激光功率检测调整装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种激光功率检测调整装置及方法，所述方法包括：测试激光器输出激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，消偏分光镜调整激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器接收另一束激光并将激光的实际功率传输至计算机；计算机将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出功率设定范围，则对激光器的输出功率进行调整。本发明专利技术能够保证激光功率输出的稳定性从而保证产品打印深度的一致性，降低产品受激光热损伤的机率，减少由于打印造成的NG品从而整体提高产品的生产良率。率。率。

Laser power detection and adjustment device and method

【技术实现步骤摘要】
激光功率检测调整装置及方法


[0001]本专利技术涉及激光打印
，特别涉及一种激光功率检测调整装置及方法。

技术介绍

[0002]目前半导体分立、IC（integrated circuit，集成电路）及晶圆裸晶芯片产品的印字基本都是通过激光打印实现，目前行业对激光印字的效果检测基本都是靠视觉对打印后的印字进行检测，但这种方式主要是检测印字的重印、漏印、错印，但对于印字深度是没法检测的。激光印字的深度主要由激光功率大小直接决定，如果激光功率输出不稳定就有可能发生打印不上或直接打穿产品的塑封表面的保护层而伤到芯片。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种激光功率检测调整装置及方法，保证激光功率输出的稳定性从而保证产品打印深度的一致性，降低产品受激光热损伤的机率，减少由于打印造成的NG品从而整体提高产品的生产良率。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种激光功率检测调整方法，包括以下步骤：测试激光器输出的激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光功率检测调整方法，其特征在于，包括以下步骤：测试激光器输出的激光的功率，获得功率与占空比的线性图；半波片调整所述激光的垂直方向o光和水平方向e光的光程差，消偏分光镜调整所述激光的偏振态使其按固定能量比例分为两束，其中一束激光直接对产品进行打标；功率传感器接收另一束激光并将所述激光的实际功率传输至计算机；以及所述计算机将实际功率与功率设定范围进行比较，若未超出所述功率设定范围，则继续对产品进行打标，若超出所述功率设定范围，则所述计算机根据功率与占空比的线性图对所述激光器的输出功率进行调整。2.如权利要求1所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，所述固定能量比例包含1：99，对所述产品进行打标的激光的能量占比为99%。3.如权利要求1所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，若实际功率超出所述功率设定范围，所述调整方法还包括：所述计算机根据LOG记录对打标参数进行自检，若检测所述打标参数未被人为修改，则通过打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整；若检测所述打标参数被人为修改，则需要将所述打标参数修改至初始值；其中，所述打标参数的初始值是对产品进行打标测试时获得的参数，所述LOG记录包含所述打标参数的初始值，所述LOG记录存储于所述计算机内。4.如权利要求3所述的激光功率检测调整方法，其特征在于，所述打标控制器对所述激光器的输出功率进行调整的次数超过3次之后，若实际功率再次超出所述功率设定范围，所述打标控制器停机报警。5.如权利要求3所述的激光功率检测调整方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：何国洪，
申请(专利权)人：佛山市联动科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：