提供了一种用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器，末端执行器沿着轴向在近端和远端之间延伸。该末端执行器包括：臂部分，沿着轴向在第一臂端与第二臂端之间延伸，第一臂端位于末端执行器的近端；刮刀部分，沿着轴向在第一刮刀端和第二刮刀端之间延伸，第一刮刀端与第二臂端相邻，且第二刮刀端位于末端执行器的远端；第一支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；和，共用的支撑构件，从臂部分的上表面向外延伸，其中，共用的支撑构件和第一支撑构件一起被配置为支撑第一直径的工件，共用的支撑构件和第二支撑构件一起被配置为支撑第二直径的可更换部件。被配置为支撑第二直径的可更换部件。被配置为支撑第二直径的可更换部件。
【技术实现步骤摘要】
末端执行器和用于处理工件的系统
[0001]本申请是名称为“具有聚焦环调整组件的等离子处理设备”、申请日为2020年5月13日、国际申请号为PCT/US2020/032601、国家申请号为202080004153.7的PCT申请的分案申请。
[0002]优先权要求
[0003]本申请要求于2019年5月14日提交的标题为“真空处理设备中用于输送可更换部件的系统和方法(SYSTEMS AND METHODS FOR TRANSPORTATION OF REPLACEABLE PARTS IN A VACUUM PROCESSING APPARATUS)”的美国临时申请序列号62/847,595的优先权的权益，通过引用将该申请并入本文。
[0004]本公开总体上涉及处理工件，并且更具体地涉及用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器和用于处理工件的系统。
技术介绍
[0005]将工件(例如，半导体晶圆或其他合适的衬底)暴露于用于形成半导体器件或其他器件的整体处理方案的处理系统可以执行多个处理步骤，例如等离子体处理(例如，剥离、蚀刻等)、热处理(例如，退火)、沉积(例如，化学气相沉积)等。为了执行这些处理步骤，系统可以包括一个或多个机器人，以不同的次数移动工件多次，例如，移入系统中、在各个处理室之间移动以及移出系统之外。在半导体工件处理中，有时可能需要对处理系统执行例行维护和/或预防性维护。在某些情况下，这可能需要物理更换处理系统中的某些部件。
技术实现思路
[0006]本公开的实施例的各方面和优点将在下面的描述中被阐明，或者可以从该描述中获悉，或者可以通过本专利技术的实施而获知。
[0007]本公开的一个示例性实施例涉及一种用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器，末端执行器沿着轴向在近端和远端之间延伸。该末端执行器包括：臂部分，沿着轴向在第一臂端与第二臂端之间延伸，第一臂端位于末端执行器的近端；刮刀部分，沿着轴向在第一刮刀端和第二刮刀端之间延伸，第一刮刀端与第二臂端相邻，且第二刮刀端位于末端执行器的远端；第一支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撑构件，从刮刀部分的上表面向外延伸；和共用的支撑构件，从臂部分的上表面向外延伸，其中，共用的支撑构件和第一支撑构件一起被配置为支撑第一直径的工件，共用的支撑构件和第二支撑构件一起被配置为支撑第二直径的可更换部件。
[0008]本公开的一个示例性实施例涉及一种用于处理工件的系统，包括：前端部分，被配置为保持在大气压下；装载锁定室，设置在前端部分和真空部分之间；一个或多个处理室，设置在真空部分中，每个处理室包括两个或更多个处理站；至少一个传送室，设置在真空部分中；和，存储室，被配置为存储一个或多个可更换部件，被耦合至至少一个传送室；一个或
多个工件搬运机器人，设置在至少一个传送室中，一个或多个工件搬运机器人被配置为在存储室和一个或多个处理室之间移动一个或多个可更换部件，其中，一个或多个工件搬运机器人包括末端执行器，末端执行器被配置为支撑可更换部件；控制器，被配置为根据机器人臂运动模式来控制末端执行器的运动以接近处理站，其中，机器人臂运动模式包括在第一方向上延伸第一时间段、在横向于第一方向的第二方向上延伸第二时间段以及在不同于第一方向和第二方向的第三方向上延伸第三时间段。
[0009]其他示例性方面涉及用于处理工件的系统和方法。可以对本公开的示例性方面进行变化和修改。
[0010]参考以下描述和所附权利要求，将更好地理解各种实施例的这些和其他特征、方面和优点。结合在本说明书中并构成本说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与说明书一起用于解释相关原理。
附图说明
[0011]在说明书中阐述了针对本领域普通技术人员的实施例的详细讨论，说明书参考了附图，其中：
[0012]图1描绘了根据本公开的示例性实施例的示例处理系统的平面图；
[0013]图2描绘了根据本公开的示例性实施例的示例处理系统的平面图；
[0014]图3描绘了根据本公开的示例性实施例的示例处理系统的平面图；
[0015]图4描绘了根据本公开的示例性实施例的示例传送位置；
[0016]图5描绘了根据本公开的示例性实施例的示例工件柱；
[0017]图6描绘了根据本公开的示例性实施例的示例机器人臂运动模式；
[0018]图7描绘了根据本公开的示例性实施例的示例方法的示例流程图；
[0019]图8描绘了根据本公开的示例性实施例的示例方法的示例流程图；
[0020]图9描绘了根据本公开的示例性实施例的示例末端执行器的透视图；
[0021]图10A描绘了根据本公开的示例性实施例的图9的末端执行器上的用于支撑示例工件和聚焦环的支撑元件的第一配置的透视图；
[0022]图10B描绘了根据本公开的示例性实施例的在图10A中所示的末端执行器上的支撑元件的侧视图；
[0023]图11A描绘了根据本公开的示例性实施例的图9的末端执行器上的用于支撑示例性工件和聚焦环的支撑元件的第二配置的透视图；
[0024]图11B描绘了根据本公开的示例性实施例的在图11A中所示的末端执行器上的支撑元件的侧视图；
[0025]图12A描绘了根据本公开的示例性实施例的图9的末端执行器上的用于支撑示例工件和聚焦环的支撑元件的第三配置的局部透视图；
[0026]图12B描绘了根据本公开的示例性实施例的在图12A中所示的末端执行器上的支撑元件的侧视图；
[0027]图13描绘了根据本公开的示例性实施例的示例处理系统的聚焦环调整组件的透视图；
[0028]图14A描绘了根据本公开的示例性实施例的图13所示的调整组件的侧视截面图，
其中调焦环处于降低位置；
[0029]图14B描绘了根据本公开的示例性实施例的图13所示的调整组件的侧视截面图，其中聚焦环处于升高位置；
[0030]图15A描绘了根据本公开的示例性实施例的用于与图13所示的调整组件一起使用的聚焦环的第一实施例的截面图；
[0031]图15B描绘了根据本公开的示例性实施例的用于与图13所示的调整组件一起使用的聚焦环的第二实施例的截面图；
[0032]图16描绘了根据本公开的示例性实施例的图14A
‑
14B中所示的调整组件的销支撑板的俯视图；
[0033]图17描绘了根据本公开的示例性实施例的用于图14A
‑
14B中所示的调整组件的致动系统的示意图；
[0034]图18描绘了根据本公开的示例性实施例的等离子体处理设备；
[0035]图19描绘了根据本公开的示例性实施例的将等离子体处理设备的聚焦环保持在第一位置的聚焦环调整组件；和
[0036]图20描绘了根据本公开的示例性实施例的将等离子体处理设备的聚焦环保持在第二位置的聚焦环调整组件。
具体实施方式
[0037]现本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器，所述末端执行器沿着轴向在近端和远端之间延伸，所述末端执行器包括：臂部分，沿着所述轴向在第一臂端与第二臂端之间延伸，所述第一臂端位于所述末端执行器的所述近端；刮刀部分，沿着所述轴向在第一刮刀端和第二刮刀端之间延伸，所述第一刮刀端与所述第二臂端相邻，且所述第二刮刀端位于所述末端执行器的所述远端；第一支撑构件，从所述刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撑构件，从所述刮刀部分的所述上表面向外延伸；和共用的支撑构件，从所述臂部分的上表面向外延伸，其中，所述共用的支撑构件和所述第一支撑构件一起被配置为支撑第一直径的工件，所述共用的支撑构件和所述第二支撑构件一起被配置为支撑第二直径的可更换部件。2.根据权利要求1所述的末端执行器，其中，所述第一直径小于所述第二直径。3.根据权利要求1所述的末端执行器，其中，所述第二支撑构件比所述第一支撑构件更靠近所述近端。4.根据权利要求1所述的末端执行器，其中，所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着纵向方向间隔开，使得所述共用的支撑构件上的用于支撑在所述第一支撑构件上的工件的第一接触区域与所述共用的支撑构件上的用于支撑在所述第二支撑构件上的可更换部件的第二接触区域分开。5.根据权利要求4所述的末端执行器，其中，所述第二接触区域比所述第一接触区域更靠近所述近端。6.根据权利要求1所述的末端执行器，其中，所述第一支撑构件和所述第二支撑构件沿着所述纵向方向间隔开，使得所述共用的支撑构件上的用于支撑在所述第一支撑构件上的工件的第一接触区域与所述共用的支撑构件上的用于支撑在所述第二支撑构件上的可更换部件的第二接触区域至少部分重叠。7.一种用于处理工件的系统，包括：前端部分，被配置为保持在大气压下；装载锁定室，设置在所述前端部分和真空部分之间；一个或多个处理室，设置在所述真空部分中，每个处理室包括两个或更多个处理站；至少一个传送室，设置在所述真空部分中；和存储室，被配置为存储一个或多个可更换部件，被耦合至所述至少一个传送室；一个或多个工件搬运机器人，设置在所述至少一个传送室中，所述一个或多个工件搬运机器人被配置为在所述存储室和所述一个或多个处理室之间移动所述一个或多个可更换部件，其中，所述一个或多个工件搬运机器人包括末端执行器，所述末端执行器被配置为支撑可更换部件；控制器，被配置为根据机器人臂运动模式来控制所述末端执行器的运动以接近所述处理站，其中，所述机器人臂运动模式包括在第一方向上延伸第一时间段、在横向于所述第一方向的第二方向上延伸第二时间段以及在不同于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上延伸第三时间段。8.根据权利要求7所述的系统，其中，所述机器人臂运动模式包括根据相同的模式缩回
所述末端执行器。9.根据权利要求7所述的系统，其中，所述一个或...
【专利技术属性】
技术研发人员：马丁，
申请(专利权)人：北京屹唐半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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