一种导电薄膜控制串气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种导电薄膜控制串气装置，所述装置包括主辊轮、铝板、水割板、溅射腔体及电机，所述水割板将所述溅射腔体分隔为若干溅射腔，所述主辊轮与铝板连接，所述铝板设置在所述主辊轮侧面位置，所述水割板设置在所述主辊轮侧边位置，所述水割板与所述主辊轮之间具有间隙，所述水割板通过紧固件连接于所述铝板上，所述电机连接于所述紧固件上，本设备能够测量出螺栓进、出距离，针对不同厚度的膜材，可以很快调整出水割板与主辊轮之间的间隙，可以在不破坏真空条件下自动调节水割板和膜材距离，可以实现溅射区最佳隔离系数，降低各工艺腔室内部的膜层污染率。各工艺腔室内部的膜层污染率。各工艺腔室内部的膜层污染率。

【技术实现步骤摘要】
一种导电薄膜控制串气装置


[0001]本技术属于柔性膜工艺设备领域，具体涉及一种导电薄膜控制串气装置。

技术介绍

[0002]近年来随着消费电子产品轻薄化、柔性化需求，对柔性膜产品（导电薄膜）需求越来越多，利用卷对卷真空磁控溅射方式在PET、PI等柔性材料上制作复合膜层时，为满足工艺需求，各类膜层加工时需要加入不同工艺气体，例如氧化反应例如氧气、氮气等工艺气体，这样会对后续膜层加工产生污染，虽然各个工艺腔室之间相互隔离，但因为膜层通过卷对卷方式传送，间隙还是会有此类气体造成后续膜层污染，特别是膜层较复杂，膜层厚度较厚时更加容易对膜层性能产生污染。同时，由于镀制柔性材料厚度早25
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300um之间不断变化，更换不同厚度膜材时，由于膜材厚度不同造成隔离间隙效果不同，隔离系数变化，工艺条件重复性差。

技术实现思路

[0003]为达到上述目的，本技术的技术方案如下：一种导电薄膜控制串气装置，所述装置包括主辊轮、铝板、水割板、溅射腔体及电机，所述水割板将所述溅射腔体分隔为若干溅射腔，所述主辊轮与铝板连接，所述铝板设置在所述主辊轮侧面位置，所述水割板设置在所述主辊轮侧边位置，所述水割板与所述主辊轮之间具有间隙，所述水割板通过紧固件连接于所述铝板上，所述电机连接于所述紧固件上。
[0004]基于上述技术方案，通过在水割板上安装马达电机，调整水割板与主辊轮（铝板）之间的距离，从而达到控制串气的功能。
[0005]作为本技术的一种改进，所述铝板的直径与主辊轮的直径相同，所述铝板固定在所述主辊轮中心的轴承上。
[0006]基于上述技术方案，通过在主辊轮中心向外焊接安装圆柱体的轴承用于固定铝板，铝板为具有一定厚度的圆盘，直径与主辊轮相同，铝板的外缘边上连接紧固件。
[0007]作为本技术的一种改进，所述紧固件为螺栓，螺栓的一端连接电机，螺栓的另一端穿过所述水割板抵靠在所述铝板上。
[0008]基于上述技术方案，通过控制马达电机调整螺栓深浅，螺栓进入的深，则水割板与铝板的间距，即与主辊轮之间的间距变大，反之则变小。
[0009]作为本技术的一种改进，所述铝板的外侧面还设置有防护板。
[0010]作为本技术的一种改进，所述电机设置在电机支座上，所述防护板与所述电机支座通过螺栓连接。
[0011]基于上述技术方案，防护板起到了铝板与外部的防护作用。
[0012]作为本技术的一种改进，所述电机通过过渡机构连接紧固件。
[0013]作为本技术的一种改进，所述过渡机构为减速箱。
[0014]基于上述技术方案，减速箱内部安装不同直径的齿轮，用于调节转速。
[0015]相对于现有技术,本技术的有益效果为：
[0016]1.本设备能够测量出螺栓进、出距离，针对不同厚度的膜材，可以很快调整出水割板与主辊轮之间的间隙，可以在不破坏真空条件下自动调节水割板和膜材距离。
[0017]2.可以实现溅射区最佳隔离系数，降低各工艺腔室内部的膜层污染率。
附图说明
[0018]图1为本技术中串气装置整体结构示意图。
[0019]图2为本技术中主辊轮与水割板连接示意图。
[0020]图3为本技术中主辊轮与铝板连接示意图。
[0021]图4为本技术中防护板位置示意图。
[0022]附图标识列表：100
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主辊轮、101
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铝板、102
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水割板、103
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溅射腔体、104
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电机、105
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第一溅射腔、106
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第二溅射腔、107
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间隙、108
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轴承、109
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螺栓、110
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防护板、111
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电机支座、112
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过渡机构。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本技术，应理解下述具体实施方式仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。
[0024]实施例：参阅图1
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4，一种导电薄膜控制串气装置，所述装置包括主辊轮100、铝板101、水割板102、溅射腔体103及电机104，所述水割板102将所述溅射腔体103分隔为若干溅射腔，所述主辊轮100与铝板101连接，所述铝板101设置在所述主辊轮100侧面位置，所述水割板102设置在所述主辊轮100侧边位置，所述水割板102与所述主辊轮100之间具有间隙107，所述水割板102通过紧固件连接于所述铝板101上，所述电机104连接于所述紧固件上，通过在水割板102上安装马达电机104，调整水割板102与主辊轮100（铝板101）之间的距离，从而达到控制串气的功能。
[0025]进一步地，所述铝板101的直径与主辊轮100的直径相同，所述铝板101固定在所述主辊轮100中心的轴承108上。通过在主辊轮100中心向外焊接安装圆柱体的轴承108用于固定铝板101，铝板101为具有一定厚度的圆盘，直径与主辊轮100相同，铝板101的外缘边上连接紧固件。
[0026]进一步地，所述紧固件为螺栓109，螺栓109的一端连接电机104，螺栓109的另一端穿过所述水割板102抵靠在所述铝板101上。通过控制马达电机104正反转调整螺栓109深浅，螺栓109进入的深，则水割板102与铝板101的间距，即与主辊轮100之间的间距变大，反之则变小。
[0027]进一步地，所述铝板101的外侧面还设置有防护板110。所述电机104设置在电机支座111上，所述防护板110与所述电机支座111通过螺栓109连接。防护板110起到了铝板101与外部的防护作用。
[0028]进一步地，所述电机104通过过渡机构112连接紧固件。所述过渡机构112为减速箱。减速箱内部安装不同直径的齿轮，用于调节转速。
[0029]工作原理：将马达电机104安装在电机支座111上，并通过螺栓109与水割板102连接，通过马达电机104调整水割板102与主辊轮100之间的距离，从而达到控制串气的功能，
将第一溅射腔105体103内充入200sccm氩气：
[0030]①
水割板102与主辊轮100之间的距离为0mm时，第二溅射腔106体103内真空度无变化，隔离系数无穷大；
[0031]②
水割板102与主辊轮100之间的距离为1mm时，第二溅射腔106体103内真空度由6.3*10
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4Pa变为7.1*10
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4Pa，隔离系数226；
[0032]③
水割板102与主辊轮100之间距离为2mm时，第二溅射腔106体103内真空度由6.3*10
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4Pa变为9.1*10
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4Pa，隔离系数159本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜控制串气装置，其特征在于，所述装置包括主辊轮（100）、铝板（101）、水割板（102）、溅射腔体（103）及电机（104），所述水割板（102）将所述溅射腔体（103）分隔为若干溅射腔，所述主辊轮（100）与铝板（101）连接，所述铝板（101）设置在所述主辊轮（100）侧面位置，所述水割板（102）设置在所述主辊轮（100）侧边位置，所述水割板（102）与所述主辊轮（100）之间具有间隙（107），所述水割板（102）通过紧固件连接于所述铝板（101）上，所述电机（104）连接于所述紧固件上。2.根据权利要求1所述的一种导电薄膜控制串气装置，其特征在于，所述铝板（101）的直径与主辊轮（100）的直径相同，所述铝板（101）固定在所述主辊轮（100）中心的轴承（108）上。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡超川，朱磊，张继凡，周健，
申请(专利权)人：安徽立光电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：