一种测量分析电路及系统技术方案

本申请提供了一种测量分析电路，包括：主基准源、辅助基准源和标准电阻网络，所述辅助基准源的输出精度高于所述主基准源；所述主基准源与所述标准电阻网络连接，为被测装置提供覆盖其测量量程的基准值；所述辅助基准源与所述标准电阻网络连接，为被测装置提供覆盖其测量精度的变化量，并与所述基准值叠加，实现对所述被测装置的测量分析。本申请能够提供接近被测装置输出值并覆盖被测装置精度范围的基准源，以实现对被测装置的测量分析，且本申请具有结构简单，操作灵活等优点。操作灵活等优点。操作灵活等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种测量分析电路及系统


[0001]本申请涉及集成电路测试
，特别涉及适用于半导体集成自动测试系统的一种测量分析电路及系统。

技术介绍

[0002]自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)中包含多个功能模块，如多通道电压电流源表(如8通道/16通道)、高压源表(如3000V)、大功率源表(如100V/10A)，使用者可以根据被测装置的参数要求，组合使用这些模块完成电参数测试，而ATE设备需提供足够的测量精度。通常，在ATE设备初次装机或定期维护时，会通过专用装置验证ATE精度是否满足设计指标，并在器件量产测试前对ATE精度进行评估，确定是否满足特定品种器件的测试需求。
[0003]当前ATE设备的精度检测，主要通过外接专用校准模块(校准盒)，校准模块提供基准源(包括电压基准、电流基准)，并由切换电路将基准源连接到被测VI源表通道上。精度检测过程由上位机软件进行控制，自动完成。以8通道电压电流源表模块的恒流测压模式精度检测为例，上位机软件控制校准模块闭合相应继电器，将VI源表第一通道(CH1)连接到校本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量分析电路，其特征在于，包括：主基准源、辅助基准源和标准电阻网络，所述辅助基准源的输出精度高于所述主基准源；所述主基准源与所述标准电阻网络连接，为被测装置提供覆盖其测量量程的基准值；所述辅助基准源与所述标准电阻网络连接，为被测装置提供覆盖其测量精度的变化量，并与所述基准值叠加，实现对所述被测装置的测量分析。2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述标准电阻网络包括并联的若干个电阻，每个电阻串联一开关。3.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述被测装置为被测电压表时，所述主基准源为恒流源，所述辅助基准源为可调电流源；所述恒流源、可调电流源、标准电阻网络相互并联后，连接于所述被测电压表的两端，所述恒流源与所述标准电阻网络为所述被测电压表提供覆盖其测量量程的基准电压，所述可调电流源与所述标准电阻网络为所述被测电压表提供覆盖其测量精度的电压变化量，并与所述基准电压叠加，实现对所述被测电压表的精度测量分析。4.根据权利要求3所述的电路，其特征在于，所述被测电压表为多个时，该多个被测电压表相互并联。5.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述被测装置为被测电流表时，所述主基准源为恒压源，所述辅助基准源为可调电压源；所述恒压源、可调电压源、标准电阻网络依次串联后，...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁琰，张庆伟，张增芹，郝瑞庭，闫炜祎，任俊龙，李伟，尹诗龙，王广运，
申请(专利权)人：北京华峰测控技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：