一种镜面在线洁净处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件，本实用新型专利技术通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。面的损伤阈值及激光器装置的安全性。面的损伤阈值及激光器装置的安全性。

An on-line cleaning device for mirror

【技术实现步骤摘要】
一种镜面在线洁净处理装置


[0001]本技术属于光学元件洁净处理
，具体地说涉及一种镜面在线洁净处理装置。

技术介绍

[0002]光学镜属于激光器装置的重要器件，主要的作用是激光振荡及激光光束传输。在激光器工作过程中，若光学镜面有颗粒污染，颗粒污染将吸收激光能量产生局部高温，从而诱导激光损伤镜面，导致激光装置性能下降甚至不能工作。
[0003]目前，光学镜面颗粒污染大多采用人工擦拭进行洁净处理。但是，激光器装置的光学镜通常在密闭性较好的舱体内，镜面检查和洁净处理需开启舱体逐一开展检查和擦拭。同时，随着激光器装置功率密度提升，对镜面洁净控制提出了更高的要求，此外，随着系统光路布局更为复杂，结构紧凑，光学镜洁净处理操作复杂，效率低，实现方式困难。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种镜面在线洁净处理装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。
[0007]进一步，所述固定组件包括第一固定板和第二固定板，且第一固定板、第二固定板分别位于风刀的不同侧。
[0008]进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为60
°‑
120
°
。
[0009]进一步，所述第一固定板和第二固定板的夹角为80
°‑
100
°
。
[0010]进一步，所述第一固定板上开设固定孔，所述第二固定板上开设球窝孔。
[0011]进一步，所述固定孔内设有固定螺栓，用于连接第一固定板和风刀。
[0012]进一步，所述球窝孔内设有球头螺钉，所述壳体上开设用于容纳球头螺钉的条形孔。
[0013]进一步，所述条形孔的延伸方向与风刀的长度方向相垂直。
[0014]进一步，所述壳体上设有调节孔，所述调节孔内设有调节螺栓，且调节螺栓的末端与第二固定板相抵。
[0015]进一步，所述调节螺栓上设有调节螺母，通过调整调节螺栓拧入调节孔的长度，调节风刀刀口与光学镜镜面的间距及角度，并过调节螺母锁定。
[0016]进一步，所述镜架上设有收集箱，所述收集箱通过连接管路与外围排放设备连通。
[0017]本技术的有益效果是：
[0018]1、通过风刀在线去除光学镜镜面的污染物，避免开启光学镜放置舱体及人员引入
污染的问题，提高了光学镜镜面的损伤阈值及激光器装置的安全性。
[0019]2、通过调节组件调整风刀刀口与光学镜镜面的间距、角度，调节风刀风幕对光学镜镜面的覆盖范围和受力角度，实现不同放置角度、不同尺度的光学镜镜面洁净处理。
[0020]3、光学镜安装于镜架上，保证了光学镜镜面与镜架的相对位置，提高污染物去除率。
[0021]4、通过收集箱收集去除的污染物，避免二次扬尘导致光学镜镜面二次污染的问题，同时，外围排放设备通过负压抽吸方式实现收集污染物排散处理。
附图说明
[0022]图1是本技术的整体结构示意图；
[0023]图2是本技术去除壳体的结构示意图；
[0024]图3是图2的左视图；
[0025]图4是壳体的结构示意图。
[0026]附图中：1
‑
镜架、2
‑
光学镜、3
‑
壳体、4
‑
收集箱、5
‑
连接管路、6
‑
风刀、7
‑
第一固定板、8
‑
第二固定板、9
‑
固定孔、10
‑
球头螺钉、11
‑
调节螺栓、12
‑
调节孔、13
‑
条形孔。
具体实施方式
[0027]为了使本领域的人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本专利技术创造。
[0028]下面结合附图和较佳的实施例对本技术作进一步说明。
[0029]实施例一：
[0030]如图1
‑
图4所示，一种镜面在线洁净处理装置，包括镜架1、风刀6和壳体3，所述镜架1上开设用于安装光学镜2的安装孔，且壳体3套设于镜架1的外围，所述风刀6与气源连通，且风刀6固设于固定组件上，所述固定组件与壳体3之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。
[0031]所述固定组件包括第一固定板7和第二固定板8，且第一固定板7、第二固定板8分别位于风刀6的不同侧。也就是说，第一固定板7和第二固定板8之间形成夹角，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为60
°‑
120
°
，优选的，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为80
°‑
100
°
，优选的，所述第一固定板7和第二固定板8的夹角为90
°
。
[0032]所述第一固定板7上开设固定孔9，所述第二固定板8上开设球窝孔。所述固定孔9内设有固定螺栓，用于连接第一固定板7和风刀6。
[0033]所述球窝孔内设有球头螺钉10，所述壳体3上开设用于容纳球头螺钉10的条形孔13，具体的，所述条形孔13的延伸方向与风刀6的长度方向相垂直。同时，所述壳体3上设有调节孔12，所述调节孔12内设有调节螺栓11，且调节螺栓11的末端与第二固定板8相抵。所述调节螺栓11上设有调节螺母，通过调整调节螺栓11拧入调节孔12的长度，调节风刀刀口与光学镜镜面的间距及角度，并过调节螺母锁定。同时，通过调整球头螺钉10与条形孔13的
相对位置，调节调节风刀刀口与光学镜镜面的相对位置，实现不同放置角度、不同尺度的光学镜镜面洁净处理。
[0034]所述镜架1上设有收集箱4，所述收集箱4的底部通过连接管路5与外围排放设备连通。
[0035]一种镜面在线洁净处理装置的工作过程如下：
[0036]首次启动前，启动外围排放设备，通过收集箱4和连接管路5建立收集流场，通过负压抽吸方式实现收集污染物排散处理。工作阶段，启动气源，污染物受到气流吹扫而克服其与光学镜镜面之间的附着力，从而脱离光学镜镜面被去除。工作结束后，持续启动外围排放设备，通过收集箱4和连接管路5持续收集并排散气流。
[0037]实施例二：
[0038]本实施例与实施例一相同的部分不再赘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜面在线洁净处理装置，其特征在于，包括镜架、风刀和壳体，所述镜架上开设用于安装光学镜的安装孔，且壳体套设于镜架的外围，所述风刀与气源连通，且风刀固设于固定组件上，所述固定组件与壳体之间设有用于调节风刀刀口方向的调节组件。2.根据权利要求1所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述固定组件包括第一固定板和第二固定板，且第一固定板、第二固定板分别位于风刀的不同侧。3.根据权利要求2所述的镜面在线洁净处理装置，其特征在于，所述第一固定板上开设固定孔，所述固定孔内设有用于连接第一固定板和风刀的固定螺栓。4.根据权利要求2所述的镜面...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢秀芳，刘军，李春领，张绍武，柳丽卿，万敏，吴建平，姜淞元，耶军，陈刚，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院应用电子学研究所，
类型：新型
国别省市：