一种用于提纯高纯碳粉的工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种用于提纯高纯碳粉的工艺，采用间歇式处理方式，通过将石墨粉内拌入添加剂、升温、烧结提纯、降温步骤，最后完成取料，获得的碳粉纯度可达99.999%、磞元素含量小于0.01ppm。本发明专利技术避免传统碳粉提纯中采用的氯气与氟利昂气体，该方式不仅对设备要求高，同时添加的氯气与氟利昂还会造成大气污染，影响人体健康，而本发明专利技术在碳粉提纯过程中不会造成环境污染，同时操作简单，能够大幅度降低生产成本，同时达到了纯度要求，去除了杂质。去除了杂质。

A process for purifying high purity carbon powder

【技术实现步骤摘要】
一种用于提纯高纯碳粉的工艺


[0001]本专利技术属于冶炼金属
，涉及一种用于提纯高纯碳粉的工艺。

技术介绍

[0002]第三代半导体晶园以碳化硅作为衬底材料，高纯碳化硅粉体由高纯碳粉加高纯硅粉制成，其要求高碳粉的纯度需达到99.999%以上、微量杂质磞元素的含量小于0.01ppm，故国内许多供应商为了提高碳粉纯度、降低杂质含量，采用了添加氟利昂、氯气等酸碱法进行碳粉提纯，该方式不仅成本昂贵，还容易造成大气环境严重污染，故此，本专利技术提供一种用于提纯高纯碳粉的工艺以解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于针对现有技术存在的问题，提供一种用于提纯高纯碳粉的工艺，能够解决现有碳粉提纯方式成本昂贵、容易造成大气环境污染，且提纯效果不佳的问题。
[0004]为此，本专利技术采取以下技术方案：一种用于提纯高纯碳粉的工艺，包括如下步骤：a.将块状石墨粉粹至粒度为400
‑
500目后，按1:0.2比例加入卤族络盐，并搅拌均匀；b.将步骤b中的混合物倒入提纯炉中，依次开启真空泵和抽气阀开始本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于提纯高纯碳粉的工艺，其特征在于，包括如下步骤：a.将块状石墨粉粹至粒度为400
‑
500目后，按1:0.2比例加入卤族络盐，并搅拌均匀；b.将步骤b中的混合物倒入提纯炉中，依次开启真空泵和抽气阀开始对提纯炉内抽真空，直至真空度为
‑
320Pa时关闭真空泵和抽气阀；c.打开进气阀对提纯炉炉内充入氩气，直至炉内负压为0
‑
1Pa时，开始加热炉内物料，并开启排气阀；d.加热至温度为2400℃时，保温1小时，保温完毕...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔琳琳，孔杰，孔么乃，周付民，马丽娅，
申请(专利权)人：甘肃华瑞鸿程新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：