本发明专利技术提供了一种干式真空泵的信息转换装置，包含：第一信息模块、内存模块、第二信息模块以及处理模块，第一信息模块通过干式真空泵的信息端口接收感测数据包，内存模块储存有可解译感测数据包的程序、感测数据的存取位置及标识符，处理模块获取感测数据，依据Modbus协议转换感测数据的编码，且将转换编码的感测数据储存至内存模块。当监测主机将包含标识符的查询信息传输至第二信息模块时，处理模块通过存取地址读取转换编码的感测数据，编辑标识符及转换编码的感测数据，得到SECS/GEM信息协议的数据包，第二信息模块将SECS/GEM信息协议的数据包传输至监测主机。的数据包传输至监测主机。的数据包传输至监测主机。
【技术实现步骤摘要】
干式真空泵的信息转换装置
[0001]本专利技术涉及一种信息转换装置，特别涉及干式真空泵的信息转换装置。
技术介绍
[0002]半导体制程须使用大量的干式真空泵(Dry Pump)，若干式真空泵的效能不足或故障，会导致加工中晶圆的质量异常，不仅增加制造成本，更可能发生工安事件及延误交期。图1为现有干式真空泵监测系统的结构示意图，如图1所示，干式真空泵监测系统1包含：多部干式真空泵10、多个输入/输出网关)11、环状集线器(Ring Hub)12、数据收集与监视(supervisory control and data acquisition,简称SCADA)服务器13、历史数据库14、转码计算机装置15及失效侦测及分类(Fault detection and classification,简称FDC)服务器16。各输入/输出网关11串接多部干式真空泵10，环形集线器12连接全部的输入/输出网关11与SCADA服务器13，SCADA服务器13连接历史数据库14，转码计算机装置15通过网络分别连接历史数据库14与FDC服务器16。
[0003]由于不同的干式真空泵制造厂商各自定义感测数据的编码格式，未使用共同信息协议来编码感测数据，而半导体厂的网络信息采用半导体设备信息标准(SEMI Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model,简称SECS/GEM)，SCADA服务器13通过环形集线器12接收多部干式真空泵10的感测数据后，将不同格式的感测数据储存至历史数据库14；半导体厂商须进一步设置转码计算机装置15将历史数据库14中不同编码格式的干式真空泵10感测数据转译成SECS/GEM编码格式的感测数据，再将SECS/GEM编码格式的感测数据存放于转码计算机装置15的数据库，供FDC服务器读取及监测。
[0004]现有干式真空泵监测系统属于一对多架构(1：N)，每部SCADA服务器通常收集数百至数千台干式真空泵的感测数据，各干式真空泵的传感器产生感测数据的时间与SCADA服务器通过环形集线器接收感测数据的时间存在落差，且感测数据须经多次转码，FDC服务器须校正时间差后才能筛选干式真空泵运转时的感测数据；因此，现有干式真空泵的监测系统无法真正达到实时监测的功能。再者，若发生数据传输碰撞或SCADA服务器异常，则可能导致部分或全部的感测数据流失，而形成监测空窗。如何解决现有技术的种种问题，建造可将不同厂牌干式真空泵的感测数据实时且准确传输至监测或控制系统的信息转换装置，成为本领域技术人员的急需解决的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术实施例要达到的技术目的是提供干式真空泵的信息转换装置，用以解决当前干式真空泵监测系统属于一对多架构，无法真正达到实时监测以及易导致部分或全部的感测数据流失，而形成监测空窗的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种干式真空泵的信息转换装置，包含：第一信息模块、内存模块、第二信息模块以及处理模块。第一信息模块一对一连接干式真空泵的信息端口，且通过信息端口接收感测数据包。内存模块储存有可解译感测数据包
的程序、对应感测数据的存取地址及标识符。第二信息模块通过第一网络连接至监测主机。处理模块分别连接第一信息模块、内存模块及第二信息模块，解译感测数据包获取感测数据，依据Modbus协议转换感测数据的编码，且将经转换编码的感测数据储存至内存模块的存取地址。当监测主机将包含标识符的查询信息传输至第二信息模块时，处理模块通过存取地址读取经转换编码的感测数据，编辑标识符及经转换编码的感测数据，得到SECS/GEM信息协议的数据包；第二信息模块将SECS/GEM信息协议的数据包传输至监测主机。
[0007]具体地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述处理模块产生查询指令，上述第一信息模块将询问指令传输至上述干式真空泵的信息端口，上述干式真空泵依据询问指令产生上述感测数据包。
[0008]优选地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述内存模块储存有网络资源地址，上述监测主机的上述查询信息包含网络资源地址。
[0009]具体地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述感测数据的编码为二进制，上述处理模块转换上述感测数据的编码为十六进制。
[0010]进一步的，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述SECS/GEM信息协议的数据包包含上述经转换编码的感测数据的正负值及小数点位数。
[0011]具体地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述第二信息模块通过第二网络连接至数据收集主机，当数据收集主机将数据收集信息传输至上述第二信息模块时，上述处理模块通过上述存取地址读取上述经转换编码的感测数据，编辑上述转换编码的感测数据，得到Modbus TCP信息协议的数据包，上述第二信息模块将Modbus TCP信息协议的数据包传输至数据收集主机。
[0012]优选地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述第二信息模块通过第三网络连接至云端服务器，当云端服务器将数据订阅信息传输至上述第二信息模块时，上述处理模块通过存取地址读取上述经转换编码的感测数据，编辑上述经转换编码的感测数据，得到MQTT信息协议的数据包，上述第二信息模块将MQTT信息协议的数据包传输至云端服务器。
[0013]具体地，如上所述的干式真空泵的信息转换装置，上述内存模块进一步储存有上述感测数据的异常范围，当上述处理模块判断上述经转换编码的感测数据落入异常范围时，上述处理模块产生MQTT信息协议的通报信息，上述第二信息模块将MQTT信息协议的通报信息传输至上述云端服务器。
[0014]本专利技术的干式真空泵的信息转换装置包含第一信息模块、内存模块、第二信息模块及处理模块，其中第一信息模块一对一接收干式真空泵的感测数据包，内存模块储存多种可解译干式真空泵的感测数据包的程序，处理模块可将不同编码格式的感测数据编码成Modbus信息协议的感测数据，且对应监测、收集及其他需求将感测数据编辑成SECS/GEM、Modbus TCP、MQTT等不同信息协议的感测数据包，第二信息模块可实时将感测数据包传输至监测主机、数据收集主机及/或云端服务器，监测主机、数据收集主机及/或云端服务器不须再次转码，即可直接利用感测数据，达成实时且准确监测的目的。
附图说明
[0015]图1为现有干式真空泵监测系统的结构示意图；
[0016]图2为本专利技术的干式真空泵的信息转换装置的结构示意图；
[0017]图3为使用本专利技术的信息转换装置的一干式真空泵监测系统的结构示意图；
[0018]图4为使用本专利技术的信息转换装置的另一干式真空泵监测系统的结构示意图；以及
[0019]图5为使用本专利技术的信息转换装置的另一干式真空泵监测系统的结构示意图。
[0020]【附图标记说明】
[0021]1,3,4,5：干式真空泵监测系统；2：干式真空泵的信息转换装置；10：干式真空泵；11：输本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种干式真空泵的信息转换装置，其特征在于，包含：第一信息模块，一对一连接干式真空泵的信息端口，且通过所述信息端口接收感测数据包；内存模块，储存有可解译所述感测数据包的程序、对应感测数据的存取地址及标识符；第二信息模块，通过第一网络连接至监测主机；以及处理模块，分别连接所述第一信息模块、所述内存模块及所述第二信息模块，解译所述感测数据包获取感测数据，依据Modbus协议转换所述感测数据的编码，且将所述经转换编码的感测数据储存至所述内存模块的所述存取地址；当所述监测主机将包含标识符的查询信息传输至所述第二信息模块时，所述处理模块通过所述存取地址读取所述经转换编码的感测数据，编辑所述标识符及所述经转换编码的感测数据，得到SECS/GEM信息协议的数据包；所述第二信息模块将所述SECS/GEM信息协议的数据包传输至所述监测主机。2.根据权利要求1所述的干式真空泵的信息转换装置，其特征在于，所述处理模块产生询问指令，所述第一信息模块将所述询问指令传输至所述干式真空泵的信息端口，所述干式真空泵依据所述询问指令产生所述感测数据包。3.根据权利要求1所述的干式真空泵的信息转换装置，其特征在于，所述内存模块储存有网络资源地址，所述监测主机的所述查询信息包含所述网络资源地址。4.根据权利要求1所述的干式真空泵的信息转换装置，其特征在于，所述感测数据的编码为二进制，所述处理模块转换所述感测...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪吉村，高家祥，
申请(专利权)人：智禾科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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