一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘制造技术

技术编号:34226632 阅读:16 留言:0更新日期:2022-07-20 21:33
本申请涉及一种工装盘,更具体地涉及一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括一盘体,所述盘体具有一开口和一腔体,所述盘体的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔;一盖板,所述盖板被固定连接于形成所述开口的壁面,所述盖板的中心具有一贯穿所述盖板的第一插入孔;一第一转动件,所述第一转动件的一端被插入到所述第一装配孔;一第一转动杆和一底盘,所述第一转动件的一端与所述底盘的一端固定连接,且所述底盘背离所述第一转动杆的一端与所述第一转动件卡接连接。本实用新型专利技术能通过有效地利用其自身的结构配置实现移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷的优势。安装便捷的优势。安装便捷的优势。

【技术实现步骤摘要】
一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘


[0001]本申请涉及一种工装盘,更具体地涉及一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘。

技术介绍

[0002]在磁控溅射镀膜行业中,镀膜产品的装夹方式尤为重要,能否根据产品的类型、结构、形状和具体工艺方案确定最合适的装甲方案,很大程度上决定了涂层能否对产品的性能和寿命带来显著的提升,以及是否能够批量化生产。因此对于工装盘的设计、装夹的效率和便捷性也提出了更高的要求。
[0003]现有工装盘主要分为两种类型,对于大重量的产品如模具等需要镀膜时,一般使用的是固定在腔体内部承重工装盘,这种情况下主要考虑的是工装的安全性,因此承重工装盘是完全固定在腔体底部的,不可避免的在挂装的过程中不方便,而且效率较低。另一种情况当小重量但是形状复杂的产品如涡轮叶片等需要镀膜时,工装盘需要设计为可拆卸结构,能够在镀膜腔体外部进行精密和高效率的挂装,然后再把工装盘安装到腔体内部,这样的方式因为其结构接设计问题,导致工装盘的拆卸和安装较为繁琐,虽然产品的镀层性能得到了保证,但是仍然不能具有显著的效率提升。因此提供一种移动方便、结构简单、镀膜均匀、安装便捷同时能够承受各种重量的立式磁控溅射镀膜工装盘的需求是存在的。

技术实现思路

[0004]本申请主要目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中,所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘能够有效地利用其自身的结构配置实现移动方便、镀膜均匀的优势。
[0005]本申请的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中,所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括两车轮和连接件,两所述车轮被设置所述盘体组件的底部,进而使得所述盘体组件移动方便,且所述连接件的一端固定连接于所述盘体组件的底部,另一端被用于连接外部搬运设备,以方便所述盘体组件的移动。
[0006]本申请的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中,所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘包括一盘体和一第一转动杆,所述第一转动杆被可转动地设于所述盘体上,从而使得套接在所述第一转动杆上的产品镀膜均匀。
[0007]本申请的另一目的在于提供一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中,所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘结构简单、操作便捷,不涉及复杂的制造工艺和昂贵的材料,具有较高的经济性,易于推广和使用。
[0008]为了实现上述至少一专利技术目的,本申请提供了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中所述安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,包括:
[0009]一盘体,所述盘体具有一开口和一腔体,所述开口分别与外部和所述腔体相连通,所述盘体的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔,所述第一装配孔呈台阶状,所述第
一装配孔的小孔还与所述腔体相连通;
[0010]一盖板,所述盖板被固定连接于形成所述开口的壁面,进而封闭所述开口,所述盖板的中心具有一贯穿所述盖板的第一插入孔,且所述插入孔分别与外部和所述腔体相连通,且所述第一插入孔正对所述第一装配孔;
[0011]一第一转动件,所述第一转动件的一端被插入到所述第一装配孔,并被置于所述腔体内;
[0012]一第一转动杆和一底盘,所述第一转动件的一端与所述底盘的一端固定连接,且所述底盘背离所述第一转动杆的一端与所述第一转动件卡接连接;
[0013]其中,外部设置穿过所述第一装配孔,并与第一所述转动件转动连接,进而使得外部设备带动所述第一转动件转动,从而带动所述第一转动杆转动。
[0014]在本申请一个或多个实施例中,所述第一转动件具有一大端和一小端,所述小端的一端从所述大端的一端向外延伸,且所述小端被可滑动地插入到所述第一装配孔内,并被置于所述腔体内,且所述第一转动件的大端被置于所述第一装配孔的大孔内,且所述第一转动件的大端靠近所述第一转动件的小端的一侧抵靠在形成所述第一装配孔的台阶面上,其中所述第一转动件的小端可与外部设备相连。
[0015]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体组件还包括一顶板,所述顶板的中心与所述第一转动杆背离所述底盘的一端固定连接,进而使得所述第一转动杆带动所述顶板的转动。
[0016]在本申请一个或多个实施例中,所述第一转动件的小端的外壁呈齿轮状,且在所述盘体组件还包括一齿轮组件,所述齿轮组件被设于所述腔体内,所述齿轮组件与所述第一转动件的小端啮合连接,进而使得所述齿轮组件通过第一转动件的转动进行运作。
[0017]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体的顶部具有至少一第一圆槽,所述第一圆槽位于所述第一转动杆的一侧,并靠近所述盘体的边缘处,且所述圆槽与所述腔体相连通。
[0018]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体组件还包括至少一第二转动件,所述第二转动件的一端与所述盖板转动连接,另一端被置于所述第一圆槽内,所述第二转动件的中段与齿轮组件啮合连接。
[0019]在本申请一个或多个实施例中,所述顶板的侧壁具有至少一卡槽,所述盘体组件还包括一套接件和一第二转动杆,所述套接件被固定连接于形成所述卡槽的壁面,且所述套接件与所述第一圆槽相对应,所述第二转动杆的一端与套接件套接连接,且所述第二转动杆的另一端与所述第二转动杆被置于所述第一圆槽内的一端固定连接。
[0020]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体组件还包括至少一支撑板和至少一第三转动件,所述支撑板的一端与所述第一转动杆的中段固定连接,另一端往背离所述第一转动杆的方向延伸,所述第三转动件被固定连接于所述支撑板的侧壁。
[0021]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体的顶部具有至少一第二圆槽,所述第二圆槽位于所述第一转动杆的一侧,并靠近所述盘体的边缘处,且所述第二圆槽位于所述第一圆槽的一侧,所述圆槽与所述腔体相连通。
[0022]在本申请一个或多个实施例中,所述盘体组件还包括至少一第四转动件,所述第四转动件的一端与所述盖板转动连接,另一端被置于所述第二圆槽内,所述第四转动件的
中段与齿轮组件啮合连接,且所述第四转动件正对所述第三转动件,所述盘体组件还包括至少一第三转动杆,所述第三转动杆的一端与所述第三转动件靠近所述盘体的一端转动连接,另一端与所述第四转动件被置于所述第二圆槽的一端固定连接。
附图说明
[0023]从下面结合附图对本申请实施例的详细描述中,本申请的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解,其中:
[0024]图1图示了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘的结构示意图。
[0025]图2图示了一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘的部分结构示意图。
[0026]图3图示了图1中A的放大图。
[0027]图4图示了图1中B的放大图。
[0028]图5图示了车轮的移动示意图。
具体实施方式
[0029]以下说明书和权利要求中使用的术语和词不限于字面的含义,而是仅由本专利技术人使用以使得能够清楚和一致地理解本申请。因此,对本领域技术人员很明显仅为了说明的目本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,包括一盘体组件,其特征在于,所述盘体组件包括:一盘体,所述盘体具有一开口和一腔体,所述开口分别与外部和所述腔体相连通,所述盘体的中心还具有贯穿所述盘体的一第一装配孔,所述第一装配孔呈台阶状,所述第一装配孔的小孔还与所述腔体相连通;一盖板,所述盖板被固定连接于形成所述开口的壁面,进而封闭所述开口,所述盖板的中心具有一贯穿所述盖板的第一插入孔,且所述插入孔分别与外部和所述腔体相连通,且所述第一插入孔正对所述第一装配孔;一第一转动件,所述第一转动件的一端被插入到所述第一装配孔,并被置于所述腔体内;一第一转动杆和一底盘,所述第一转动件的一端与所述底盘的一端固定连接,且所述底盘背离所述第一转动杆的一端与所述第一转动件卡接连接;其中,外部设置穿过所述第一装配孔,并与第一所述转动件转动连接,进而使得外部设备带动所述第一转动件转动,从而带动所述第一转动杆转动。2.根据权利要求1所述的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中所述第一转动件具有一大端和一小端,所述小端的一端从所述大端的一端向外延伸,且所述小端被可滑动地插入到所述第一装配孔内,并被置于所述腔体内,且所述第一转动件的大端被置于所述第一装配孔的大孔内,且所述第一转动件的大端靠近所述第一转动件的小端的一侧抵靠在形成所述第一装配孔的台阶面上,其中所述第一转动件的小端可与外部设备相连。3.根据权利要求2所述的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中所述盘体组件还包括一顶板,所述顶板的中心与所述第一转动杆背离所述底盘的一端固定连接,进而使得所述第一转动杆带动所述顶板的转动。4.根据权利要求3所述的安装便捷的立式磁控溅射镀膜工装盘,其中所述第一转动件的小端的外壁呈齿轮状,且在所述盘体组件还包括一齿轮组件,所述齿轮组件被设于所述腔体内,所述齿轮组件与所述第一转动件的小端啮合连接,进而使得所述齿轮组件通过第一转动件的转动进...

【专利技术属性】
技术研发人员:张颖宋辉陆晓峰康强邬健培马洋张星翔
申请(专利权)人:宁波云涂科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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