恒温液态源鼓泡器制造技术

本发明专利技术涉及半导体外延设备领域内的一种恒温液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及换热盘管；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，液体加注管的一端自筒体的顶部进入筒体内，出气管的一端与筒体顶板上的通孔密封连接，换热盘管以螺旋的方式盘旋成柱形至于筒体内，换热盘管通过位于筒体外的进口和出口进行换热流体的循环流动，使筒体内的液体达到预设温度并保持。本发明专利技术通过换热盘管的换热流体持续流动使得筒体内的液体的温度能够保持在恒定的温度范围内，进而使得位于液体内的饱和气体的浓度稳定，提高了饱和气泡对液体的携带效率。的携带效率。的携带效率。

Constant temperature liquid source bubbler

【技术实现步骤摘要】
恒温液态源鼓泡器


[0001]本专利技术涉及半导体外延设备领域，具体地，涉及一种恒温液态源鼓泡器。

技术介绍

[0002]鼓泡法一般是将精确计量的工艺气体或者惰性气体作为载气通入液态源内，形成含有液态源蒸汽的气泡，输出至工艺机台的方法。因液态源的输出量受载气的流量及携带效率影响，因此，载气气体流量与液态源的携带量二者之间的线性度，即携带效率决定了产品的品质高低。
[0003]现有技术中存在鼓泡器，例如公开号为CN205329209U的中国专利，公开了一种鼓泡器，包括一管本体，用于存放液体反应物；第一进气管插入所述管本体中，用于将气体通入所述管本体的液体反应物中，以进行起泡，形成含有反应物的饱和气体；废液管与所述管本体连接；还包括一第二进气管，一端与所述第一进气管的进气端连通，另一端与所述废液管连通，用于在第一进气管堵塞的情况下将气体由所述废液管通入所述管本体中；第一阀门设置在废液管上，位于管本体与第二进气管连接点之间，用于控制废液管的开闭；流量监控器与所述第一进气管连接，用于监控第一进气管的气体流量；阀门控制器与所述流量监控器以及第一阀门连接，用于在流量监控器监控的第一进气管的气体流量小于预设值的情况下，控制第一阀门开启。这种鼓泡器能够将氢气通入管本体后起泡，起泡后的三氯氢硅溶液通过排气管排出用于外延生长。但存在的不足是管体内的液体温度不稳定，即影响气泡效率，另外还存在气泡液体的携带量效率不佳的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种恒温液态源鼓泡器。
[0005]根据本专利技术提供的一种恒温液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及换热盘管；
[0006]所述筒体为密封的柱型筒体，所述进气管的一端自所述筒体的顶板进入并延伸至靠近所述筒体的底板处，位于所述筒体内的所述进气管的端口记为出气口，所述液体加注管的一端自所述筒体的顶部进入所述筒体内，所述出气管的一端与所述筒体顶板上的通孔密封连接，所述换热盘管以螺旋的方式盘旋成柱形至于所述筒体内，所述换热盘管通过位于所述筒体外的进口和出口进行换热流体的循环流动；
[0007]液体经所述液体加注管加入所述筒体内至预定高度，通过所述换热盘管内加热液体的循环流动使所述筒体内的液体达到预设温度并保持，气体通过所述进气管进入所述筒体内并经所述出气口形成气泡，气泡上移后经所述出气管排出并通入外部反应装置。
[0008]一些实施方式中，还包括液位检测器，所述液位检测器用于监测位于所述筒体内液体的液面与所述筒体的顶板内表面之间的距离。
[0009]一些实施方式中，还包括气泡分布器，所述气泡分布器包括中心盘和条板，沿所述中心盘的圆周方向均布有多个所述条板形成圆盘状，相邻两条所述条板之间设有狭缝，所
述气泡分布器位于所述出气口上方，所述气泡分布器设有用于容置并供所述进气管与所述液体加注管进出的缺口；
[0010]液体经所述液体加注管加入所述筒体内至预定高度，所述出气口与所述气泡分布器位于液面之下，气体通过所述出气口进入所述筒体内并形成气泡，上移的气泡通过所述狭缝后沿所述筒体的径向方向扩散，扩散的气泡继续上移并通过所述出气管通入外部反应装置。
[0011]一些实施方式中，所述狭缝的宽度为气泡平均直径的1.2
‑
1.8倍，所述狭缝的宽度自所述中心盘至所述条板的自由端处逐渐变大。
[0012]一些实施方式中，所述中心盘和\或所述条板上密布气孔，所述气孔的孔径为气泡平均直径的1.2
‑
1.8倍。
[0013]一些实施方式中，所述中心盘与所述条板上均设有所述气孔，所述气孔的密度自所述中心盘的中心至所述条板的自由端处变小。
[0014]一些实施方式中，还包括气体分布器，所述气体分布器安装于所述出气口上并连通，所述气体分布器是由金属粉末烧结而成的微孔结构体。
[0015]一些实施方式中，所述气体分布器上的气孔的平均孔径为10
‑
100μm。
[0016]一些实施方式中，包括安全泄压阀，所述安全泄压阀安装于所述筒体上。
[0017]一些实施方式中，还包括预埋管，所述预埋管作为所述液体注入管的备用管。
[0018]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0019]1、本专利技术通过换热盘管的换热流体持续流动使得筒体内的液体的温度能够保持在恒定的温度范围内，进而使得位于液体内的饱和气体的浓度稳定，提高了饱和气泡对液体的携带效率。
[0020]2、本专利技术通过气泡分布器即提高了气泡的独立性，又提高了气泡的分布面积，从而提高了气泡将液体带离的效率。
[0021]3、本专利技术通过将气泡分布器上的气孔布设设计为中心密集、边缘稀疏的结构特点，使得自出气口处形成的气泡能够较快的通过气泡分离器分布器，进一步提高气泡带离液体的效率。
[0022]4、本专利技术通过气泡分布器的边缘与筒体的内壁之间保持一定的距离，使得直径偏大的气泡能够通过间隙继续上移，同时气泡分布器的边缘与筒体的内壁不相接触也可有效防止两者接触后使得部分气泡被滞留于夹角位置的问题。
[0023]5、本专利技术通过于进气管的出气口连通气泡分布器，提高液体中气泡的密度，同时进一步提高气泡的分布均匀性。
[0024]6、本专利技术通过设置相应的辅助装置，提高装置的操作便捷性、操作过程的安全性以及气泡的液体携带量。
附图说明
[0025]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0026]图1为本专利技术正视结构示意图；
[0027]图2为本专利技术后视结构示意图；
[0028]图3为本专利技术气泡分布器的一种实施方式结构示意图；
[0029]图4为本专利技术气泡分布器上设置有气孔的结构示意图。
具体实施方式
[0030]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。
[0031]实施例1
[0032]本专利技术提供了一种恒温液态源鼓泡器，如图1
‑
2所示，包括筒体1、进气管2、出气管3、液体加注管4以及换热盘管5。筒体1为圆柱型的密封容器，优选的，筒体1的顶板与筒体1的筒身为分体结构，通过密封连接，便于维护。进气管2、出气管3以及液体加注管4均与筒体1的内腔连通，具体地，进气管2用于向筒体1内通入气体以形成气泡，进气管2的一端自筒体1的顶板进入筒体1内，且其端口靠近筒体1的底板，此处，将靠近筒体1底板的进气管2的端口记为出气口21，相应地位于筒体1顶板外的进气管2的端口记为进气口22。由于气泡向上移动至形成饱和气泡的距离一定，将出气口21的位置靠近筒体1的底板，能够整体降低筒体1的高度，使得结构更加紧凑。出气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种恒温液态源鼓泡器，其特征在于，包括筒体(1)、进气管(2)、出气管(3)、液体加注管(4)以及换热盘管(5)；所述筒体(1)为密封的柱型筒体，所述进气管(2)的一端自所述筒体(1)的顶板进入并延伸至靠近所述筒体(1)的底板处，位于所述筒体(1)内的所述进气管(2)的端口记为出气口(21)，所述液体加注管(4)的一端自所述筒体(1)的顶部进入所述筒体(1)内，所述出气管(3)的一端与所述筒体(1)顶板上的通孔密封连接，所述换热盘管(5)以螺旋的方式盘旋成柱形置于所述筒体(1)内，所述换热盘管(5)通过位于所述筒体(1)外的进口(51)和出口(52)进行换热流体的循环流动；液体经所述液体加注管(4)加入所述筒体(1)内至预定高度，通过所述换热盘管(5)内加热液体的循环流动使所述筒体(1)内的液体达到预设温度并保持，气体通过所述进气管(2)进入所述筒体(1)内并经所述出气口(21)形成气泡，气泡上移后经所述出气管(3)排出并通入外部反应装置。2.根据权利要求1所述的恒温液态源鼓泡器，其特征在于，还包括液位检测器(6)，所述液位检测器(6)用于监测位于所述筒体(1)内液体的液面与所述筒体(1)的顶板内表面之间的距离。3.根据权利要求1或2所述的恒温液态源鼓泡器，其特征在于，还包括气泡分布器(7)，所述气泡分布器(7)包括中心盘(71)和条板(72)，沿所述中心盘(71)的圆周方向均布有多个所述条板(72)形成圆盘状，相邻两条所述条板(72)之间设有狭缝(720)，所述气泡分布器(7)位于所述出气口(21)上方，所述气泡分布器(7)设有用于容置并供所述进气管(2)与所述液体加注管(4)进出的缺口(73)；液体经所述液体加注管(4)加入所述筒体(1)内至预定高度，所述出气口(21)与所述气泡分...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：