【技术实现步骤摘要】
一种S/S台阶面喷砂遮蔽治具
[0001]本技术涉及靶材喷砂治具机
,特别是涉及一种S/S台阶面喷砂遮蔽治具。
技术介绍
[0002]靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料,通常都需要进行磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。在靶材进行溅射之前,需要进行喷砂处理,以使得靶材获得较好的机械性能,而在进行喷砂时,只需针对溅射面的部分进行喷砂,而其中一部分不需要喷砂,即非喷砂部需要保护起来,使其免受喷砂的影响,以使得该靶材在喷砂过程中不会报废。
[0003]现有技术中对于非喷砂部采用的保护措施是通过胶带的粘贴实现的,由于采用的胶带自身强度有限,胶带会在喷砂过程中会破损,导致继续喷砂过程中非喷砂部受到损伤,导致靶材报废,并且胶带的宽度较小,使得在遮蔽时无法将非喷砂部完全遮蔽,最终导致喷砂后的靶材不达标而无法使用,所以,需要设计一种靶材的喷砂遮蔽治具来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于克服现有技术中的不足,提供一种S/S台阶面喷砂 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种S/S台阶面喷砂遮蔽治具,其特征在于:包括工作台(1),所述工作台(1)上设置有束缚装置,所述束缚装置用于约束靶材(4),所述束缚装置的一端还设置有用于推动所述靶材(4)移动的放置组件,所述束缚装置包括两个相对的“L”型板(2),所述两个“L”型板(2)与所述工作台(1)构成一个开口朝上的方框,所述方框用于设置靶材(4)。2.根据权利要求1所述的一种S/S台阶面喷砂遮蔽治具,其特征在于:所述靶材(4)上设置有用于遮蔽喷砂的遮蔽板(5),所述两个“L”型板(2)的顶端还设置有立板(6),所述立板(6)与所述遮蔽板(5)抵接。3.根据权利要求2所述的一种S/S台阶面喷砂遮蔽治具,其特征在于:所述放置组件包括梯形板(9),所述梯形板(9)的短边设置在所述工作台(1)的侧壁,所述梯形板(9)设置在所述靶材(4)的滑动方向上,所述梯形板(9)的顶端设置有两个与所述“L”型板(2)适配的引导板(3),所述引导板(3)的上方还设置有与立板(6)抵接的导向板(8)。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:卫志勇,田学超,杨虎,
申请(专利权)人:四川珂玛材料技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
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