等离子体装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够保护气体供给管不受卡合爪的影响的等离子体装置。等离子体装置具备：等离子体头，使用处理气体而喷出等离子体气体；气体供给单元，向等离子体头供给处理气体；气体供给管，该气体供给管的前端部与等离子体头连接，该气体供给管的基端部与气体供给单元连接，该气体供给管从气体供给单元向等离子体头供给处理气体；安装部件，具有与气体供给管卡合的卡合爪，通过使卡合爪与气体供给管卡合而将气体供给管安装于等离子体头；及旋转限制部件，在比与卡合爪卡合的位置靠气体供给管的基端侧处限制气体供给管的旋转。基端侧处限制气体供给管的旋转。基端侧处限制气体供给管的旋转。

Plasma device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体装置


[0001]本公开涉及利用等离子体头产生等离子体气体的等离子体装置。

技术介绍

[0002]以往，提出了各种从等离子体头朝向工件喷出等离子体气体来进行等离子体处理的等离子体装置。例如，在下述专利文献1的等离子体装置中，利用电力线缆和气体管将安装于多关节机器人的前端的等离子体头与电源、气体供给单元连接。在图10所示的例子中，将设置于气体管等的前端的连接器安装于等离子体头而将气体管等固定于等离子体头。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献1：国际公开第WO2019/150447号(图10)

技术实现思路

[0005]专利技术所要解决的课题
[0006]作为向等离子体头安装气体管的连接器，例如，在使用所谓的单触式接头等的情况下，能够使卡合爪与气体管卡合而将气体管安装于等离子体头，能够简化气体管的装卸作业。另一方面，气体管在每次更换等离子体头等时从等离子体头拆装。此时，当进行气体管的处理等时，气体管在卡合爪卡合的状态下旋转。另外，在利用多关节机器人使等离子体头移动等的情况下，气体管有可能旋转。由于气体管旋转，卡合爪所接触的部分被刮削，气体管有可能损伤。
[0007]本公开是鉴于这样的实际情况而作出的，其课题在于提供一种能够保护气体供给管不受卡合爪的影响的等离子体装置。
[0008]用于解决课题的技术方案
[0009]为了解决上述课题，本说明书公开一种等离子体装置，该等离子体装置具备：等离子体头，使用处理气体而喷出等离子体气体；气体供给单元，向上述等离子体头供给上述处理气体；气体供给管，上述气体供给管的前端部与上述等离子体头连接，上述气体供给管的基端部与上述气体供给单元连接，上述气体供给管从上述气体供给单元向上述等离子体头供给上述处理气体；安装部件，具有与上述气体供给管卡合的卡合爪，通过使上述卡合爪与上述气体供给管卡合而将上述气体供给管安装于上述等离子体头；及旋转限制部件，在比与上述卡合爪卡合的位置靠上述气体供给管的基端侧处限制上述气体供给管的旋转。
[0010]专利技术效果
[0011]根据本公开，通过使卡合爪卡合的安装部件，能够容易地将气体供给管安装于等离子体头。另外，在比与卡合爪卡合的位置靠气体供给管的基端侧处，旋转限制部件限制气体供给管的旋转。由此，气体供给管在比被旋转限制部件限制旋转的位置靠前端侧处的旋转被限制。即使在等离子体头的更换时或等离子体头的作业时对气体供给管施加旋转的方向上的力，也能够通过旋转限制部件限制与卡合爪卡合的前端部的旋转。能够减少卡合爪对气体供给管的损伤，能够保护气体供给管不受卡合爪的影响。
附图说明
[0012]图1是表示等离子体装置的图。
[0013]图2是等离子体头的立体图。
[0014]图3是在电极及主体侧等离子体通路的位置切断等离子体头而得到的剖视图。
[0015]图4是第一安装部件及第二安装部件的立体图。
[0016]图5是示意性地表示在将第一安装部件安装于第二安装部件的状态下的、四组安装部及被安装部中的一组安装部及被安装部的截面的图。
[0017]图6是表示安装了旋转限制部件的状态的立体图。
[0018]图7是旋转限制部件的分解立体图。
[0019]图8是以图6所示的A
‑
A线切断的剖视图。
[0020]图9是表示另一例的旋转限制部件的结构的剖视图。
[0021]图10是表示另一例的旋转限制部件的结构的剖视图。
具体实施方式
[0022]以下，参照附图对用于实施本公开的一个方式详细地进行说明。如图1所示，本实施方式的等离子体装置10具备：等离子体头11、机器人13及控制箱15。等离子体头11以可拆装的方式安装于机器人13的前端部。机器人13例如是串联连杆式机器人(也能够称为多关节型机器人)。等离子体头11能够在安装于机器人13的前端的状态下照射等离子体气体。等离子体头11根据机器人13的驱动而移动，变更朝向等，能够三维地移动。
[0023]控制箱15以计算机为主体而构成，总括地控制等离子体装置10。控制箱15具有向等离子体头11供给电力的电源部15A及向等离子体头11供给处理气体的气体供给部15B。电源部15A经由电力线缆16和控制线缆18而与等离子体头11连接。电源部15A基于控制箱15的控制，对变更向等离子体头11的电极33(参照图3)施加的电压的控制和后述的加热器的温度进行控制。
[0024]另外，气体供给部15B经由多个(在本实施方式中为四根)气体供给管19与等离子体头11连接。气体供给部15B基于控制箱15的控制，向等离子体头11供给后述的反应气体、载气、加热气体。控制箱15控制气体供给部15B，控制从气体供给部15B向等离子体头11供给的气体的量等。并且，等离子体装置10基于控制箱15的控制而使机器人13动作，从等离子体头11对载置于工作台17上的被处理物W照射等离子体气体。
[0025]另外，控制箱15具备具有触摸面板和各种开关的操作部15C。控制箱15将各种设定画面和动作状态(例如，气体供给状态等)等显示于操作部15C的触摸面板。另外，控制箱15通过对于操作部15C的操作输入来接受各种信息。
[0026]等离子体头11设置成能够相对于设置在机器人13的前端的安装板13A进行拆装。由此，等离子体头11能够更换为种类不同的等离子体头11。如图2所示，等离子体头11具备等离子体生成部21和喷嘴35等。等离子体生成部21将从控制箱15的气体供给部15B(参照图1)供给的处理气体等离子体化，从而生成等离子体气体。另外，等离子体头11利用设置于内部的加热器(省略图示)对从气体供给部15B供给的处理气体进行加热而生成加热气体。本实施方式的等离子体头11将在等离子体生成部21生成的等离子体气体与加热后的加热气体一起向图1所示的被处理物W喷出。在等离子体头11，在图2所示的箭头的方向上从上游侧
向下游侧供给处理气体。另外，等离子体头11也可以是不具备对加热气体进行加热的加热器的结构。即，本公开的等离子体装置也可以是不使用加热气体的结构。
[0027]如图3所示，等离子体生成部21包含头主体部31、一对电极33及喷嘴35等。另外，图3是与一对电极33及后述的多个主体侧等离子体通路71的位置一致地切断而得到的剖视图。头主体部31由耐热性高的陶瓷成形，在该头主体部31的内部形成有产生等离子体气体的反应室37。一对电极33分别例如呈圆柱形状，以使其前端部向反应室37突出的状态被固定。在以下的说明中，有时将一对电极33简称为电极33。另外，将一对电极33排列的方向称为X方向，将圆柱形状的电极33的轴向称为Z方向，将与X方向及Z方向正交的方向称为Y方向来进行说明。
[0028]电极33的一部分的外周部被由陶瓷等绝缘体制造的电极罩53覆盖。电极罩53呈大致中空筒状，在长度方向上的两端部形成有开口。电极罩53的内周面与电极33的外周面之间的间隙作为气体通路55发挥本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体装置，具备：等离子体头，使用处理气体而喷出等离子体气体；气体供给单元，向所述等离子体头供给所述处理气体；气体供给管，所述气体供给管的前端部与所述等离子体头连接，所述气体供给管的基端部与所述气体供给单元连接，所述气体供给管从所述气体供给单元向所述等离子体头供给所述处理气体；安装部件，具有与所述气体供给管卡合的卡合爪，通过使所述卡合爪与所述气体供给管卡合而将所述气体供给管安装于所述等离子体头；及旋转限制部件，在比与所述卡合爪卡合的位置靠所述气体供给管的基端侧处限制所述气体供给管的旋转。2.根据权利要求1所述的等离子体装置，其中，所述旋转限制部件具有：第一限制板；第二限制板，配置在与所述第一限制板相反的一侧而将所述气体供给管夹在所述第二限制板与所述第一限制板之间；及螺合部件，插入于所述第一限制板及所述第二限制板，通过与被螺合部螺合而缩短所述第一限制板与所述第二限制板之间的距离。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：池户俊之，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：