台311上。
[0028]通过密封圈和环形槽312的配合，该分子泵多尺寸法兰密封测试治具在对分子泵4接口进行检测时，密封盖2和各密封环31之间能够起到较高的密封性，减小测试过程中的误差。
[0029]抽气接口件1与密封盖2一体成型，通过抽气接口件1与密封盖2一体成型的设置使得测试过程中密封性更好，并且减少抽气接口件1与密封盖2安装的步骤。
[0030]抽气接口件1远离密封盖2一端设置有卡接凸环10，通过卡接凸环10的设置使得该
分子泵多尺寸法兰密封测试治具在配合抽真空设备进行抽气的过程中连接更加稳定，提高连接的密封性。
[0031]密封圈为橡胶材质，通过橡胶材质，可以起到良好的弹性优势，提高密封盖2与多个密封环31之间的密封性。
[0032]该分子泵多尺寸法兰密封测试治具为硬性材质制成，硬性材质包括金属、合金或者玻璃等等。
[0033]通过硬性材质制成能够有效避免该分子泵多尺寸法兰密封测试治具长时间使用造成变形磨损，导致出现测试误差，可以有效延长部件的使用寿命。
[0034]密封盖2和密封环31上分别设置有安装把手，通过在密封盖2和密封环31上分别设置有安装把手，在使用的过程中更加方便，提高测试工作人员的使用体验。
[0035]本实施例提供的分子泵多尺寸法兰密封测试治具的使用方法如下：首先根据待测密封性的分子泵4选择对应的分子泵多尺寸法兰密封测试治具，根据实际情况对密封环31拆卸或安装。
[0036]通过安装把手将该分子泵多尺寸法兰密封测试治具放置在待测分子泵4的接口处。
[0037]然后将抽真空设备与抽气接口件1连接，连接完成进行抽真空，抽真空的过程中，由于内外气压差的缘故，密封盖2和各密封圈组件之间的密封圈被不断压缩，这也使得密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分子泵多尺寸法兰密封测试治具，其特征在于：包括抽气接口件(1)、密封盖(2)和密封组件(3)，所述抽气接口件(1)与所述密封盖(2)连接，所述密封盖(2)与所述密封组件(3)连接，所述抽气接口件(1)中设置有抽气通道(11)，所述密封盖(2)上设置有贯穿上下表面的通孔，所述抽气通道(11)与所述通孔连通。2.根据权利要求1所述的分子泵多尺寸法兰密封测试治具，其特征在于：所述密封组件(3)包括多个密封环(31)，多个密封环(31)以所述密封盖(2)为中心逐级连接。3.根据权利要求1所述的分子泵多尺寸法兰密封测试治具，其特征在于：所述抽气接口件(1)与所述密封盖(2)一体成型。4.根据权利要求1所述的分子泵多尺寸法兰密封测试治具，其特征在于：所述抽气接口件(1)远离所述密封盖(2)一端设置有卡接凸环(10)，所述卡接凸环(10)用于和抽气装置配合固定连接。5.根据权利要求2所述的分子泵多尺寸法兰密封测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，
申请(专利权)人：深圳市科姆特精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：