一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于碳化硅晶体制备技术领域，尤其为一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括外壳、螺纹杆、盖板、手摇杆、导向杆、密封活塞和保温筒，所述外壳外侧设置有外螺纹，所述外螺纹外侧螺纹连接有与盖板固定连接的内螺纹，所述盖板下端固定连接有密封圈，所述盖板上端固定连接有与手摇杆转动连接的第一限位块，以使得手摇杆可通过在第一限位块内侧转动来带动手摇杆下方固定连接的螺纹杆转动。该用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，方便在保温过程中进行完善的密封措施，方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施。时间的保温措施。时间的保温措施。

【技术实现步骤摘要】
一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置


[0001]本技术涉及碳化硅晶体制备
，具体为一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置。

技术介绍

[0002]碳化硅晶体是碳和硅的稳定化合物，碳化硅的特性使它成为高频、大功率、耐高温、抗辐射的半导体器材的优选材料，碳化硅的晶体工厂采用物理气象法进行生产，但是这种方法会使碳化硅的晶体边缘出现环形形貌，容易产生数量较多且较为集中的缺陷，所以现阶段开始逐渐使用特定的保温装置进行消除碳化硅晶体边缘环形形貌，但是现存的碳化硅保温装置存在着以下的问题：
[0003]1.现存的碳化硅保温装置不方便在保温过程中进行完善的密封措施，导致气密性差容易产生较多缺陷；
[0004]2.现存的碳化硅保温装置不方便压缩内部气体进行短暂的内部升温和长时间的保温措施，导致使用具有局限性。
[0005]针对上述问题，急需在原有用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，以解决本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括外壳（1）、螺纹杆（8）、盖板（4）、手摇杆（6）、导向杆（11）、密封活塞（13）和保温筒（14），其特征在于：所述外壳（1）外侧设置有外螺纹（2），所述外螺纹（2）外侧螺纹连接有与盖板（4）固定连接的内螺纹（3），所述盖板（4）下端固定连接有密封圈（5），所述盖板（4）上端固定连接有与手摇杆（6）转动连接的第一限位块（7），以使得手摇杆（6）可通过在第一限位块（7）内侧转动来带动手摇杆（6）下方固定连接的螺纹杆（8）转动。2.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述螺纹杆（8）外侧固定连接有第二限位块（9），所述螺纹杆（8）外侧螺纹连接有与导向杆（11）可滑动连接的伸缩导杆（10），以使得伸缩导杆（10）可通过螺纹杆（8）的转动带动密封活塞（13）竖直下移，所述导向杆（11）与盖板（4）为固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，其特征在于：所述外壳（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺贤汉，张城，陈有生，赖章田，
申请(专利权)人：上海申和投资有限公司，
类型：新型
国别省市：