激光脉冲观测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种激光脉冲观测设备，涉及成像技术领域，其中，激光脉冲观测设备包括：成像装置、第一线性光学信息处理系统、光刻设备和第二线性光学信息处理系统，第一线性光学信息处理系统和第二线性光学信息处理系统以光刻设备为对称轴对称设置；第一线性光学信息处理系统用于接收第一动态图像并增强第一动态图像的对比度以生成第二动态图像；第二线性光学信息处理系统用于接收编码图像并增强编码图像的对比度以生成第三动态图像；控制系统与条纹相机电连接，控制系统用于对第四动态图像进行图像处理，得到激光脉冲对应的观测结果。通过这种设置，增强了图像的对比度，提高了对激光脉冲与光刻胶相互作用时的动态场景观测的准确度。的准确度。的准确度。

【技术实现步骤摘要】
激光脉冲观测设备


[0001]本专利技术涉及成像
，尤其涉及一种激光脉冲观测设备。

技术介绍

[0002]激光与光刻胶的相互作用是高性能制造中的一个重要问题，如果能以超高时间分辨率观察到光刻胶与激光源相互作用的过程，可以有效提高制造性能，对于研究制造过程中的作用机制、优化加工工艺、促进先进光刻产业的高质量发展均具有重大意义。
[0003]目前，通过常见的成像装置拍摄到的图像存在图像对比度低的缺点，也无法准确的观测到激光脉冲与光刻胶相互作用的过程。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种激光脉冲观测设备，增强了图像的对比度，提高了对激光脉冲与光刻胶相互作用时的动态场景观测的准确度。
[0005]根据本专利技术实施例的激光脉冲观测设备，其包括：
[0006]成像装置，所述成像装置用于获取第三激光脉冲与光刻胶的相互作用的动态场景以生成第一动态图像，并将所述第一动态图像输出；
[0007]第一线性光学信息处理系统，所述第一线性光学信息处本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光脉冲观测设备，其特征在于，包括：成像装置，所述成像装置用于获取第三激光脉冲与光刻胶的相互作用的动态场景以生成第一动态图像，并将所述第一动态图像输出；第一线性光学信息处理系统，所述第一线性光学信息处理系统用于接收所述第一动态图像并增强所述第一动态图像的对比度以生成第二动态图像，且将所述第二动态图像输出；光刻设备，所述光刻设备用于接收所述第二动态图像并对所述第二动态图像进行编码以生成编码图像，且将所述编码图像输出；第二线性光学信息处理系统，所述第一线性光学信息处理系统和所述第二线性光学信息处理系统以所述光刻设备为对称轴对称设置，所述第二线性光学信息处理系统用于接收所述编码图像并增强所述编码图像的对比度以生成第三动态图像，且将所述第三动态图像输出；条纹相机，所述条纹相机用于拍摄所述第三动态图像以生成第四动态图像；控制系统，所述控制系统与所述条纹相机电连接，所述控制系统用于对所述第四动态图像进行图像处理，得到所述激光脉冲对应的观测结果。2.根据权利要求1所述的激光脉冲观测设备，其特征在于，所述光刻设备为掩膜版，所述掩膜版上设有随机矩阵。3.根据权利要求1所述的激光脉冲观测设备，其特征在于，所述第一线性光学信息处理系统包括间隔设置的第一透镜和第二透镜，所述第二线性光学信息处理系统包括间隔设置的第三透镜和第四透镜，所述第一透镜、所述第二透镜分别与所述第三透镜、所述第四透镜以所述光刻设备为对称轴对称设置。4.根据权利要求1所述的激光脉冲观测设备，其特征在于，所述成像装...

【专利技术属性】
技术研发人员：许彬，丁毅，刘馨悦，龙佳乐，胡轶，杜梓浩，詹晓江，孙瑞，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：发明
国别省市：