LCOS显示器及其制作方法技术

本发明专利技术提供了一种LCOS显示器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一硅基底与一玻璃基底，在所述硅基底上形成多个框胶图形，相邻所述框胶图形之间具有切割道，每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环；将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合；根据所述切割道进行切割工艺，分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底；以及对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺，形成多个由硅基底单元与玻璃基底单元组成的晶盒。在切割过程中若发生透切异常导致产品进水，由于框胶图形是闭环，能够有效阻止水进入晶盒，避免晶盒污染造成的报废，从而提高产品的良率。从而提高产品的良率。从而提高产品的良率。

LCOS display and its manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
LCOS显示器及其制作方法


[0001]本专利技术涉及集成电路
，特别涉及一种LCOS显示器及其制作方法。

技术介绍

[0002]LCOS(Liquid Crystal on Silicon，液晶附硅)结构是一种新型的反射式投影显示装置，其是采用半导体硅晶技术控制液晶进而“投射”彩色画面。与穿透式LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)和DLP(Digital Light Procession，数字光投影)结构相比，LCOS结构具有光利用效率高、体积小、开口率高、制造技术成熟等特点，其可以很容易实现高分辨率和充分的色彩表现。上述优点使得LCOS结构在今后的大屏幕显示应用领域具有很大的优势。
[0003]图1为现有技术中LCOS显示器的结构示意图。请参考图1所示，现有的LCOS显示器的制作方法一般包括：步骤S1，提供硅基底10与玻璃基底20，例如，所述硅基底和所述玻璃基底上可以形成有电极；步骤S2，在所述硅基底10和所述玻璃基底20上执行取向工艺，从而有利于之后液晶的排布；步骤S3，形成框胶图形30，所述硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LCOS显示器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：提供一硅基底与一玻璃基底，在所述硅基底上形成多个框胶图形，相邻所述框胶图形之间具有切割道，每个所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后组成闭环；将形成有所述框胶图形的所述硅基底与所述玻璃基底进行贴合；根据所述切割道进行切割工艺，分别切割部分厚度的所述硅基底与部分厚度的所述玻璃基底，在所述切割道形成切割缺口；以及对所述硅基底与所述玻璃基底进行裂片工艺，形成多个包括硅基底单元与玻璃基底单元的晶盒。2.如权利要求1所述的LCOS显示器的制作方法，其特征在于，每个所述框胶图形的注入口的朝向一致。3.如权利要求2所述的LCOS显示器的制作方法，其特征在于，所述框胶图形的注入口跨过所述切割道之后与相邻所述框胶图形组成闭环。4.如权利要求1所述的LCOS显示器的制作方法，其特征在于，所述框胶图形呈具有注入口的矩...

【专利技术属性】
技术研发人员：许冠军，唐利军，张士伟，
申请(专利权)人：豪威半导体上海有限责任公司，
类型：发明
国别省市：