检测装置制造方法及图纸

一种检测装置，具有：基板；多个光电转换元件，排列在基板上；多个晶体管，包括半导体层和与半导体层对置的栅极电极，与多个光电转换元件分别对应地设置；以及第一电极和第二电极，在与基板垂直的方向上设置在基板与光电转换元件之间，且隔着绝缘膜而对置，第一电极具有与光电转换元件分别重叠的多个主部和连接相邻的主部的连结部，第二电极呈岛状地形成于多个光电转换元件中的每一个，第一电极与栅极电极同层，第二电极与半导体层同层。第二电极与半导体层同层。第二电极与半导体层同层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测装置


[0001]本专利技术涉及检测装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载了在基板上排列有多个PIN光电二极管等光电转换元件的检测装置(在专利文献1中为光电转换装置)。专利文献1的光电转换元件由包括三个晶体管和一个电容的驱动电路驱动。由光电转换装置生成的信号(电荷)被蓄积在电容中。从输出晶体管输出与蓄积在电容中的信号对应的电压信号。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2013
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12696号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的技术问题
[0007]检测装置要求抑制从晶体管输出的信号的偏差。
[0008]本专利技术的目的在于提供一种能够抑制输出信号的偏差的检测装置。
[0009]用于解决技术问题的方案
[0010]本专利技术的一个方式的检测装置具有：基板；多个光电转换元件，排列在所述基板上；多个晶体管，包括半导体层和与所述半导体层对置的栅极电极，与多个所述光电转换元件分别对应地设置；以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检测装置，具有：基板；多个光电转换元件，排列在所述基板上；多个晶体管，包括半导体层和与所述半导体层对置的栅极电极，与多个所述光电转换元件分别对应地设置；以及第一电极和第二电极，在与所述基板垂直的方向上设置在所述基板与所述光电转换元件之间，且隔着绝缘膜而对置，所述第一电极具有：多个主部，与所述光电转换元件分别重叠；和连结部，连接相邻的所述主部，所述第二电极呈岛状地形成于所述多个光电转换元件中的每一个，所述第一电极与所述栅极电极同层，所述第二电极与所述半导体层同层。2.一种检测装置，具有：基板；多个光电转换元件，排列在所述基板上；多个晶体管，包括半导体层、与所述半导体层对置的栅极电极、以及与所述半导体层连接的源极电极，与多个所述光电转换元件分别对应地设置；以及第一电极和第二电极，在与所述基板垂直的方向上设置在所述基板与所述光电转换元件之间，且隔着绝缘膜而对置，所述第一电极具有：多个主部，与所述光电转换元件分别重叠；和连结部，连接相邻的所述主部，所述第二电极呈岛状地形成于所述多个光电转换元件中的每一个，所述第一电极与所述栅极电极同层，所述第二电极与所述源极电极同层。3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其中，在俯视时，所述第一电极和所述第二电极设置于不与多个所述晶体管重叠的区域，在俯视时，所述第一电极和所述第二电极与所述光电转换元件重叠。4.根据权利要求1至3中任一项所述的检测装置，其中，在俯视时，所述第一电极和所述第二电极中的至少一方具有角部被倒角的倒角部。5.根据权利要求1至4中任一项所述的检测装置，其中，多个所述光电转换元件在第一方向上并排排列，所述第一电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部裕行，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：