传导组件、货笼和镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种传导组件、货笼和镀膜机。传导组件，用于连接传导轴和传导板，传导板设置有可供传导轴穿过的导入孔，传导组件包括：导电片，设置有可供传导轴穿过的第一通孔；旋转螺母，用于与传导轴配合，并将导电片压紧在传导板；导电片与旋转螺母能够电性连通传导轴与传导板。由于传导组件中的旋转螺母和导电片紧密地与传导轴和传导板贴合，在偏压传导的过程中，从而保证了传导轴与传导板之间的偏压连续稳定，避免了现有的直接将传导轴插入导入孔时因传导轴与导入孔之间存在间隙导致偏压传导不连续的问题。传导不连续的问题。传导不连续的问题。

【技术实现步骤摘要】
传导组件、货笼和镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜
，特别是涉及传导组件、货笼和镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜中，待镀膜基板一般设置于可转动的基板载台上，而基板载台与电极相连用于形成偏压。目前镀膜机的偏压传导结构中存在导通不不连续的缺陷，这影响了镀膜件的镀膜品质。
[0003]研究人员发现偏压传导不连续的问题主要在三个方面，第一方面是现有的偏压传导采用轴承作为中间传导件，例如镀膜机的下转盘设置有轴承，电流需经过轴承传递至货笼，由于轴承内环和外环间通过滚珠连接，而轴承内滚珠与内环和外环存在间隙，因此在偏压传导的过程中存在偏压传导不连续的问题；第二方面是镀膜机的货笼安装在转盘上时，货笼的传导轴直接与转盘的导入孔配合。由于传导轴与导入孔之间存在配合间隙，这也导致货笼与转盘之间存在偏压传导不连续的问题；第三个方面是货笼中传导轴与端板之间也是采用导入孔的配合方式，在偏压传导的过程中也存在不连续的问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述镀膜件偏压传导过程中存在偏压传导不连续的问题，提供一种传导组件，进而还本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传导组件，用于连接传导轴和传导板，所述传导板设置有可供所述传导轴穿过的导入孔，其特征在于，所述传导组件包括：导电片，设置有可供所述传导轴穿过的第一通孔；旋转螺母，用于与所述传导轴配合，并将所述导电片压紧在所述传导板；所述导电片与所述旋转螺母能够电性连通所述传导轴与所述传导板。2.根据权利要求1所述的传导组件，其特征在于，所述传导组件还包括止回垫片，所述止回垫片设置于所述导电片和所述旋转螺母之间，所述止回垫片设置有可供所述传导轴穿过的第二通孔，所述第二通孔内壁设置有第一止回部，所述第一止回部用于与所述传导轴的凹槽对应。3.根据权利要求2所述的传导组件，其特征在于，所述传导组件还包括旋转压头，所述旋转压头设置于所述导电片和所述止回垫片之间；所述旋转压头设置可供所述传导轴穿过的阶梯孔，所述旋转压头的靠近所述旋转螺母的端面设置有与所述阶梯孔连通的止回槽；所述止回垫片位于所述阶梯孔内，所述止回垫片的外边缘设置有第二止回部，所述第二止回部用于与所述止回槽对应。4.一种货笼，其特征在于，所述货笼包括如权利要求1～3中任意一项所述的传导组件，所述货笼还包括相对设置的第一传导板和第二传导板以及多根第一传导轴；所述第一传导板和所述第二传导板均设置有多个第一导入孔，所述多个第一传导轴的两端分别一一对应地穿过所述第一传导板的所述第一导入孔和所述第二传导板的所述第一导入孔；所述第一传导轴与所述第一传导板之间设置所述传导组件，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王来泉，虞文韬，晏海燕，谢振岗，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：