具有泄漏测试通道的流体部件主体制造技术

一种歧管主体，包括：至少第一阀主体区段和第二阀主体区段，每个阀主体区段包括限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；统一的泄漏测试端口；第一分支泄漏测试通道，所述第一分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第一阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分；以及第二分支泄漏测试通道，所述第二分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第二阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分。径向外侧的外周边部分。径向外侧的外周边部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有泄漏测试通道的流体部件主体
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2019年12月20日提交的名为FLUID COMPONENT BODY WITH LEAK TEST PASSAGES的美国临时专利申请序列号62/951,527的优先权和所有权益，所述专利申请的全部公开内容以引用的方式并入本文。

技术介绍

[0003]流体系统通常包括多个阀，所述多个阀被布置用于对一种或多种类型的流体进行混合、切换、吹扫以及其他此类控制，例如以用于在半导体晶圆的制造中采用的气体分配。虽然可通过以期望的配置焊接或以其他方式连接各个阀来构造此类流体控制系统，但由于构造的时间和成本、许多连接处的潜在泄漏点、组件的整体尺寸以及其他此类因素，此类布置可能是不期望的。
[0004]多阀歧管经常用于通过提供单一主体块来解决这些间题中的一个或多个间题，所述单一主体块被机械加工成期望的流动路径布置，其中安装多个阀组件以控制多端口歧管主体块内多个点处的流动。然而，歧管主体块本身可能是昂贵的且难以机械加工的，并且可能在可提供的内部端口的形状和取向方面受到限制。另外，在流动路径扩展和/或复杂(非直线)的情况下，可能难以维持对歧管主体流动路径的抛光表面光洁度要求。

技术实现思路

[0005]在本公开的示例性实施方案中，一种歧管主体包括：至少第一阀主体区段和第二阀主体区段，每个阀主体区段包括限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；统一的泄漏测试端口；第一分支泄漏测试通道，所述第一分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第一阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分；以及第二分支泄漏测试通道，所述第二分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第二阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分。
[0006]在本公开的另一个示例性实施方案中，一种阀主体包括：限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；以及泄漏测试通道，所述泄漏测试通道形成于所述阀主体的所述上部周界壁部分中，其中所述泄漏测试通道的第一部分穿过所述上部周界壁部分轴向地延伸到所述上部周界壁部分的端部表面上暴露的泄漏测试端口，并且所述泄漏测试通道的第二部分穿过所述上部周界壁部分的下部端部横向地或径向地延伸到所述阀腔，以与所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分相交。
[0007]在本公开的另一个示例性实施方案中，一种歧管组件包括：歧管主体，所述歧管主体具有至少第一阀主体区段和第二阀主体区段；与所述第一阀主体区段组装的第一阀子组件和与所述第二阀主体区段组装的第二阀子组件。所述第一阀主体区段和所述第二阀主体区段中的每一者包括：限定阀腔的上部周界壁部分以及限定中心流动端口和偏置流动端口
的下部基部部分；统一的泄漏测试端口；第一分支泄漏测试通道，所述第一分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第一阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分；以及第二分支泄漏测试通道，所述第二分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第二阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分。所述第一阀子组件和所述第二阀子组件中的每一者包括：柔性隔膜；环形阀座支架，所述环形阀座支架被接纳在所述阀腔中并且包括：下部密封部分，所述下部密封部分在所述中心流动端口周围抵靠凹陷表面进行密封；以及上部密封部分，所述上部密封部分在所述隔膜移动到关闭位置时抵靠所述隔膜进行密封二以及螺纹阀盖螺母，所述螺纹阀盖螺母安装在所述阀腔中以抵靠所述阀腔中的所述外密封表面夹紧所述阀座支架以形成主体密封件。
[0008]在本公开的另一个示例性实施方案中，一种阀组件包括阀主体和阀子组件。所述阀主体包括：限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；以及泄漏测试通道，所述泄漏测试通道形成于所述阀主体的所述上部周界壁部分中，其中所述泄漏测试通道的第一部分穿过所述上部周界壁部分轴向地延伸到所述上部周界壁部分的端部表面上暴露的泄漏测试端口，并且所述泄漏测试通道的第二部分穿过所述上部周界壁部分的下部端部横向地或径向地延伸到所述阀腔，以与所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分相交。所述阀子组件包括：柔性隔膜；环形阀座支架，所述环形阀座支架被接纳在所述阀腔中并且包括：下部密封部分，所述下部密封部分在中心流动端口周围抵靠凹陷表面进行密封二以及上部密封部分，所述上部密封部分在所述隔膜移动到关闭位置时抵靠所述隔膜进行密封；以及螺纹阀盖螺母，所述螺纹阀盖螺母安装在所述阀腔中以抵靠所述阀腔中的所述外密封表面夹紧所述阀座支架以形成主体密封件。
[0009]在本公开的另一个示例性实施方案中，设想了一种用于对安装在多阀歧管主体中的第一阀腔和第二阀腔中的第一阀和第二阀进行泄漏测试的方法。在示例性方法中，将歧管组件设于处于真空下的流体系统中，并且将所述歧管组件与泄漏检测装置连接。将测试流体供应到所述歧管主体中的统一的泄漏测试端口，使得所述测试流体通过第一分支泄漏测试通道和第二分支泄漏测试通道传输到所述第一阀腔和所述第二阀腔的外周边部分。使用所述泄漏检测装置来测量经过所述第一阀和所述第二阀与所述第一阀腔和所述第二阀腔之间的第一主体密封件和第二主体密封件的所述测试流体的侵入。响应于检测到经过所述第一主体密封件和所述第二主体密封件的泄漏，将所述测试流体顺序地供应到第一阀泄漏测试端口和第二阀泄漏测试端口，使得所述测试流体通过第一阀泄漏测试通道和第二阀泄漏测试通道顺序地传输到所述第一阀腔和所述第二阀腔的所述外周边部分。使用所述泄漏检测装置来测量经过所述第一主体密封件的所述测试流体的侵入，并且测量经过所述第二主体密封件的所述测试流体的侵入。
附图说明
[0010]在结合附图考虑以下描述和所附权利要求之后，本领域技术人员将清楚另外的优点和益处，在附图中：
[0011]图1示出了示例性隔膜阀歧管组件的透视图；
[0012]图1A示出了图1的歧管组件的歧管块主体的透视图；
[0013]图2示出了图1的穿过线2
‑
2截取的歧管组件的横截面侧视图；
[0014]图3示出了包括具有泄漏测试通道的阀盖螺母的阀组件的横截面图；
[0015]图4A示出了图3的阀组件的阀盖螺母的上部透视图；
[0016]图4B示出了图4A的阀盖螺母的下部透视图；
[0017]图5示出了包括具有泄漏测试通道的主体的阀组件的横截面图；
[0018]图6示出了图5的阀组件的主体的透视图二
[0019]图7示出了根据本公开的示例性实施方案的具有歧管主体的双阀歧管组件的上部透视图，所述歧管主体具有统一的泄漏测试端口；
[0020]图8示出了图7的歧管组件的另一个上部透视图；
[0021]图9示出了图7的歧管组件的横截面前视图；
[0022]图10示出了图7的歧管组件的歧管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种歧管主体，所述歧管主体包括：至少第一阀主体区段和第二阀主体区段，每个阀主体区段包括限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；统一的泄漏测试端口；第一分支泄漏测试通道，所述第一分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第一阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分；以及第二分支泄漏测试通道，所述第二分支泄漏测试通道从所述统一的泄漏测试端口延伸到所述第二阀主体区段的所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分。2.如权利要求1所述的歧管主体，其中所述第一阀主体区段和所述第二阀主体区段中的每一者包括阀泄漏测试通道，所述阀泄漏测试通道形成于所述上部周界壁部分中并且从所述上部周界壁部分的端部表面上暴露的阀泄漏测试端口延伸到所述阀腔，以与所述阀腔的在所述外密封表面的径向外侧的所述外周边部分相交。3.如权利要求1和2中任一项所述的歧管主体，其中所述第一阀主体区段的所述上部周界壁部分包括与所述第二阀主体区段的所述上部周界壁的相邻部分熔合的一部分。4.如权利要求1至3中任一项所述的歧管主体，所述歧管主体还包括至少一个流动导管区段，所述至少一个流动导管区段从所述一个或多个流动端口中的一者延伸到端部端口。5.如权利要求4所述的歧管主体，其中所述至少一个流动导管区段包括延伸到所述端部端口的竖直延伸部分。6.如权利要求5所述的歧管主体，其中所述竖直延伸部分限定与所述歧管主体的其余部分间隔开的管状部分。7.如权利要求4至6中任一项所述的歧管主体，其中所述端部端口包括模块化安装表面，所述模块化安装表面具有用于容纳模块化C形密封连接件的密封沉孔和紧固件孔。8.如权利要求4至7中任一项所述的歧管主体，其中所述至少一个流动导管区段包括水平延伸的流动路径部分，所述水平延伸的流动路径部分至少部分地与所述第一阀区段和所述第二阀区段中的至少一者的所述阀腔横向地对准。9.如权利要求1至8中任一项所述的歧管主体，其中所述第一阀区段和所述第二阀区段中的至少一者的所述下部基部部分具有小于对应的上部周界壁部分的外径的外径。10.如权利要求1至9中任一项所述的歧管主体，所述歧管主体还包括至少一个带孔口的安装凸台，所述至少一个带孔口的安装凸台与所述第一阀区段和所述第二阀区段中的一者的所述上部周界壁的相邻部分熔合。11.如权利要求1至10中任一项所述的歧管主体，其中所述歧管主体是整体部件。12.如权利要求1至11中任一项所述的歧管主体，其中所述歧管主体的至少一部分使用增材制造技术来产生。13.一种阀歧管组件，所述阀歧管组件包括：如权利要求1至12中任一项所述的歧管主体；第一阀子组件，所述第一阀子组件安装在所述第一阀区段的所述阀腔中；以及第二阀子组件，所述第二阀子组件安装在所述第二阀区段的所述阀腔中。14.如权利要求13所述的阀歧管组件，其中所述第一阀子组件与所述第一阀区段的周
界壁的螺纹部分螺纹地接合，并且所述第二阀子组件与所述第二阀区段的周界壁的螺纹部分螺纹地接合。15.一种阀主体，所述阀主体包括：限定阀腔的上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的下部基部部分；以及泄漏测试通道，所述泄漏测试通道形成于所述阀主体的所述上部周界壁部分中，其中所述泄漏测试通道的第一部分穿过所述上部周界壁部分轴向地延伸到所述上部周界壁部分的端部表面上暴露的泄漏测试端口，并且所述泄漏测试通道的第二部分穿过所述上部周界壁部分的下部端部横向地或径向地延伸到所述阀腔，以与所述阀腔的在所述阀腔中的外密封表面的径向外侧的外周边部分相交。16.如权利要求15所述的阀主体，所述阀主体还包括至少一个流动导管区段，所述至少一个流动导管区段从所述一个或多个流动端口中的一者延伸到端部端口。17.如权利要求16所述的阀主体，其中所述至少一个流动导管区段包括延伸到所述端部端口的竖直延伸部分。18.如权利要求16和17中任一项所述的阀主体，其中所述竖直延伸部分限定与所述阀主体的其余部分间隔开的管状部分。19.如权利要求16至18中任一项所述的阀主体，其中所述端部端口包括模块化安装表面，所述模块化安装表面具有用于容纳模块化C形密封连接件的密封沉孔和紧固件孔。20.如权利要求16至19中任一项所述的阀主体，其中所述至少一个流动导管区段包括水平延伸的流动路径部分，所述水平延伸的流动路径部分至少部分地与所述阀腔横向地对准。21.如权利要求15至20中任一项所述的阀主体，其中第一阀区段和第二阀区段中的至少一者的所述下部基部部分具有小于对应的上部周界壁部分的外径的外径。22.如权利要求15至21中任一项所述的阀主体，所述阀主体还包括至少一个带孔口的安装凸台，所述至少一个带孔口的安装凸台与所述上部周界壁的相邻部分熔合。23.如权利要求15至22中任一项所述的阀主体，其中所述上部周界壁部分和所述下部基部部分形成第一阀区段，所述阀主体还包括第二阀区段，所述第二阀区段包括限定第二阀腔的第二上部周界壁部分和限定一个或多个流动端口的第二下部基部部分。24.如权利要求15至23中任一项所述的阀主体，其中所述歧管主体是整体部件。25.如权利要求15至24中任一项所述的阀主体，其中所述阀主体的至少一部分使用增材制造技术来产生。26.一种歧管组件，所述歧管组件包括：歧管主体，所述歧管主...

【专利技术属性】
技术研发人员：威廉姆三世，
申请(专利权)人：斯瓦戈洛克公司，
类型：发明
国别省市：