一种中空膜丝脱气组件制造技术

本实用新型专利技术涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气组件,用于去除料液内溶解的气体，它包括壳体，该壳体具有密闭设置的容腔；且该壳体表面设置有进液口、出液口和抽气口，所述进液口、出液口位于壳体的同一侧，所述抽气口连通抽气装置以用于降低容腔气压；它还包括：中空膜丝束，其两端部分别密封设置在进液口和出液口上以在容腔内形成料液流道；且其由多根中空膜丝组成，每根中空膜丝具有允许气体通过但不允许液体通过的壁；此外，所述中空膜丝束至少有部分在容腔内螺旋设置；且，设中空膜丝的长度尺寸为A，容腔的深度尺寸为B，则A≥3.3B,该技术方案下的脱气组件可增加排气效率。件可增加排气效率。件可增加排气效率。

【技术实现步骤摘要】
一种中空膜丝脱气组件


[0001]本技术涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气组件。

技术介绍

[0002]在显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业生产流程中需要对所使用的光刻胶在特定波长的光下曝光特定的时间，使其能通过光化学反应，使各种物质发生不同的化学结构变化。当在电路板上对光刻胶进行涂布时，如果光刻胶内存有残留气泡的话，会出现光刻胶涂布精度下降、电路板出现品质缺陷或光刻胶显影缺陷的情况，为了防止其出现，会在制程之前设置气液分离中空膜丝组件。
[0003]现有技术中公开的气液分离中空膜丝组件，主要包括壳体、花板和中空膜丝，壳体内设置有容腔，中空膜丝密封连接在花板的固定孔上，通过在容腔内灌注料液，在中空膜丝内抽真空，将被料液中的夹带的气体吸入膜内而进行脱气；但该种技术方案需要将中空膜丝间间距设置在2.6mm以上，以使各中空膜丝与固定孔连接处均匀受热进而保证密封性，对于料液的脱气来说，料液中夹带的气体距离中空膜丝的路径过长，气体难以进入中空膜丝内部的流道中排出。因此，本领域的技术人员目前应用较多的技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中空膜丝脱气组件，用于去除料液内溶解的气体，它包括壳体，该壳体具有密闭设置的容腔；且该壳体表面设置有进液口、出液口和抽气口，所述进液口、出液口位于壳体的同一侧，所述抽气口连通抽气装置以用于降低容腔气压；其特征在于，它还包括：中空膜丝束，其两端部分别密封设置在进液口和出液口上以在容腔内形成料液流道；且其由多根中空膜丝组成，每根中空膜丝具有允许气体通过但不允许液体通过的壁；此外，所述中空膜丝束至少有部分在容腔内螺旋设置；且，设中空膜丝的长度尺寸为A，容腔的深度尺寸为B，则A≥3.3B。2.根据权利要求1所述的脱气组件，其特征在于，所述中空膜丝束通过一个或多个带状体束缚，两端部分别密封设置于壳体顶部的进液口和出液口；且中空膜丝束具有支撑于容腔底部的支撑部。3.根据权利要求2所述的脱气组件，其特征在于，所述中空膜丝束还包括竖直部和盘旋部，所述竖直部从进液口或出液口的其一延伸至容腔底部；所述盘旋部向上盘旋以连接进液口和出液口的另一；所述支撑部连接竖直部和盘旋部。4.根据权利要求3所述的脱气组件，其特征在于，所述竖直部位于盘旋部的内侧。5.根据权利要求2所述的脱气组件，其特征在于，所述中空膜丝束还包括盘旋部，该盘旋部包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，徐清杭，谢晓峰，
申请(专利权)人：杭州科百特过滤器材有限公司，
类型：新型
国别省市：