影像确认计算机制造技术

一种影像确认计算机，其用於确认与机器人的动作相关的影像，该影像确认计算机具备存储部和运算部。所述存储部存储从所述机器人的控制器接收的电动机的位置信息和影像信息，该电动机用于驱动所述机器人的连杆体，该影像信息通过安装在所述机器人上的照相机获取。运算部使模型区域以及影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上。在所述模型区域中，通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型。在所述影像区域显示所述影像。显示所述影像。显示所述影像。

Image confirmation computer

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】影像确认计算机


[0001]本专利技术涉及一种影像确认计算机，该影像确认计算机用于确认与机器人的动作相关的影像。

技术介绍

[0002]过往，例如，已经使用机器人用于运送晶圆等的基板。专利文献1的机器人具备控制器，该控制器用以控制机器人的运动。[现有技术文献][专利文献][0003]专利文献1：日本特开2008
‑
28134号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0004]机器人可能会因为各种的原因而产生故障。在此种情况下，需要根据产生的故障进行维修作业。在晶圆处理设备等中，为了实现高等级的信息管理，多数情况下会限制将数据携带至其他的场所、以及限制与外部网络的通讯。在这种状况下，要求能迅速地确定机器人故障的原因并加以排除。
[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于，例如当机器人产生故障时，能使操作人员迅速且良好地把握状况。解决问题所使用的技术方案
[0006]本专利技术所欲解决的问题诚如上面的说明，下面对用以解决该问题的手段及其功效进行说明。
[0007]根据本专利技术的观点，提供以下结构的影像确认计算机。也就是说，该影像确认计算机，为了确认与机器人的动作相关的影像而使用。所述影像确认计算机，具备存储部和运算部。所述存储部能够存储信息。所述运算部输出基于所述存储部的存储内容的信息。所述存储部用于存储电动机的位置信息和影像信息。所述电动机用以驱动所述机器人的连杆体。所述电动机的位置信息从所述机器人的控制器接收。所述影像信息能够通过安装在所述机器人的照相机获取。所述运算部使模型区域和影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上。在所述模型区域内，通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型。在所述影像区域内显示所述影像。
[0008]通过以这种方式并排显示2个区域，操作人员能够复合且直观地把握与机器人的动作相关的状况。由此，操作人员能够平滑且准确地处理状况。(专利技术的功效)
[0009]根据本专利技术，例如当机器人产生故障时，操作人员能够迅速且良好地把握状况。
附图说明
[0010]图1是显示应用本专利技术的一实施方式的影像确认计算机的半导体处理设备的一部分的平面剖视图；图2是剖切显示半导体处理设备的一部分的侧面剖视图；图3是说明构建在半导体处理设备中的通讯网络的示意图；图4是显示被显示在影像确认计算机上的状况确认画面的显示例的图；图5是显示被显示在处理计算机上的日志分析画面的显示例的图；图6是显示故障处理支援画面的显示例的图；和图7是显示说明书画面的显示例的图。附图标记说明27机器人
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44控制器(机器人控制器)65影像确认计算机
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66存储电路(存储部)67运算电路(运算部)
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68显示器(显示部)72模型区域
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73影像区域74日志区域
具体实施方式
[0011]下面，参照附图说明本专利技术的实施方式。图1是显示应用本专利技术的一实施方式的半导体处理设备20的一部分的平面剖视图。图2是剖切显示半导体处理设备20的一部分的侧面剖视图。在图1以及图2中，以二点点划线显示以各种方式移动机器人27的状态。
[0012]半导体处理设备20，对作为处理对象基板的晶圆24实施预先设定的处理。在本实施方式中，晶圆24是半导体晶圆。作为对晶圆24施加的处理，能够列举各种各样的制程处理、例如热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理或平坦处理等。也能够在半导体处理设备20中进行所述基板处理以外的基板处理。
[0013]半导体处理设备20，具备晶圆处理装置22和晶圆移载装置23。半导体处理设备20，是通过例如SEMI标准预先定义的。SEMI是Semicondutor Equipment and Materials International的缩写。在此种情况下，例如，晶圆传送盒(FOUP)25以及用以开闭晶圆传送盒25的晶圆盒开启器26，遵循SEMI标准的E47.1、E15.1、E57、E62、E63、E84等的规格。但是，半导体处理设备20的构成也能够不同于SEMI标准。
[0014]在晶圆处理装置22上形成有填充既定的气体的处理空间30。晶圆处理装置22，在该处理空间30内对晶圆24实施所述处理。晶圆处理装置22，除了具备对晶圆24实施处理的处理装置主体外，还具备形成处理空间30的处理空间形成部、在处理空间30内运送晶圆24的运送装置、以及控制充满处理空间30内的环境用气体的调整装置。调整装置通过风扇滤网机组等实现。
[0015]晶圆移载装置23，从晶圆传送盒25中取出处理前的晶圆24，将其供给于晶圆处理装置22，并且从晶圆处理装置22中取出处理后的晶圆24，将其重新收容在晶圆传送盒25内。晶圆移载装置23具有作为前端模块装置(equipment front end module；EFEM)的功能。在半导体处理设备20中，晶圆移载装置23，作为在晶圆传送盒25与晶圆处理装置22之间进行晶圆24交接的接口部。晶圆24在移动于晶圆传送盒25内的空间与晶圆处理装置22的处理空
间30之间的期间，通过充满预定的环境气体的高纯净度的准备空间29。
[0016]准备空间29是一进行了污染控制的封闭空间。在准备空间29中，空气中的悬浮微细颗粒被控制在限定的纯净度等级以下，且根据需要还对温度、湿度、压力等环境条件进行管理。在本实施方式中，处理空间30以及准备空间29以不会对晶圆24的处理产生不良影响的方式保持为既定的纯净度。该纯净度例如采用ISO(国际标准化机构)规定的CLASS1。
[0017]机器人27发挥作为晶圆移载机器人的作用。在本实施方式中，机器人27通过SCARA(平面关节型机械手臂)型的水平多关节机器人而实现。SCARA是「Selective Compliance Assembly Robot Arm」的缩写。机器人27配置在准备空间29内。
[0018]如图2等所示，机器人27具备基座41、机器人手臂42、上下驱动致动器43a、水平驱动致动器43b和控制器44。
[0019]基座41具有作为支撑机器人手臂42的基座部件的功能。在基座41的上面安装有机器人手臂42。
[0020]机器人手臂42具有连杆结构，该连杆结构具备沿从基端部朝向前端部的方向依序连结的多个连杆体。机器人手臂42的前端部设置有机械手45。机械手45能够保持晶圆24或解除该保持。通过机械手45保持晶圆24的方法各式各样，例如，能够在机械手45上载置晶圆24、或者通过机械手45夹持晶圆24、或者通过负压将晶圆24吸附在机械手45上等。
[0021]上下驱动致动器43a使机器人手臂42沿上下方向移位。上下驱动致动器43a，例如构成为电动机。通过机器人手臂42沿上下方向移动，能够变更机械手45的高度。
[0022]水平驱动致动器43b，使机器人手臂42的各连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种影像确认计算机，用于确认与机器人的动作相关的影像，其特征在于具备：存储部，其能够存储信息；以及运算部，其输出基于所述存储部的存储内容的信息，所述存储部，用于存储从所述机器人的控制器接收的电动机的位置信息、以及通过安装在所述机器人上的照相机获取的影像信息，其中，该电动机用于驱动所述机器人的连杆体，且所述运算部，用于使模型区域和影像区域并排显示在本机以及连接于本机的计算机中的至少任一个上，该模型区域通过计算机绘图显示再现所述机器人的姿势的二维或三维的模型，该影像区域显示所述影像。2.根据权利要求1所述的影像确认计算机，其中，与显示在所述模型区域的所述模型对应的时...

【专利技术属性】
技术研发人员：北野真也，中矢敦史，吉田雅也，藤森一夫，冈田拓之，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：