一种用于多实体搬运的搬运装置制造方法及图纸

本申请提供了一种用于多实体搬运的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括辅助轮、固定连接件以及高度调整模块，其中，所述高度调整模块固定连接至所述辅助轮的上方且固定连接至所述固定连接件，所述固定连接件包括用于固定连接至所述高度调整模块的第一连接单元以及用于固定连接至需要搬运的实体的第二连接单元。根据本申请的搬运装置，具有转向方便、高扭矩负载以及结构简单的优点，一方面可以调节实体高度以满足复杂地面环境的需求，同时可以实现多实体的整体搬运，且由于其操作简单便捷，能够极大地节约人力成本和时间成本。能够极大地节约人力成本和时间成本。能够极大地节约人力成本和时间成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多实体搬运的搬运装置


[0001]本申请涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于半导体设备的周转及搬运的技术方案。

技术介绍

[0002]近年以来，国内半导体行业正在快速发展。各企业跨界进入半导体领域已经屡见不鲜，例如康佳、格力等知名家电企业；小米、华为等智能手机厂商；百度、阿里等互联网公司。全国各地出现了大量计划筹建及正在建设的半导体产业园，半导体行业未来会在国内有突破性的发展。
[0003]随着半导体行业的发展，对半导体设备的需求也日益剧增。然而，半导体设备在生产车间进行周转和搬运的过程中，受特殊环境影响，普通的叉装设备不能进入车间，这就需要半导体设备具有独立的运转能力，因此，目前半导体设备通常都安装有脚轮以用于周转和搬运。但是受半导体设备自身结构和空间的影响，半导体设备自身安装的脚轮较小，距地高度较低，若遇到复杂的地面环境(例如类似减速带的凸台)就无法满足需求。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种用于多实体搬运的搬运装置，所述搬运装置一方面可以调节半导体设备的高度以满足复杂地面环境的需求，同时可以满足本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于多实体搬运的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括辅助轮、固定连接件以及高度调整模块，其中，所述高度调整模块固定连接至所述辅助轮的上方且固定连接至所述固定连接件，所述固定连接件包括用于固定连接至所述高度调整模块的第一连接单元以及用于固定连接至需要搬运的实体的第二连接单元；其中，所述高度调整模块能够通过调整自身高度使得与之相连的所述固定连接件上下移动，从而带动与所述固定连接件相连接的实体上下移动，由此实现对实体高度的调节。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述高度调整模块包括用于固定连接至所述辅助轮的第三连接单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛宗钦，朱强铭，刘军凯，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：