本实用新型专利技术属于尾气处理领域，提供了一种MOCVD设备尾气过滤装置，包括：过滤装置本体，于所述过滤装置本体内进气端连接有用于尾气冷却的半球形曲面的冷却分流板，于所述过滤装置本体和所述冷却分流板之间连接有至少一个用于冷却后尾气过滤的滤芯。本实用新型专利技术通过冷却分流板，对高温尾气进行快速降温，尾气中一部分固体颗粒及低沸点的化合物经冷却后凝聚沉积至过滤装置本体底部；随着滤芯及其他部件工作温度的降低，可延长其寿命，另外也会减轻干泵负荷，增加干泵保养周期。增加干泵保养周期。增加干泵保养周期。
【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD设备尾气过滤装置
[0001]本技术涉及尾气处理领域，尤其涉及一种MOCVD设备尾气过滤装置。
技术介绍
[0002]金属有机物化学气相沉积(METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION)是一种利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。在LED照明行业，工艺腔室温度最高温已经超过1200℃，经反应的尾气流经过滤装置后被干泵抽走，尾气温度一般在300℃以上，目前MOCVD设备过滤装置均采用自然冷却的方式，滤芯及固定胶经高温烘烤后易损坏老化，使用寿命短，清洗烘干后二次使用率极低。另外，温度过高会导致后端干泵工作温度过高，大大缩短了干泵的保养周期，致使干泵故障频发。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决
技术介绍
中存在的缺点，而提出的一种MOCVD设备尾气过滤装置。
[0004]本技术提供的技术方案如下：一种MOCVD设备尾气过滤装置，包括：过滤装置本体，于所述过滤装置本体内进气端连接有用于尾气冷却的半球形曲面的冷却分流板，于所述过滤装置本体和所述冷却分流板之间连接有至少一个用于冷却后尾气过滤的滤芯。
[0005]进一步的，所述滤装置本体前端连接有前桶盖，所述滤装置本体后端连接有后桶盖。
[0006]进一步的，所述前桶盖前端开设有第一进气口。
[0007]进一步的，所述后桶盖上开设有第一出气口。
[0008]进一步的，所述冷却分流板的半球形曲面在靠近所述第一进气口的一侧，所述冷却分流板内设夹层腔，所述夹层腔连通有进水管和出水管，所述进水管和所述出水管均穿过并固定于所述前桶盖上。
[0009]进一步的，所述过滤装置本体内于所述冷却分流板的后侧，依次连接有第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和所述第二固定板之间连接有至少一个滤芯固定杆，所述滤芯套在所述滤芯固定杆上，并连接在所述第一固定板和所述第二固定板之间。
[0010]进一步的，所述第二固定板的四周侧壁与所述过滤装置本体的内腔壁贴合密封。
[0011]进一步的，所述第二固定板于所述滤芯的位置处开设有用于过滤后气体排出的第二出气口。
[0012]进一步的，所述第二固定板上连接有氟胶垫。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)所述本技术的MOCVD设备尾气过滤装置，通过设置冷却分流板，对高温尾气进行快速降温，尾气中一部分固体颗粒及低沸点的化合物经冷却后凝聚沉积至过滤装置本体底部；随着滤芯及其他部件工作温度的降低，可延长其寿命，另外也会减轻干泵负荷，增加干泵保养周期。
[0015](2)所述本技术的MOCVD设备尾气过滤装置，冷却分流板为半球形曲面，将进来的尾气均匀分流到过滤装置本体四周并沉积吸附，从而吸附在滤芯上的颗粒就会减少，增加滤芯的使用寿命。
附图说明
[0016]图1是本技术MOCVD设备尾气过滤装置的整体结构示意图；
[0017]图2是本技术中第一固定板的结构示意图；
[0018]图3是本技术中第二固定板的结构示意图。
[0019]附图标记如下：1、过滤装置本体，2、前桶盖，3、后桶盖，4、第一进气口，5、第一出气口，6、冷却分流板，7、夹层腔，8、滤芯，9、滤芯固定杆，10、第一固定板，11、第二固定板，12、进水管，13、出水管，14、第二出气口，15、氟胶垫。
具体实施方式
[0020]以下结合附图和实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]如图1
‑
3所示，本技术是一种MOCVD设备尾气过滤装置，包括：过滤装置本体1，于过滤装置本体1内进气端连接有用于尾气冷却的半球形曲面的冷却分流板6，于过滤装置本体1和冷却分流板6之间连接有至少一个用于冷却后尾气过滤的滤芯8。
[0022]本实施例的过滤装置本体1为方形、筒型等常见的形状结构，本实施例所优选的滤装置本体1为筒型。
[0023]本实施例的尾气过滤装置与MOCVD设备的排气口连通，用于过滤MOCVD设备排出的尾气，过滤后的尾气再经由干泵抽走。
[0024]本实施例的冷却分流板6半球形曲面与滤装置本体1的进气端接近，当滤装置本体1的进气端进气时，气体会喷射至冷却分流板6的半球形曲面上，再经由冷却分流板6降温冷却后，由半球形曲面将进来的尾气均匀分流到过滤装置本体1四周并沉积吸附，从而吸附在滤芯8上的颗粒就会减少，增加滤芯8的使用寿命。
[0025]本实施例的冷却分流板6，对高温尾气进行快速降温，尾气中一部分固体颗粒及低沸点的化合物经冷却后凝聚沉积至过滤装置本体1底部；随着滤芯8及其他部件工作温度的降低，可延长其寿命，另外也会减轻干泵负荷，增加干泵保养周期。
[0026]本实施例所优选的滤芯8为三个。
[0027]本实施例的滤芯8可以是玻璃纤维、金属纤维烧结毡、丙纶纤维涤纶纤维、碳钎维等材料制成，可以用于气体的过滤、吸附。
[0028]进一步的，滤装置本体1前端连接有前桶盖2，滤装置本体1后端连接有后桶盖3。
[0029]本实施例的前桶盖2是可以打开或闭合的。
[0030]本实施例的前桶盖2内腔面为半球形曲面。
[0031]本实施例的前桶盖2与滤装置本体1前端口契合，当前桶盖2关闭时，与滤装置本体1之间密封。
[0032]本实施例的后桶盖3是可以打开或闭合的。
[0033]本实施例的后桶盖3与滤装置本体1后端口契合，当后桶盖3关闭时，与滤装置本体
1之间密封。
[0034]进一步的，前桶盖2前端开设有第一进气口4。
[0035]本实施例的第一进气口4与MOCVD设备的尾气排放口连通。
[0036]进一步的，后桶盖3上开设有第一出气口5。
[0037]本实施例的第一出气口5与干泵连通，用于过滤后的气体的排出。
[0038]进一步的，冷却分流板6的半球形曲面在靠近第一进气口4的一侧，冷却分流板6内设夹层腔7，夹层腔7连通有进水管12和出水管13，进水管12和出水管13均穿过并固定于前桶盖2上。
[0039]本实施例的冷却分流板6半球形曲面与第一进气口4接近，使气体会喷射至冷却分流板6的半球形曲面上。
[0040]本实施例的冷却分流板6通过进水管12和出水管13固定于前桶盖2上。
[0041]本实施例的进水管12和出水管13可以由金属材料制成，可以用于支撑住冷却分流板6。
[0042]本实施例的进水管12和出水管13连通于循环水箱。
[0043]具体的，进水管12向冷却分流板6的夹层腔7内供应冷却水，冷却水在夹层腔7内流动并通过出水管13流出，形成循环的冷却水路，保证冷却分流板6表面温度，使其冷却效果更好。
[0044]进一步的，过滤装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种MOCVD设备尾气过滤装置，包括：过滤装置本体(1)，其特征在于，于所述过滤装置本体(1)内进气端连接有用于尾气冷却的半球形曲面的冷却分流板(6)，于所述过滤装置本体(1)和所述冷却分流板(6)之间连接有至少一个用于冷却后尾气过滤的滤芯(8)。2.如权利要求1所述的一种MOCVD设备尾气过滤装置，其特征在于，所述滤装置本体(1)前端连接有前桶盖(2)，所述滤装置本体(1)后端连接有后桶盖(3)。3.如权利要求2所述的一种MOCVD设备尾气过滤装置，其特征在于，所述前桶盖(2)前端开设有第一进气口(4)。4.如权利要求2所述的一种MOCVD设备尾气过滤装置，其特征在于，所述后桶盖(3)上开设有第一出气口(5)。5.如权利要求3所述的一种MOCVD设备尾气过滤装置，其特征在于，所述冷却分流板(6)的半球形曲面在靠近所述第一进气口(4)的一侧，所述冷却分流板(6)内设夹层腔(7)，所述夹层腔(7)连通有进水管(12)和出水管(13)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：卓永生，张洪国，张海飞，唐继远，王浩增，房岩，
申请(专利权)人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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