一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置制造方法及图纸

本申请公开了一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，属于机械加工技术领域，包括炉体，所述炉体内设置有水平设置的隔板，所述隔板将炉体分隔为位于上方的加热腔和位于下方的进风腔，所述炉体上还设有与鼓风机和抽风机，所述鼓风机与进风腔相连通，所述抽风机与加热腔相连通，所述隔板上转动设置有用于承载金属丝网的承载板，所述承载板上设有旋转机构，使承载板带动金属丝网在炉体内转动。该金属丝网制造用退火炉的冷却装置，通过设置鼓风机对炉体内进行冷空气的输送，通过设置抽风机将炉体内的热空气排出，达到快速降温的目的，通过鼓风机的吹气，驱动弧形叶片转动，使金属丝网在随着承载板转动时，使产品的各部分冷却速率保持一致。一致。一致。

A cooling device of annealing furnace for wire mesh manufacturing

【技术实现步骤摘要】
一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置


[0001]本申请属于机械加工
，尤其涉及一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题：一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是由于冷空气注入后退火炉内部气流紊乱，使得冷空气进口处的温度较低，其余空间的温度较高，导致金属丝网的冷却不均匀，使得产品的质量得不到保障。为此，我们提出来一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是为了解决现有技术中，退火炉的冷却装置对退火炉进行降温时，难以使产品各部分保持均匀冷却的问题，而提出的一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，包括炉体，所述炉体内设置有水平设置的隔板，所述隔板将炉体分隔为位于上方的加热腔和位于下方的进风腔，所述炉体上还设有与鼓风机和抽风机，所述鼓风机与进风腔相连通，所述抽风机与加热腔相连通，所述隔板上转动设置有用于承载金属丝网的承载板，所述承载板上设有旋转机构，使承载板带动金属丝网在炉体内转动。
[0007]优选的，所述隔板上开设有安装口，所述承载板同轴设置于安装口内。
[0008]优选的，所述安装口内固定设置有多个等距设置的用于支撑承载板的支撑杆，所述承载板与支撑杆通过固定设置于承载板底端的转轴转动连接。
[0009]优选的，所述承载板上开设有多个透气孔，多个所述透气孔均匀分布于承载板上。
[0010]优选的，所述旋转机构包括固定设置转轴外周面固定设置有多个弧形叶片，所述鼓风机的输出端对应弧形叶片的凹面设置。
[0011]优选的，还包括滚动机构，所述滚动机构包括滚动套和滚动珠，所述滚动套转动套设于支撑杆上，所述滚动珠转动设置于安装口的内侧壁。
[0012]优选的，所述转轴与支撑杆之间设有轴承。
[0013]优选的，所述承载板顶面的外缘设置有多个防护柱，所述防护柱的高度大于金属丝网的厚度。
[0014]综上所述，本申请的技术效果和优点：该金属丝网制造用退火炉的冷却装置，通过设置鼓风机对炉体内进行冷空气的输送，通过设置抽风机将炉体内的热空气排出，达到快速降温的目的，同时设置承载板和弧形叶片，通过鼓风机的吹气，驱动弧形叶片转动，使承载板带动金属丝网转动，使金属丝网在转动时，各部分均匀接触冷空气，使产品的各部分冷却速率保持一致，提高产品的冷却退火的效果。
附图说明
[0015]图1为本申请结构示意图；
[0016]图2为本申请的仰视图；
[0017]图3为本申请中承载板的结构示意图；
[0018]图4为本申请中炉体的结构示意图；
[0019]图5为本申请中承载板的仰视图。
[0020]图中：1、炉体；2、隔板；3、鼓风机；4、抽风机；5、承载板；6、安装口；7、支撑杆；8、透气孔；9、转轴；10、弧形叶片；11、滚动套；12、滚动珠；13、轴承；14、防护柱。
具体实施方式
[0021]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]参照图1
‑
2，一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，包括炉体1，炉体1内设置有水平设置的隔板2，隔板2将炉体1分隔为位于上方的加热腔和位于下方的进风腔，通过隔板2将炉体1分隔后，有利于冷空气从产品下方输出，提高冷却的效果，炉体1上还设有与鼓风机3和抽风机4，鼓风机3用于将外界冷空气吹入进风腔内，抽风机4用于将加热腔内的热空气抽出，鼓风机3与进风腔相连通，抽风机4与加热腔相连通，由于鼓风机3与进风腔连通位于炉体1的下方，抽风机4与加热腔连通位于炉体1上方，使得冷空气从下方进入，上方排出，更加有利于炉体1内部冷热空气的交换，提高炉体1内部的冷却效率，隔板2上转动设置有用于承载金属丝网的承载板5。
[0023]参照图3，承载板5上开设有多个透气孔8，多个透气孔8均匀分布于承载板5上，使得进风腔内的冷空气可以通过透气孔8对产品降温，并流入炉体1的加热腔内进行热交换。
[0024]参照图4，隔板2上开设有安装口6，承载板5同轴设置于安装口6内，使得承载板5位于进风腔与加热腔之间，有利于冷空气在产品表面流动。
[0025]参照图4，安装口6内固定设置有多个等距设置的用于支撑承载板5的支撑杆7，承载板5与支撑杆7通过固定设置于承载板5底端的转轴9转动连接，使得承载板5可以带动金属丝网转动，使金属丝网各部分均匀冷却。
[0026]承载板5上设有旋转机构，使承载板5带动金属丝网在炉体1内转动。
[0027]参照图2和5，旋转机构包括固定设置转轴9外周面固定设置有多个弧形叶片10，鼓风机3的输出端对应弧形叶片10的凹面设置，在鼓风机3对炉体1内部输入冷空气时，气流撞击弧形叶片10的凹面，使弧形叶片10转动，并带动承载板5转动，使鼓风机3吹入的冷空气可以和承载板5上的金属丝网均匀接触。
[0028]参照图3，承载板5顶面的外缘设置有多个防护柱14，防护柱14的高度大于金属丝
网的厚度，有利于对金属丝网进行限位，降低金属丝网随着承载板5转动时发生偏移的风险。
[0029]参照图4，还包括滚动机构，滚动机构包括滚动套11和滚动珠12，滚动套11转动套设于支撑杆7上，有利于降低承载板5与支撑杆7之间的摩擦，滚动珠12转动设置于安装口6的内侧壁，有利于降低承载板5与安装口6内壁的摩擦。
[0030]参照图5，转轴9与支撑杆7之间设有轴承13，进一步降低承载板5转动时摩擦，降低承载板5的转动阻力。
[0031]工作原理：使用时将金属丝网放置在承载板5上进行加热，在需要对炉体1内进行降温退火时，启动鼓风机3和抽风机4，使冷空气吹入进风腔，使气流冲击弧形叶片10，使弧形叶片10带动转轴9转动，使承载板5带动金属丝网转动，冷空气通过透气孔8经过金属丝网后进入加热腔内，随着承载板5的转动，金属丝网各部分均匀冷却，最后通过抽风机4将炉体1内部热空气抽出，形成气流循环，使炉体1内部温度降低。
[0032]以上所述，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本申请揭露的技术范围内，根据本申请的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)内设置有水平设置的隔板(2)，所述隔板(2)将炉体(1)分隔为位于上方的加热腔和位于下方的进风腔，所述炉体(1)上还设有与鼓风机(3)和抽风机(4)，所述鼓风机(3)与进风腔相连通，所述抽风机(4)与加热腔相连通，所述隔板(2)上转动设置有用于承载金属丝网的承载板(5)，所述承载板(5)上设有旋转机构，使承载板(5)带动金属丝网在炉体(1)内转动。2.根据权利要求1所述的一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，其特征在于，所述隔板(2)上开设有安装口(6)，所述承载板(5)同轴设置于安装口(6)内。3.根据权利要求2所述的一种金属丝网制造用退火炉的冷却装置，其特征在于，所述安装口(6)内固定设置有多个等距设置的用于支撑承载板(5)的支撑杆(7)，所述承载板(5)与支撑杆(7)通过固定设置于承载板(5)底端的转轴(9)转动连接。4.根据权利要求1所述的一种金属丝网制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙兮仑，
申请(专利权)人：武强县建民金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：