本公开涉及一种基板干燥装置、清洗系统及干燥方法，该基板干燥装置包括：基座，所述基座上设有基板的安装位；干燥部件，悬置于所述安装位的上方，所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头，用于喷出高温气体，对所述基板上的水残进行干燥；滑动组件，包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块，所述滑块与所述干燥部件固定连接，用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动；驱动机构，与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。本公开能够提高包含该基板干燥装置的清洗设备的性能，保证基板产品的良率，并提高位于基板干燥装置的下游的检测设备的稼动率和产品直通率。下游的检测设备的稼动率和产品直通率。下游的检测设备的稼动率和产品直通率。
【技术实现步骤摘要】
基板干燥装置、清洗系统及干燥方法
[0001]本公开涉及基板清洗
，具体涉及一种基板干燥装置、清洗系统及干燥方法。
技术介绍
[0002]TFT
‑
LCD行业，很多工艺会使用湿洗设备(显影机、蚀刻机、剥膜机和清洗机等)对oled玻璃基板进行清洗，当基板在湿洗设备的干燥工位时，因干燥段风刀(Air Knife)安装精度不佳、基板承载滚轮(Roller)损坏和风刀口堵塞等原因造成基板上水滴残留，这样的异常产品会导致下游的检查装置稼动率和产品直通率下降，基板产品良率下降，且影响湿洗设备的性能。
技术实现思路
[0003]本公开实施例提供了一种基板干燥装置，能够解决现有技术中的上述问题。
[0004]根据本公开的方案之一，提供一种基板干燥装置，包括：
[0005]基座，所述基座上设有基板的安装位；
[0006]干燥部件，悬置于所述安装位的上方，所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头，用于喷出高温气体，对所述基板上的水残进行干燥；
[0007]滑动组件，包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块，所述滑块与所述干燥部件固定连接，用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动；
[0008]驱动机构，与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。
[0009]在一些实施例中，所述驱动机构包括伺服电机和与所述伺服电机连接的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠设于所述导轨的一侧，并与所述导轨相对平行设置，所述滚珠丝杠与所述滑块连接。
[0010]在一些实施例中，所述导轨上设有多个定位光栅，多个所述定位光栅沿所述导轨均布。
[0011]在一些实施例中，所述基板干燥装置还包括与所述干燥部件连接的气体管路，以为所述干燥部件提供高温气体。
[0012]在一些实施例中，所述气体管路上设有加热器。
[0013]在一些实施例中，所述气体管路上安装有控制阀，所述控制阀包括开关阀、调压阀或节流阀中的至少一种。
[0014]在一些实施例中，所述气体管路上安装有流量计和/或压力计。
[0015]根据本公开的方案之一，还提供一种基板清洗系统，包括：
[0016]清洗设备，所述清洗设备包括上述的基板干燥装置；
[0017]水残检测装置，设于所述清洗设备的下游，并与所述基板干燥装置的所述驱动机构连接，以在检测出所述基板上存在水残时，将所述基板输送至所述基板干燥装置，并通过所述驱动机构的工作使所述干燥部件移动至水残位置对所述水残进行干燥。
[0018]在一些实施例中，所述基板清洗系统还包括检测机构，用于检测所述基板是否置于所述清洗设备，以在所述基板置于所述清洗设备时，向所述基板干燥装置的气体管路内提供气体，并对所述气体进行预热。
[0019]根据本公开的方案之一，还提供一种基板干燥方法，应用于上述的基板清洗系统，所述方法包括：
[0020]通过所述水残检测装置检测基板上是否存在水残；
[0021]若存在，获取各所述水残的位置坐标；
[0022]将所述基板输送至所述基板干燥装置的安装位；
[0023]通过所述基板干燥装置的驱动机构的工作，将所述基板干燥装置的干燥部件移动至所述水残的位置坐标；
[0024]通过所述干燥部件的所述喷淋头喷出的高温气体对所述水残进行干燥。
[0025]在一些实施例中，所述方法还包括：
[0026]获取各所述水残的位置坐标；
[0027]获取各所述位置坐标中的最大位置坐标和最小位置坐标；
[0028]求取所述最大位置坐标和最小位置坐标的平均值，以确定各所述水残的平均位置坐标；
[0029]将所述平均位置坐标确定为所述水残的干燥位置。
[0030]本公开的各种实施例提供的基板干燥装置基板干燥装置、清洗系统及干燥方法，通过导轨和滑块组成的滑动组件带动干燥部件沿导轨平移，能够快速、精准地对水残位置进行定位，并通过对应的喷淋头及时对基板上的水残进行干燥，提高包含该基板干燥装置的清洗设备的性能，保证基板产品的良率，并提高位于基板干燥装置的下游的检测设备的稼动率和产品直通率；同时，采用由多个喷淋头组成的喷淋式干燥部件能够增加水残的处理时间，加强基板干燥效果。
附图说明
[0031]图1示出本公开实施例的基板干燥装置的结构示意图；
[0032]图2示出本公开实施例的基板干燥装置的工作结构示意图；
[0033]图3示出本公开实施例的基板清洗系统的结构示意图；
[0034]图4示出本公开实施例的基板清洗系统的另一结构示意图。
[0035]附图标记：
[0036]10
‑
基板干燥装置；20
‑
清洗设备；30
‑
水残检测装置；40
‑
控制单元；100
‑
基板；200
‑
水滴；
[0037]1‑
基座、11
‑
安装位；2
‑
干燥部件、21
‑
喷淋头；31
‑
导轨、32
‑
滑块；41
‑
伺服电机、42
‑
滚珠丝杠；5
‑
定位光栅；6
‑
气体管路。
具体实施方式
[0038]此处参考附图描述本公开的各种方案以及特征。
[0039]应理解的是，可以对此处申请的实施例做出各种修改。因此，上述说明书不应该视为限制，而仅是作为实施例的范例。本领域的技术人员将想到在本公开的范围和精神内的
其他修改。
[0040]包含在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与上面给出的对本公开的大致描述以及下面给出的对实施例的详细描述一起用于解释本公开的原理。
[0041]通过下面参照附图对给定为非限制性实例的实施例的优选形式的描述，本公开的这些和其它特性将会变得显而易见。
[0042]还应当理解，尽管已经参照一些具体实例对本公开进行了描述，但本领域技术人员能够确定地实现本公开的很多其它等效形式。
[0043]当结合附图时，鉴于以下详细说明，本公开的上述和其他方面、特征和优势将变得更为显而易见。
[0044]此后参照附图描述本公开的具体实施例；然而，应当理解，所申请的实施例仅仅是本公开的实例，其可采用多种方式实施。熟知和/或重复的功能和结构并未详细描述以避免不必要或多余的细节使得本公开模糊不清。因此，本文所申请的具体的结构性和功能性细节并非意在限定，而是仅仅作为权利要求的基础和代表性基础用于教导本领域技术人员以实质上任意合适的详细结构多样地使用本公开。
[0045]图1和图2示出了本公开实施例的基板干燥装置的结构示意图。如图1和图2所示，本公开实施例提供了一种基板干燥装置10，包括：
[0046]基座1，基座1上设有基板100的安装位11；
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板干燥装置，包括：基座，所述基座上设有基板的安装位；干燥部件，悬置于所述安装位的上方，所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头，用于喷出高温气体，对所述基板上的水残进行干燥；滑动组件，包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块，所述滑块与所述干燥部件固定连接，用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动；驱动机构，与所述滑块连接，用于驱动所述滑块移动。2.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中，所述驱动机构包括伺服电机和与所述伺服电机连接的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠设于所述导轨的一侧，并与所述导轨相对平行设置，所述滚珠丝杠与所述滑块连接。3.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中，所述导轨上设有多个定位光栅，多个所述定位光栅沿所述导轨均布。4.根据权利要求1所述的基板干燥装置，其中，所述基板干燥装置还包括与所述干燥部件连接的气体管路，以为所述干燥部件提供高温气体。5.根据权利要求4所述的基板干燥装置，其中，所述气体管路上设有加热器。6.根据权利要求4所述的基板干燥装置，其中，所述气体管路上安装有控制阀，所述控制阀包括开关阀、调压阀或节流阀中的至少一种。7.根据权利要求4所述的基板干燥装置，其中，所述气体管路上安装有流量计和/或压力计。8.一种基板清洗系统，包括：清洗设备，所述清洗设备包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄超越，刘闽，张然，李良，薛超，
申请(专利权)人：成都中电熊猫显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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