智能动密封增强系统技术方案

技术编号:34154247 阅读:56 留言:0更新日期:2022-07-14 21:51
本实用新型专利技术提供了一种智能动密封增强系统,属于真空设备的技术领域,设置于内部具有真空环境的壳体上,所述壳体具有可与外界连通的端部件,所述端部件的内部设有运动件,此动密封增强系统包括第一密封环及抽真空机组;所述第一密封环套设于所述运动件上;所述端部件设有抽真空嘴,所述抽真空嘴的一端延伸至所述运动件与所述端部件的内壁之间;所述抽真空机组与所述抽真空嘴连接。本实用新型专利技术通过密封环和抽真空机组对端部件与运动件之间的缝隙进行密封和减压处理,使壳体内保持一定的真空度,保证生产的顺利进行。保证生产的顺利进行。保证生产的顺利进行。

Intelligent dynamic seal enhancement system

【技术实现步骤摘要】
智能动密封增强系统


[0001]本技术属于真空设备的
,尤其是涉及一种智能动密封增强系统。

技术介绍

[0002]目前,高纯材料或半导体材料制备工艺很多情况都需要高真空设备,并且保持设备的高真空状态对于生产的稳定性,产出材料的品质都至关重要。但是,当连接外界与真空区域的端部内有零部件需要持续运动时,难免会有微粒附着于此运动部件,会导致密封件的磨损,从而密封效果下降,影响材料的精炼效果。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,本技术旨在提出一种智能动密封增强系统,以缓解上述的技术问题。
[0004]为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:
[0005]一种智能动密封增强系统,设置于内部具有真空环境的壳体上,所述壳体具有可与外界连通的端部件,所述端部件的内部设有运动件,此动密封增强系统包括第一密封环及抽真空机组;所述第一密封环套设于所述运动件上;所述端部件设有抽真空嘴,所述抽真空嘴的一端延伸至所述运动件与所述端部件的内壁之间;所述抽真空机组与所述抽真空嘴连接。
[0006]进一步地,还包括第二密封环,所述第二密封环套设于所述运动件上。
[0007]进一步地,所述第一密封环和所述第二密封环分别套设于所述运动件的两端。
[0008]进一步地,所述端部件的一端设有第一法兰,所述第一法兰的外侧与所述端部件固定连接,内侧套设于所述运动件上,所述第一法兰的内侧设有限位槽,所述限位槽内设有第一滚珠,所述第一滚珠与所述运动件抵接。
[0009]进一步地,所述限位槽为环形槽,每个所述限位槽内设有多个第一滚珠。
[0010]进一步地,所述限位槽具有多个。
[0011]进一步地,所述限位槽具有两个。
[0012]进一步地,所述第一法兰通过第一螺钉与所述端部件固定连接。
[0013]进一步地,还包括第二法兰,所述第二法兰套设于所述运动件上,且其外侧与所述端部件固定连接,内侧与所述第二密封环之间设有第二滚珠。
[0014]进一步地,所述第二法兰通过第二螺钉与所述端部件固定连接。
[0015]相对于现有技术,本技术提供的一种智能动密封增强系统具有以下优势:
[0016](1)本技术通过密封环和抽真空机组对端部件与运动件之间的缝隙进行密封和减压处理,使壳体内保持一定的真空度,保证生产的顺利进行。
[0017](2)本技术通过法兰和滚珠使运动件运动阻力减少。
[0018](3)本技术设置两组密封环来增强密封效果。
附图说明
[0019]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。在附图中:
[0020]图1为本技术实施例所述的一种智能动密封增强系统的整体结构图;
[0021]图2为图1中A部分的结构示意图;
[0022]图3为图1中B部分的结构示意图。
[0023]附图标记说明:
[0024]1‑
壳体;2

端部件;3

运动件;4

第一密封环;5

抽真空嘴;6

第二密封环;7

第一法兰;8

第一滚珠;9

第一螺钉;10

第二法兰;11

第二滚珠; 12

第二螺钉。
具体实施方式
[0025]需要说明的是,在不冲突的情况下,本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0026]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
[0027]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是之间相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内单元的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0029]如图1

3所示,一种智能动密封增强系统,设置于内部具有真空环境的壳体1上,所述壳体1具有可与外界连通的端部件2,所述端部件2的内部设有运动件3,此动密封增强系统包括第一密封环4及抽真空机组;所述第一密封环4套设于所述运动件3上;所述端部件2设有抽真空嘴5,所述抽真空嘴5的一端延伸至所述运动件3与所述端部件2的内壁之间;所述抽真空机组与所述抽真空嘴5连接。
[0030]更为优选地,还包括第二密封环6,所述第二密封环6套设于所述运动件3上。
[0031]更为优选地,所述第一密封环和所述第二密封环6分别套设于所述运动件3的两端。
[0032]更为优选地,所述端部件2的一端设有第一法兰7,所述第一法兰7的外侧与所述端部件2固定连接,内侧套设于所述运动件3上,所述第一法兰 7的内侧设有限位槽,所述限位槽内设有第一滚珠8,所述第一滚珠8与所述运动件3抵接。
[0033]更为优选地,所述限位槽为环形槽,每个所述限位槽内设有多个第一滚珠8。
[0034]更为优选地,所述限位槽具有多个。
[0035]更为优选地,所述限位槽具有两个。
[0036]更为优选地,所述第一法兰7通过第一螺钉9与所述端部件2固定连接。
[0037]更为优选地,还包括第二法兰10,所述第二法兰10套设于所述运动件 3上,且其外侧与所述端部件2固定连接,内侧与所述第二密封环6之间设有第二滚珠11。
[0038]更为优选地,所述第二法兰10通过第二螺钉12与所述端部件2固定连接。
[0039]在实际使用过程中,抽真空机组能够抽气降压,为现有技术,未在图中标出,在此不再赘述;运动件3上下移动。
[0040]以上仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种智能动密封增强系统,设置于内部具有真空环境的壳体上,所述壳体具有可与外界连通的端部件,所述端部件的内部设有运动件,其特征在于:此动密封增强系统包括第一密封环及抽真空机组;所述第一密封环套设于所述运动件上;所述端部件设有抽真空嘴,所述抽真空嘴的一端延伸至所述运动件与所述端部件的内壁之间;所述抽真空机组与所述抽真空嘴连接。2.根据权利要求1所述的一种智能动密封增强系统,其特征在于:还包括第二密封环,所述第二密封环套设于所述运动件上。3.根据权利要求2所述的一种智能动密封增强系统,其特征在于:所述第一密封环和所述第二密封环分别套设于所述运动件的两端。4.根据权利要求3的一种智能动密封增强系统,其特征在于:所述端部件的一端设有第一法兰,所述第一法兰的外侧与所述端部件固定连接,内侧套设于所述运动件上,所述第一法兰的内...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱业胜姜承法吴旭宏董志远
申请(专利权)人:万向新元科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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