显示面板及显示面板的制备方法技术

本申请涉及一种显示面板及显示面板的制备方法，其中，所述显示面板包括阵列设置的多个像素单元，至少一个所述像素单元中设置有第一晶体管以及第二晶体管，所述第一晶体管包括第一栅极、第一源极以及第一漏极，所述第二晶体管包括第二栅极、第二源极以及第二漏极；其中，所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极位于同一层。本申请通过将至少一个像素单元中的第一晶体管的第一源极、第一漏极与对应的该像素单元中的第二晶体管的第二栅极设置为同一层，能够在一道工序中制备所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极，从而减少光罩使用的次数，提高显示面板的制备效率，进一步降低生产成本，简单方便。简单方便。简单方便。

Display panel and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
显示面板及显示面板的制备方法


[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及显示面板的制备方法。

技术介绍

[0002]相关技术中，光传感电路的制备工艺复杂，导致生产周期长，成本高。例如，相关技术在制备光传感电路时，先制备光感晶体管，然后制备驱动晶体管。光感晶体管的制备与驱动晶体管的制备各自独立进行，需要采用的光罩(mask)工艺较为复杂。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提出了一种显示面板及显示面板的制备方法，能够在一道工序中制备所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极，从而减少光罩使用的次数，提高显示面板的制备效率，进一步降低生产成本，简单方便。
[0004]根据本申请的一方面，提供了一种显示面板，所述显示面板包括阵列设置的多个像素单元，至少一个所述像素单元中设置有第一晶体管以及第二晶体管，所述第一晶体管包括第一栅极、第一源极以及第一漏极，所述第二晶体管包括第二栅极、第二源极以及第二漏极；其中，所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极位于同一层。
[0005]进一步地，所述显示面板还包括：基板，所述第一栅极设置于所述基板上；第一栅极绝缘层，设置于所述第一栅极上；第一有源层，设置于所述第一栅极绝缘层上，并与所述第一栅极至少部分交叠；第一源极和第一漏极设置于所述第一有源层上；第二栅极绝缘层，设置于所述第一源极和第一漏极上；以及第二有源层，设置于所述第二栅极绝缘层上，且所述第二有源层与所述第二栅极至少部分交叠设置。
[0006]进一步地，所述第二栅极的一端与所述第一栅极绝缘层相贴合，所述第二栅极的另一端与所述第二有源层的一端平齐。
[0007]进一步地，所述显示面板还包括：第二源极和第二漏极，所述第二源极和所述第二漏极间隔设置在所述第二有源层上；平坦化层，设置在所述第二源极和所述第二漏极上，所述平坦化层上设有用于露出所述第二源极和所述第二漏极中的至少一者的过孔；第一金属层，设置于所述平坦化层上，所述第一金属层延伸设置于所述过孔内并与所述第二源极和所述第二漏极中的至少一者连接。
[0008]进一步地，所述第一源极、所述第一漏极和所述第二栅极间隔设置，所述显示面板包括连接线，所述连接线与所述第二栅极同层设置，并将所述第二栅极和所述第一源极或所述第一漏极中的一者电连接。
[0009]进一步地，所述连接线的一端贴合所述第一有源层设置，所述连接线的另一端与所述第二栅极的一端相接触。
[0010]进一步地，所述第一有源层采用非晶硅材料制成，所述第二有源层采用氧化物半导体材料制成。
[0011]根据本申请的另一方面，提供了一种显示面板的制备方法，所述显示面板的制备
方法应用于所述显示面板，所述显示面板的制备方法包括：制备基板；在所述基板上沉积第一晶体管的第一栅极；在所述第一栅极上沉积所述第一栅极绝缘层；在所述第一栅极绝缘层上沉积第一晶体管的第一有源层；在所述第一有源层和所述第一栅极绝缘层上沉积第二金属层，并对所述第二金属层进行图案化形成间隔设置的第一源极、第一漏极以及第二栅极。
[0012]进一步地，在所述第一源极、第一漏极以及第二栅极上形成第二栅极绝缘层；在所述第二栅极绝缘层上形成第二有源层；在所述第二有源层上沉积第三金属层，并对所述第三金属层进行图案化形成间隔设置的第二漏极和第二源极。
[0013]进一步地，在对所述第二金属层进行图案化时还包括：同时形成连接线，所述连接线将所述第二栅极和所述第一源极或所述第一漏极电连接。
[0014]通过将至少一个像素单元中的第一晶体管的第一源极、第一漏极与对应的该像素单元中的第二晶体管的第二栅极设置为同一层，根据本申请的各方面能够在一道工序中制备所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极，减少光罩使用的次数，提高显示面板的制备效率，进一步降低生产成本，简单方便。
附图说明
[0015]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0016]图1示出本申请实施例的显示面板的示意图。
[0017]图2
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图6示出本申请实施例的显示面板的制备方法的示意图。
具体实施方式
[0018]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0019]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0021]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨。
[0022]本申请主要提供了一种显示面板，所述显示面板包括阵列设置的多个像素单元，至少一个所述像素单元中设置有第一晶体管以及第二晶体管，所述第一晶体管包括第一栅极、第一源极以及第一漏极，所述第二晶体管包括第二栅极、第二源极以及第二漏极；其中，所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极位于同一层。
[0023]通过将至少一个像素单元中的第一晶体管的第一源极、第一漏极与对应的该像素单元中的第二晶体管的第二栅极设置为同一层，本申请能够在一道工序本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括阵列设置的多个像素单元，至少一个所述像素单元中设置有第一晶体管以及第二晶体管，所述第一晶体管包括第一栅极、第一源极以及第一漏极，所述第二晶体管包括第二栅极、第二源极以及第二漏极；其中，所述第一源极、第一漏极和所述第二栅极位于同一层。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：基板，所述第一栅极设置于所述基板上；第一栅极绝缘层，设置于所述第一栅极上；第一有源层，设置于所述第一栅极绝缘层上，并与所述第一栅极至少部分交叠；第一源极和第一漏极设置于所述第一有源层上；第二栅极绝缘层，设置于所述第一源极和第一漏极上；以及第二有源层，设置于所述第二栅极绝缘层上，且所述第二有源层与所述第二栅极至少部分交叠设置。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二栅极的一端与所述第一栅极绝缘层相贴合，所述第二栅极的另一端与所述第二有源层的一端平齐。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：第二源极和第二漏极，所述第二源极和所述第二漏极间隔设置在所述第二有源层上；平坦化层，设置在所述第二源极和所述第二漏极上，所述平坦化层上设有用于露出所述第二源极和所述第二漏极中的至少一者的过孔；第一金属层，设置于所述平坦化层上，所述第一金属层延伸设置于所述过孔内并与所述第二源极和所述第二漏极中的至少一者连接。5.根据权利要求4所述的显示面板...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒙艳红，
申请(专利权)人：广州华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：