扩散流量计一致性检验方法技术

本申请关于扩散流量计一致性检验方法，涉及太阳能电池制造领域。该方法包括：控制实验回路中的气压至第一气压；使用扩散流量计，并确定扩散流量计的显示流量，预设种类与扩散流量计的类型对应；确定测试时间；基于测试时间确定扩散流量计的显示流量以及扩散流量计的输出流量的一致性，扩散流量计的输出流量指示扩散流量计控制进气管注入预设种类气体的流量。流量计控制的进气管作为密闭气路的唯一出口，是引起实验回路中气压变化的唯一原因，而通过测试时间即可直接确定扩散流量计的实际流量，进而得到扩散流量计的显示流量与扩散流量计的输出流量是否一致，可以在太阳能电池厂等环境中无需进行流量计的拆卸，即可判定扩散流量计是否存在问题。流量计是否存在问题。流量计是否存在问题。

Consistency inspection method of diffusion flowmeter

【技术实现步骤摘要】
扩散流量计一致性检验方法


[0001]本申请涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种扩散流量计一致性检验方法。

技术介绍

[0002]太阳能电池是一种直接将太阳能转换为电能的器件，其主要利用p
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n结的光生伏特效应将太阳能转化为电能，在太阳能电池的生产过程中，普遍采用热扩散法制p
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n结，扩散炉即为制造太阳能电池p
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n结的专用设备，因此扩散设备备件的稳定性对扩散质量、太阳能电池光电转换效率尤为重要。以n型半导体表面掺杂三价硼元素的热扩散过程为例，具体通过液体BCL3或BBr3作为扩散源，在高温有氧条件下充分分解反应，生成二氧化硅和硼原子，利用硼原子（P型）向硅片（N型）内部扩散的方法，改变硅片表面层的导电类型，形成p
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n结。在整个热扩散过程中，至少需要使用氧气、氮气、携源气体（一般也为氮气，称为小氮）或BCL3气态源三种气体，而气体流量计控制上述三种气体的输出。各气体流量计是否准确，特别是气体流量计的显示气体流量与实际输出的气体流量是否一直，是影响扩散制p
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散流量计一致性检验方法，其特征在于，所述方法包括：控制实验回路中的气压至第一气压，所述实验回路中包括炉管和至少一个进气管，所述炉管与所述进气管在所述实验回路中形成密封气路；使用扩散流量计，在仅开启与所述扩散流量计对应的进气管时通过所述进气管向所述实验回路内注入预设种类的气体，并确定所述扩散流量计的显示流量，所述预设种类与所述扩散流量计的类型对应；响应于所述实验回路的气压达到第二气压，确定测试时间；基于所述测试时间确定所述扩散流量计的显示流量以及所述扩散流量计的输出流量的一致性，所述扩散流量计的输出流量指示所述扩散流量计控制所述进气管注入所述预设种类气体的流量。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制实验回路中的气压至第一气压，包括：对所述炉管进行漏率检测，得到炉管漏率检测结果；对所述进气管进行漏率检测，得到进气管漏率检测结果；响应于所述炉管漏率检测结果与所述进气管漏率检测结果一致，控制所述实验回路中的气压至所述第一气压；响应于所述炉管漏率检测结果与所述进气管漏率检测结果不一致，对所述进气管进行检修。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述炉管进行漏率检测，得到炉管漏率检测结果，包括：响应于所述实验回路中的所有进气管关闭，控制所述实验回路中的气压至第三气压；中止所述实验回路与外界的气体交换；响应于中止所述实验回路与外界的气体交换的时间达到第一漏率检测结果时间，确定所述实验回路内的第四气压；将所述第四气压与所述第三气压的差值作为所述炉管漏率检测结果。4.根据权利要求2所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴宇，汪松柏，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：