本申请涉及一种连续相位板的检测装置，包括：激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、相位板固定结构、第三透镜、第四透镜、第一接收装置和第二接收装置。激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、相位板固定结构、第三透镜及第一接收装置，沿激光光源的光束发射方向依次设置，结构简单，用于检测透过光束的波前指标。激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、光楔、相位板固定结构、第三透镜、第二光阑及第一接收装置，沿所述激光光源的光束发射方向依次设置，其中，光楔倾斜设置，沿光楔的光束反射方向上依次设有有第四透镜和第二接收装置，用于测量透射和反射的光通量。量透射和反射的光通量。量透射和反射的光通量。
【技术实现步骤摘要】
连续相位板的检测装置
[0001]本申请涉及相位板的检测
，尤其涉及一种连续相位板的检测装置。
技术介绍
[0002]在激光的生产和使用过程中，不可避免的会涉及到光束质量的检测和表征。光束质量之所以重要是因为它是判断激光器好坏和能否进行激光精密加工的一个关键物理量。对于光束质量的分析，主要依赖光束的检测装置进行测量。而光束在检测过程中，由于光束的检测装置较为复杂，需要复杂的操作，从而延长了检测时间。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本申请提出了一种连续相位板的检测装置，解决了相位板在检测过程中操作繁琐的问题。
[0004]根据本申请的一方面，提供了一种连续相位板的检测装置，包括：激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、相位板固定结构、第三透镜及第一接收装置；所述相位板固定结构适用于夹持固定待检测的相位板；所述激光光源、所述第一透镜、所述第二透镜、所述第一光阑、所述相位板固定结构、所述第三透镜及所述第一接收装置，沿所述激光光源的光束发射方向依次设置；且所述第一透镜为双凸式的扩束镜透镜；所述第二透镜为双凸式的扩束镜透镜；所述第三透镜双凸式的聚焦透镜。
[0005]在一种可能实现的方式中，所述第一光阑的通光孔径为200毫米
×
200毫米的矩形孔。
[0006]在一种可能实现的方式中，所述检测装置在测透过光束的波前指标时，所述第一接收装置为相机。
[0007]在一种可能实现的方式中，所述检测装置还包括光楔、第四透镜及第二光阑；所述激光光源、所述第一透镜、所述第二透镜、所述第一光阑、所述光楔、所述相位板固定结构、所述第三透镜、所述第二光阑及所述第一接收装置，沿所述激光光源的光束发射方向依次设置；所述光楔倾斜设置，与所述激光光源的光束发射方向之间留有预设角度；所述第四透镜设置在所述光楔的光束反射路径上。
[0008]在一种可能实现的方式中，所述检测装置还包括第二接收装置；所述第二接收装置为激光功率计；所述第二接收装置沿所述光楔的光束反射方向设置；所述光楔、所述第四透镜及所述第二接收装置依次设置。
[0009]在一种可能实现的方式中，所述第二光阑的通光孔径为圆形孔；所述检测装置在测量透射和反射的光通量时，所述第一接收装置为激光功率计。
[0010]在一种可能实现的方式中，所述激光光源的光束波长为527纳米。
[0011]本申请实施例的连续相位板的检测装置的有益效果：激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、相位板固定结构、第三透镜及第一接收装置，沿激光光源的光束发射方向依次设置，用于检测透过光束的波前指标，设备简单，结果准确。激光光源、第一透镜、第二透
镜、第一光阑、光楔、相位板固定结构、第三透镜、第二光阑及第一接收装置，沿所述激光光源的光束发射方向依次设置，其中，光楔倾斜设置，沿光楔的光束反射方向上依次设有有第四透镜和第二接收装置，用于测量透射和反射的光通量。
[0012]根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本申请的其它特征及方面将变得清楚。
附图说明
[0013]包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本申请的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本申请的原理。
[0014]图1示出本申请实施例的连续相位板的检测装置的检测透过光束的波前指标图；
[0015]图2示出本申请实施例的连续相位板的检测装置的测量透射和反射的光通量；
[0016]图3示出本申请实施例的连续相位板的检测装置的曲线S
θ
示意图。
具体实施方式
[0017]以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
[0018]其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0019]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
[0021]另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨。
[0022]图1示出根据本申请一实施例的主体结构的示意图。如图1所示，本申请实施例的连续相位板的检测装置包括：激光光源100、第一透镜200、第二透镜300、第一光阑400、相位板固定结构500、第三透镜600、第四透镜1000、第一接收装置700和第二接收装置1100。激光光源100、第一透镜200、第二透镜300、第一光阑400、相位板固定结构500、第三透镜600及第一接收装置700，沿激光光源100的光束发射方向依次设置，结构简单，用于检测透过光束的波前指标。激光光源100、第一透镜200、第二透镜300、第一光阑400、光楔900、相位板固定结构500、第三透镜600、第二光阑800及第一接收装置700，沿所述激光光源100的光束发射方向依次设置，其中，光楔900倾斜设置，沿光楔900的光束反射方向上依次设有有第四透镜
1000和第二接收装置1100，用于测量透射和反射的光通量。
[0023]需要说明的是，待测连续相位板夹持在相位板固定结构500中。其中，待测连续相位板的一面设为入射面，另一面设为出射面。入射面为平直面，与激光光源100发射出的光束相垂直。出射面的通光区域为凹凸面，用以集中光束。
[0024]进一步的，在此实施例中，使用激光光源100发射出的光束通过相位板的通光区域，在第一光阑400的的通光孔径范围内光强均匀，然后光束通过焦距为F的第三透镜600，聚焦在焦平面上放置的数码相机。
[0025]在一具体实施例中，第一透镜200为双凸式的扩束镜透镜，且第一透镜200的第一焦距为F1。
[0026]在一具体实施例中，第二透镜300为双凸式的扩束镜透镜，且第二透镜300的第二焦距为F2。
[0027]在一具体实施例中，第一光阑400的通管孔径为本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种连续相位板的检测装置，其特征在于，包括：激光光源、第一透镜、第二透镜、第一光阑、相位板固定结构、第三透镜及第一接收装置；所述相位板固定结构适用于夹持固定待检测的相位板；所述激光光源、所述第一透镜、所述第二透镜、所述第一光阑、所述相位板固定结构、所述第三透镜及所述第一接收装置，沿所述激光光源的光束发射方向依次设置；且所述第一透镜为双凸式的扩束镜透镜；所述第二透镜为双凸式的扩束镜透镜；所述第三透镜双凸式的聚焦透镜。2.根据权利要求1所述的连续相位板的检测装置，其特征在于，所述第一光阑的通光孔径为200毫米
×
200毫米的矩形孔。3.根据权利要求1所述的连续相位板的检测装置，其特征在于，所述检测装置在测透过光束的波前指标时，所述第一接收装置为相机。4.根据权利要求1所述的连续相位板的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括光楔、第四透镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：周长颖，
申请(专利权)人：嘉贺恒德科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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