双层臂体真空传样装置及传样系统制造方法及图纸

本公开提供了一种双层臂体真空传样装置及传样系统，其特征在于，包括：第一主臂，包括第一上主臂和第一下主臂；第一辅臂，与第一主臂转动连接；第二主臂，包括第二上主臂和第二下主臂；第二辅臂，与第二主臂转动连接；以及传样台，与第一辅臂和第二辅臂转动连接；其中，第一主臂和第二主臂用于转动以带动第一辅臂和第二辅臂运动，从而使传样台运动。从而使传样台运动。从而使传样台运动。

Double arm vacuum sample transmission device and sample transmission system

【技术实现步骤摘要】
双层臂体真空传样装置及传样系统


[0001]本公开涉及真空
，特别涉及一种双层臂体真空传样装置及传样系统。

技术介绍

[0002]在现代科学实验中，真空实验设备越来越普遍，尤其是在薄膜生长以及固体的表面分析方面应用极为广泛。对于这些真空设备，在操作过程不可避免地需要在真空腔外操纵真空腔内的部件作各种特定的运动，如样品的传递，样品停放台的升降等等。也就是说需要真空腔外的原动力驱动真空腔内的从动件，从腔外将动力传递到腔内。
[0003]目前这种动力传动主要有机械传动、电力传动和磁力传动三种方式，机械传动是指用一定方式将真空腔内的从动件与真空腔外的原动机构联结起来，并在真空内引入口用橡胶圈等材料进行真空密封。这种动密封的方式由于本身密封材料的磨损、放气以及密封处的漏率等原因，一般只能用在低真空或高真空环境。电力传动则需要将马达等驱动装置装入真空室内部，再通过电极密封引入电源，这种结构增大了设备体积，且驱动装置在真空室内放气严重。而磁力传动利用磁体的超距特性,实现力矩无接触传递。通过磁极间的作用力，将运动件连接起来，外部机构运动，内部机构也在磁场力的作用下跟着动起来，从而实现完全密封的传动。因此磁力传动目前已经广泛地应用在分子束外延，俄歇质谱仪、高能粒子加速器等科研领域。
[0004]但现有的双层臂体真空传样装置普遍为单自由度装置，无法满足超高系统中多自由度精密样品传递等需求，且传动精度较低，甚至在运行过程中存在不稳定、抖动的问题，缺乏灵活性，容易造成其接收、传递、放置的样品滑落，致使实验失败或拖慢生产进程，降低生产效率。

技术实现思路

[0005]本公开提供了一种双层臂体真空传样装置，其特征在于，包括：第一主臂，包括第一上主臂和第一下主臂；第一辅臂，与第一主臂转动连接；第二主臂，包括第二上主臂和第二下主臂；第二辅臂，与第二主臂转动连接；以及传样台，与第一辅臂和第二辅臂转动连接；其中，第一主臂和第二主臂用于转动以带动第一辅臂和第二辅臂运动，从而使传样台运动。
[0006]在一些实施例中，第一上主臂位于第二上主臂上方，第一下主臂位于第二下主臂上方，或第一上主臂位于第二上主臂上方，第一下主臂位于第二下主臂下方。
[0007]在一些实施例中，本公开的双层臂体真空传样装置还包括：驱动装置，包括：第一驱动轴，用于驱动第一主臂；以及第二驱动轴，用于驱动第二主臂。
[0008]在一些实施例中，第一驱动轴套设在第二驱动轴外。
[0009]在一些实施例中，第一驱动轴连接第一上主臂，第二驱动轴连接第二上主臂或第二下主臂，或第一驱动轴连接第一下主臂，第二驱动轴连接第二上主臂或第二下主臂。
[0010]在一些实施例中，本公开的双层臂体真空传样装置还包括：转动连接组件，转动连接组件包括：第一转动轮，设置第一辅臂末端；以及第二转动轮，设置在传样台上，且与第一
转动轮耦合。
[0011]在一些实施例中，转动连接组件还包括：第三转动轮，设置第二辅臂末端；以及第四转动轮，设置在传样台上，且与第三转动轮耦合。
[0012]在一些实施例中，第一辅臂包括第一上辅臂和第一下辅臂，第一上辅臂或第一下辅臂与第一转动轮连接；第二辅臂包括第二上辅臂和第二下辅臂，第二上辅臂或第二下辅臂与第三转动轮连接。
[0013]在一些实施例中，第一转动轮和第二转动轮包括齿轮或摩擦轮；或第三转动轮和第四转动轮包括齿轮或摩擦轮。
[0014]本公开提供了一种传样系统，其特征在于，包括：真空腔；前述任意一项的双层臂体真空传样装置，双层臂体真空传样装置的第一主臂、第二主臂、第一辅臂、第二辅臂运动以及传样台设置在真空腔内。
[0015]根据本公开一些实施例的双层臂体真空传样装置能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的双层臂体真空传样装置能够解决常规技术中单自由度装置无法满足多自由度精密样品传递、传送精度较低、运行过程中存在不稳定、抖动、缺乏灵活性等问题，能够实现样品传递过程中机械臂长度可变、可伸缩、可旋转、运行平稳、定位精度高的技术效果。
[0016]根据本公开一些实施例的传样系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的传样系统能够解决常规技术中传送精度较低、运行过程中存在不稳定、抖动、缺乏灵活性、容易造成其接收、传递、放置的样品滑落，致使实验失败或拖慢生产进程，降低生产效率等问题，能够实现样品传递过程中运行平稳、定位精度高、磕碰几率低、提高实验或生产效率，延长设备使用寿命的技术效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1示出根据本公开一些实施例的双层臂体真空传样装置的结构示意图；
[0019]图2示出根据本公开一些实施例的双层臂体真空传样装置的部分结构示意图；
[0020]图3示出根据本公开一些实施例的双层臂体真空传样装置的驱动装置的连接示意图；
[0021]图4示出根据本公开一些实施例的传样系统的结构示意图。
[0022]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0023]100双层臂体真空传样装置
[0024]10第一主臂
[0025]11第一上主臂
[0026]12第一下主臂
[0027]20第一辅臂
[0028]21第一上辅臂
[0029]22第一下辅臂
[0030]30第二主臂
[0031]31第二上主臂
[0032]32第二下主臂
[0033]40第二辅臂
[0034]41第二上辅臂
[0035]42第二下辅臂
[0036]50传样台
[0037]51连接台
[0038]52样品放置台
[0039]60驱动装置
[0040]61第一驱动轴
[0041]62第二驱动轴
[0042]63第一电机
[0043]64第二电机
[0044]70转动连接组件
[0045]80a、80b轴承
[0046]90安装法兰
[0047]1000传样系统
[0048]200真空腔
[0049]201视窗
具体实施方式
[0050]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0051]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双层臂体真空传样装置，其特征在于，包括：第一主臂，包括第一上主臂和第一下主臂；第一辅臂，与所述第一主臂转动连接；第二主臂，包括第二上主臂和第二下主臂；第二辅臂，与所述第二主臂转动连接；以及传样台，与所述第一辅臂和所述第二辅臂转动连接；其中，所述第一主臂和所述第二主臂用于转动以带动所述第一辅臂和所述第二辅臂运动，从而使所述传样台运动。2.根据权利要求1所述的双层臂体真空传样装置，其特征在于，所述第一上主臂位于所述第二上主臂上方，所述第一下主臂位于所述第二下主臂上方，或所述第一上主臂位于所述第二上主臂上方，所述第一下主臂位于所述第二下主臂下方。3.根据权利要求1所述的双层臂体真空传样装置，其特征在于，还包括：驱动装置，包括：第一驱动轴，用于驱动所述第一主臂；以及第二驱动轴，用于驱动所述第二主臂。4.根据权利要求3所述的双层臂体真空传样装置，其特征在于，所述第一驱动轴套设在所述第二驱动轴外。5.根据权利要求4所述的双层臂体真空传样装置，其特征在于，所述第一驱动轴连接所述第一上主臂，所述第二驱动轴连接所述第二上主臂或所述第二下主臂，或所述第一驱动轴连接所述第一下主臂，所述第二驱动轴连接所述第二上主臂或所述第二下主臂。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，陈志刚，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：