一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法技术

本发明专利技术涉及薄膜传感器设计、生产与安装技术领域，具体的，涉及一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法。本发明专利技术解决了现有工艺难以在大型构件和具有复杂曲面构件上应用薄膜传感器的问题，各层薄膜应力相互补偿，有效降低了薄膜传感器的残余应力，且有利于发挥MEMS工艺生产效率高的特点。另外，释放后的薄膜传感器可以保存在转移胶带上，运输和储存成本低，粘贴工艺简单，使用方便。使用方便。使用方便。

Preparation, release and transfer mounting method of thin film sensor

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法


[0001]本专利技术涉及薄膜传感器设计、生产与安装
，具体的，涉及一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法。

技术介绍

[0002]随着薄膜技术的发展，薄膜传感器在温度、热流、压力、应变、气体等参数的检测方面得到了越来越多的应用。相比于传统的传感器，薄膜传感器的厚度在微米量级，具有响应速度快、精确度高、灵敏度大、稳定性好等优点，在航空航天、武器制造、医疗等领域具有广阔的应用前景。
[0003]然而，在薄膜传感器的实际工程应用方面还存在着诸多的困难，薄膜传感器的贴装使用方法就是其中的一个重要问题。由于薄膜传感器的尺寸非常小，传统传感器的贴装方法不再适用，特别是将薄膜传感器用于具有复杂形状的零件和大型构件上时，比如将薄膜传感器用于航空发动机涡轮叶片上时，一般的工艺方法难以达到理想的使用效果，甚至无法实现。
[0004]文献“与航空发动机涡轮叶片一体化集成的薄膜应变计研究[D].四川:电子科技大学.2019”中采用原位制备的方法来实现薄膜传感器在涡轮叶片上的应用。原位制备就是直接以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1：用有机溶剂和去离子水清洗基底，并烘干；步骤2：在步骤1的基底上依次制备薄膜传感器的绝缘层和敏感层，并在敏感层上进行图形化；其中，绝缘层至少为两层；步骤3：在敏感层上粘贴转移胶带，粘贴方式可采用滚压粘贴、重物保压等方式；步骤4：采用腐蚀液腐蚀基底，释放薄膜传感器，此时薄膜传感器依附在转移胶带上；步骤5：清洗被测构件表面；步骤6：用胶水将薄膜传感器粘贴到被测构件上；步骤7：撕下转移胶带，完成薄膜传感器的转移贴装。2.根据权利要求1所述的一种薄膜传感器的制备、释放以及转移贴装方法，其特征在于，所述转移胶带选用热敏胶带或压敏胶带。3.根据权利要求1或2所述的一种薄膜传感器的制备、释...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁军生，周浩，刘志春，陈锦斌，孙宏毅，于晓梅，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：