一种压差流量计制造技术

本发明专利技术涉及测量技术领域，公开了一种压差流量计，包括底座组件及测量组件，底座组件包括底座、节流元件和底座盖，底座具有第一流体通道和第二流体通道；节流元件与底座盖均连接底座，底座盖开设有第一高压引压孔和第一低压引压孔；测量组件包括金属壳体、第一传感器晶圆、第二传感器晶圆、传感器电路板和流量计电路板，金属壳体连接底座盖，第一传感器晶圆和第二传感器晶圆均连接于传感器电路板，传感器电路板电性连接流量计电路板，第一传感器晶圆为压差传感器晶圆，第二传感器晶圆为绝压传感器晶圆或表压传感器晶圆。本流量计将第一传感器晶圆和第二传感器晶圆集成于金属壳体内，能够使得流量计的结构紧凑，还能避免电磁干扰，提高测量精度。提高测量精度。提高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
一种压差流量计


[0001]本专利技术涉及测量
，具体涉及一种压差流量计。

技术介绍

[0002]压差流量计是一种利用流体在流经节流元件前后所产生的压力差ΔP而计算出流体的流量体积的设备。在测量的过程中，需要测量流体的绝对压力P，P可以通过绝压传感器直接测量获得，也可以通过表压传感器测得流体表压Pg后，加上当前大气压力Pa获得(P＝Pg+Pa)。在本申请中，所说的绝对压力P是指上述两种中的任意一种。测量获得绝对压力P后，由公式Qn＝Q
×
(Tn/T)
×
(P/Pn)可以计算出标况流量Qn，其中，Tn是常数,单位为开尔文K，Pn是常数，单位和P一致,T为当前流体的温度，由温度传感器测量获得。Q为流量计需要测量的流量值，Qn为标况后的流量计的最终输出值，而Q的测量则与压力差ΔP相关，因此，通过测量得到的ΔP，则可以测量得到Q，最终得到Qn。
[0003]现有技术中的压差流量计，压差传感器和绝压传感器均为独立的模块，需要独立安装，对安装过程的操作要求较高，这不仅仅影响着压差流量计的装配效率，还会导致压差流量计的体积过大，各个模块或电路板之间的距离过大，导致它们之间所连接的导线过长，从而引入电磁干扰，影响着压差流量计的测量精度。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种压差流量计，其结构紧凑，体积较小，能够减小电磁干扰，提高测量精度。
[0005]为解决上述问题，本专利技术所采用的技术方案如下：一种压差流量计，包括：底座组件，包括底座、节流元件和底座盖，所述底座具有第一流体通道和第二流体通道，所述节流元件与所述底座盖均连接所述底座，所述底座盖开设有第一高压引压孔和第一低压引压孔，及测量组件，包括金属壳体、第一传感器晶圆、第二传感器晶圆、传感器电路板和流量计电路板，所述金属壳体连接所述底座盖，所述第一传感器晶圆和所述第二传感器晶圆均连接于所述传感器电路板，且所述第一传感器晶圆、所述第二传感器晶圆和所述传感器电路板均设于所述金属壳体内，所述传感器电路板电性连接所述流量计电路板，且所述流量计电路板的信号地连接所述金属壳体，所述第一传感器晶圆为压差传感器晶圆，所述第二传感器晶圆为绝压传感器晶圆或表压传感器晶圆；测量时，待测流体可依次流经所述第一流体通道、所述节流元件和所述第二流体通道，所述第一高压引压孔可向所述第一传感器晶圆引入流体的绝对压力，并向所述第二传感器晶圆引入所述节流元件的高压，所述第一低压引压孔可向所述第二传感器晶圆引入流体的绝对压力，并向所述第二传感器晶圆引入所述节流元件的低压。
[0006]相比现有技术，上述技术方案的有益效果在于：本流量计可以将第一传感器晶圆和第二传感器晶圆一起集成于金属壳体内，不仅能够减小流量计的体积，使得流量计的结构紧凑，金属壳体还能形成电磁屏蔽罩，减小第一传感器晶圆和第二传感器晶圆受到的电
磁干扰，提高测量精度；同时，本流量计的第一传感器晶圆和第二传感器晶圆连接于传感器电路板上，并与传感器电路板一起集成于金属壳体内，传感器电路板电性连接流量计电路板，无需额外引入长导线，能够避免因引入长导线所带来的电磁干扰，进一步地提高了测量的精度；且流量计电路板的信号地与金属壳体连接，又能够避免因人手触摸流量计电路板或触摸金属壳体时所带来的信号干扰，更进一步地提高了测量的精度；此外，在装配时即可将第一传感器晶圆和第二传感器晶圆封装于流量计内，能够提高流量计的装配效率。
[0007]上述的压差流量计，所述底座开设有第一安装槽，所述节流元件设于所述第一安装槽内并低于所述第一安装槽，所述节流元件的顶面与所述底座盖的底面之间具有流通槽，所述节流元件还开设有第一连通孔和第二连通孔，所述第一流体通道、所述第一连通孔、所述流通槽、所述第二连通孔以及所述第二流体通道依次连通。
[0008]上述的压差流量计，所述金属壳体包括相互连接的第一壳体和第二壳体，所述第一壳体连接所述底座，所述第一壳体设有容纳槽，所述传感器电路板连接于所述容纳槽，所述第二壳体设有第一晶圆槽和第二晶圆槽，所述第一晶圆槽与所述第二晶圆槽之间设有挡板，所述第一传感器晶圆和所述第二传感器晶圆分别位于所述第一晶圆槽内与所述第二晶圆槽内，或者，所述第一传感器晶圆和所述第二传感器晶圆分别位于所述第二晶圆槽内与所述第一晶圆槽内。
[0009]上述的压差流量计，所述容纳槽的底壁开设有第二高压引压孔与第二低压引压孔，所述第二高压引压孔与所述第一高压引压孔的位置相对应并相互连通，且所述第二高压引压孔连通所述第一晶圆槽，所述第二低压引压孔与所述第一低压引压孔的位置相对应并相互连通，且所述第二低压引压孔连通所述第二晶圆槽。
[0010]上述的压差流量计，所述容纳槽的底壁开设有引压槽，所述引压槽连通所述第二高压引压孔和第二低压引压孔，所述引压槽可将流体压力引入第一传感器晶圆或第二传感器晶圆。
[0011]上述的压差流量计，还包括隔离组件，所述隔离组件包括隔离板、第一压力膜片和第二压力膜片，所述隔离板连接于所述底座和所述底座盖之间，所述第一压力膜片和所述第二压力膜片连接于所述隔离板内，且所述第一压力膜片隔离所述流通槽和所述第一高压引压孔，所述第二压力膜片隔离所述流通槽和所述第一低压引压孔，所述第一压力膜片的顶面至所述第一晶圆槽内填充有液态油，所述第二压力膜片的顶面至所述第二晶圆槽内填充有液态油。
[0012]上述的压差流量计，所述隔离板开设有第二安装槽和第三安装槽，所述第一压力膜片与所述第二压力膜片分别安装于所述第二安装槽与所述第三安装槽内，所述第二安装槽和所述第三安装槽的底壁分别开设有第三连通孔和第四连通孔，测量时，待测流体可通过所述第三连通孔和所述第四连通孔分别作用于所述第一压力膜片和所述第二压力膜片。
[0013]上述的压差流量计，所述第一压力膜片与所述第二安装槽的底壁之间保留有间隙，所述第二压力膜片与所述第三安装槽之间保留有间隙，测量时，所述第一压力膜片的底面与所述第二安装槽的底壁之间填充有待测流体，所述第二压力膜片的底面与所述第三安装槽的底壁之间填充有待测流体。
[0014]上述的压差流量计，所述第二安装槽内设有两组第一压环，所述第一压力膜片焊接于两组所述第一压环之间，所述第三安装槽内设有两组第二压环，所述第二压力膜片焊
接于两组所述第二压环之间。
[0015]上述的压差流量计，所述第一压环的外周侧壁焊接于所述第二安装槽的内周侧壁，所述第二压环焊接于所述第三安装槽的内周侧壁。
[0016]上述的压差流量计，所述底座盖开设有第四安装槽，第一壳体的底面连接所述第四安装槽的底壁，所述第四安装槽的底壁开设有高压端油压补偿槽和低压端油压补偿槽，所述高压端油压补偿槽连通所述第一高压引压孔和所述第二高压引压孔，所述低压端油压补偿槽连通所述第一低压引压孔和所述第二低压引压孔，且第一高压引压孔和第一低压引压孔之间可通过第四安装槽相互连通。
[0017]上述的压差流量计，所述第二壳体开设有高压充油孔和低压充油孔，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压差流量计，其特征在于，包括：底座组件(100)，包括底座(110)、节流元件(120)和底座盖(130)，所述底座(110)具有第一流体通道(111)和第二流体通道(112)，所述节流元件(120)与所述底座盖(130)均连接所述底座(110)，所述底座盖(130)开设有第一高压引压孔(131)和第一低压引压孔(132)，及测量组件(200)，包括金属壳体(210)、第一传感器晶圆(220)、第二传感器晶圆(230)、传感器电路板(240)和流量计电路板(250)，所述金属壳体(210)连接所述底座盖(130)，所述第一传感器晶圆(220)和所述第二传感器晶圆(230)均连接于所述传感器电路板(240)，且所述第一传感器晶圆(220)、所述第二传感器晶圆(230)和所述传感器电路板(240)均设于所述金属壳体(210)内，所述传感器电路板(240)电性连接所述流量计电路板(250)，且所述流量计电路板(250)的信号地连接所述金属壳体(210)，所述第一传感器晶圆(220)为压差传感器晶圆，所述第二传感器晶圆(230)为绝压传感器晶圆或表压传感器晶圆；测量时，待测流体可依次流经所述第一流体通道(111)、所述节流元件(120)和所述第二流体通道(112)，所述第一高压引压孔(131)可向所述第一传感器晶圆(220)引入流体的绝对压力，并向所述第二传感器晶圆(230)引入所述节流元件(120)的高压，所述第一低压引压孔(132)可向所述第二传感器晶圆(230)引入流体的绝对压力，并向所述第二传感器晶圆(230)引入所述节流元件(120)的低压。2.根据权利要求1所述的压差流量计，其特征在于，所述底座(110)开设有第一安装槽(113)，所述节流元件(120)设于所述第一安装槽(113)内并低于所述第一安装槽(113)，所述节流元件(120)的顶面与所述底座盖(130)的底面之间具有流通槽(1131)，所述节流元件(120)还开设有第一连通孔(121)和第二连通孔(122)，所述第一流体通道(111)、所述第一连通孔(121)、所述流通槽(1131)、所述第二连通孔(122)以及所述第二流体通道(112)依次连通。3.根据权利要求2所述的压差流量计，其特征在于，所述金属壳体(210)包括相互连接的第一壳体(211)和第二壳体(212)，所述第一壳体(211)连接所述底座(110)，所述第一壳体(211)设有容纳槽(2111)，所述传感器电路板(240)连接于所述容纳槽(2111)内，所述第二壳体(212)设有第一晶圆槽(2121)和第二晶圆槽(2122)，所述第一晶圆槽(2121)与所述第二晶圆槽(2122)之间设有挡板(2123)，所述第一传感器晶圆(220)和所述第二传感器晶圆(230)分别位于所述第一晶圆槽(2121)内与所述第二晶圆槽(2122)内，或者，所述第一传感器晶圆(220)和所述第二传感器晶圆(230)分别位于所述第二晶圆槽(2122)内与所述第一晶圆槽(2121)内。4.根据权利要求3所述的压差流量计，其特征在于，所述容纳槽(2111)的底壁开设有第二高压引压孔(2112)与第二低压引压孔(2113)，所述第二高压引压孔(2112)与所述第一高压引压孔(131)的位置相对应并相互连通，且所述第二高压引压孔(2112)连通所述第一晶圆槽(2121)，所述第二低压引压孔(2113)与所述第一低压引压孔(132)的位置相对应并相互连通，且所述第二低压引压孔(2113)连通所述第二晶圆槽(2122)。5.根据权利要求4所述的压差流量计，其特征在于，所述容纳槽(2111)的底壁开设有引压槽(2114)，所述引压槽(2114)连通所述第二高压引压孔(2112)和第二低压引压孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄瑞奇，
申请(专利权)人：深圳市为朗仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：