电子零件及其制造方法技术

本发明专利技术的目的在于，在具有电容器的电子零件中，通过缓和电介质膜的应力，防止下部电极与电介质膜的界面的剥离。电子零件(1)包括：设置在基板(2)的主面上、构成下部电极的导体图案(15)；覆盖导体图案(15)的上表面(15t)和侧面(15s)的电介质膜(4)；和隔着电介质膜(4)层叠于导体图案(15)的上表面(15t)、构成上部电极的导体图案(18)。电介质膜(4)除去与基板(2)的主面平行的部分的至少一部分。这样，电介质膜中与基板的主面平行的部分的至少一部分被除去，因此应力因被除去的部分而缓和。由此防止下部电极与电介质膜的界面的剥离。止下部电极与电介质膜的界面的剥离。止下部电极与电介质膜的界面的剥离。

Electronic parts and their manufacturing methods

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子零件及其制造方法


[0001]本专利技术涉及电子零件及其制造方法，特别涉及具有电容器的电子零件及其制造方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1和2中，公开有在基板上形成有电容器和电感器的电子零件。专利文献1和2中记载的电容器由下部电极、覆盖下部电极的电介质膜和隔着电介质膜与下部电极相对的上部电极构成。在这种电子零件中，作为下部电极或上部电极的材料使用铜等良导体，作为电介质膜的材料使用氮化硅等无机绝缘材料。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2007
‑
142109号公报专利文献2：日本特开2008
‑
34626号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的问题
[0004]但是，由于氮化硅等无机绝缘材料应力强，当在基板的整个面进行形成时，存在因应力而产生剥离的情况。这样的剥离在作为下部电极的上表面与侧面的终端部的角部最为明显，存在以角部为起点产生的剥离进行传导的情况。电介质膜的剥离不仅会降低产品的可靠性，而且根据情况还存在电容脱离设计值发生变化的问题。这样的问本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电子零件，其特征在于，包括：设置在基板的主面上的下部电极；至少覆盖所述下部电极的上表面和侧面的电介质膜；和隔着所述电介质膜层叠于所述下部电极的所述上表面的上部电极，所述电介质膜被除去与所述基板的主面平行的部分的至少一部分。2.如权利要求1所述的电子零件，其特征在于：所述电介质膜被除去覆盖作为所述下部电极的所述上表面与所述侧面的终端部的角部的部分的至少一部分。3.如权利要求1或2所述的电子零件，其特征在于：所述电介质膜包含不隔着所述上部电极而覆盖所述下部电极的所述上表面的第一部分，所述第一部分的至少一部分被除去。4.如权利要求1～3中的任一项所述的电子零件，其特征在于：所述电介质膜还包含不隔着所述下部电极而覆盖所述基板的所述主面的第二部分，所述第二部分的至少一部分被除去。5.如权利要求1～4中的任一项所述的电子零件，其特征在于：还包括在设置有所述上部电极的区域覆盖所述上部电极、在未设置所述上部电极的区域覆盖所述电介质膜的钝化膜，由所述电介质膜和所述钝化膜构成的层...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉川和弘，吉田健一，大塚隆史，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：