一种清洁型高效真空蚀刻线设备制造技术

技术编号:34082259 阅读:9 留言:0更新日期:2022-07-11 19:09
本实用新型专利技术公开了一种清洁型高效真空蚀刻线设备,该清洁型高效真空蚀刻线设备,包括防护箱,还包括:活动箱,所述防护箱内部固定设置有隔板,所述隔板顶部设置有固定箱,所述固定箱上方设置有活动箱,所述固定箱内部设置有安装板,所述安装板上分别设置有第一喷管和第二喷管,所述防护箱外部设置有气泵,所述气泵与活动箱内部相连通;清洁管,所述固定箱内部设置有多个进液管,所述进液管一端与清洁管相连通,所述防护箱内部设置有废液箱,所述废液箱与清洁管相连通;真空蚀刻线设备通过活动箱向下与固定箱相贴合形成用于导料板蚀刻的密封箱,气泵向密封箱内部吹气,将废液通过进液管、清洁管吹入废液箱中,便于后续的废液回收。便于后续的废液回收。便于后续的废液回收。

A clean and efficient vacuum etching line equipment

【技术实现步骤摘要】
一种清洁型高效真空蚀刻线设备


[0001]本技术涉及真空蚀刻
,具体是一种清洁型高效真空蚀刻线设备。

技术介绍

[0002]蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,在电路板的制作过程中,通常采用真空蚀刻设备对电路板进行加工。
[0003]传统的真空蚀刻线设备结构复杂,使用不便,无法保证电路板表面的清洁度,反应后的药水清理困难,无法快速的对电路板上的残余药水进行吸取,导致电路板局部蚀刻均匀性差,影响产品的后续使用效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种清洁型高效真空蚀刻线设备,以解决真空蚀刻设备清洁残留药水困难的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种清洁型高效真空蚀刻线设备,包括防护箱,还包括:
[0007]活动箱,所述防护箱内部固定设置有隔板,所述隔板顶部设置有固定箱,所述固定箱上方设置有活动箱,所述固定箱与活动箱内部均设置有安装板,所述安装板上分别设置有第一喷管和第二喷管,所述防护箱外部设置有气泵,所述气泵与活动箱内部相连通;
[0008]清洁管,所述固定箱内部设置有多个进液管,所述进液管一端与清洁管相连通,所述防护箱内部设置有废液箱,所述废液箱与清洁管相连通,所述固定箱顶部设置有密封圈;
[0009]升降机构,安装在所述防护箱顶部,能够带动活动箱上下运动;
[0010]导向机构,与所述活动箱相连接,能够对活动箱的运动方向进行导向。r/>[0011]在上述技术方案的基础上,本技术还提供以下可选技术方案:
[0012]在一种可选方案中:所述升降机构包括滑动杆、齿条、齿轮和用于驱动齿轮转动的动力件,所述活动箱顶部固定设置有滑动杆,所述滑动杆一端穿出防护箱并设置有限位板,所述滑动杆外部设置有齿条,所述齿轮设置在防护箱外部并与齿条相啮合。
[0013]在一种可选方案中:所述导向机构包括横板、导向杆和支撑弹簧,所述活动箱侧壁设置有横板,所述横板上固定设置有导向杆,所述导向杆一端穿出隔板并设置有支撑块,所述支撑块与隔板之间设置有支撑弹簧,所述支撑弹簧套设在导向杆上。
[0014]在一种可选方案中:所述防护箱顶部设置有进液泵,所述进液泵出液口设置有排液管,所述排液管分别与第一喷管和第二喷管相连通。
[0015]在一种可选方案中:所述气泵通过气管与活动箱内部相连通,所述活动箱外部设置有多个连接弹簧,所述连接弹簧一端与防护箱内壁相连接。
[0016]相较于现有技术,本技术的有益效果如下:
[0017]真空蚀刻线设备通过活动箱向下与固定箱相贴合形成用于导料板蚀刻的密封箱,
密封圈对贴合位置进行密封,多个第一喷管和第二喷管均匀分布在电路板的两侧,保证了电路板表面的蚀刻均匀,气泵抽出密封箱内部的空气,形成真空,加工完成后,气泵向密封箱内部吹气,将废液通过进液管、清洁管吹入废液箱中,便于后续的废液回收。
附图说明
[0018]图1为清洁型高效真空蚀刻线设备的结构示意图。
[0019]图2为清洁型高效真空蚀刻线设备中活动箱的剖视图。
[0020]图3为清洁型高效真空蚀刻线设备中滑动杆的结构示意图。
[0021]附图标记注释:1

防护箱、2

活动箱、3

固定箱、4

安装板、5

第二喷管、6

第一喷管、7

横板、8

导向杆、9

支撑块、10

支撑弹簧、11

隔板、12

进液管、13

连接管、14

清洁管、15

单向阀、16

支撑杆、17

废液箱、18

进液泵、19

排液管、20

气泵、21

气管、22

连接弹簧、23

固定板、24

转动杆、25

齿轮、26

齿条、27

滑动杆、28

限位板、29

密封圈、30

电机。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明;在附图或说明中,相似或相同的部分使用相同的标号,并且在实际应用中,各部件的形状、厚度或高度可扩大或缩小。本技术所列举的各实施例仅用以说明本技术,并非用以限制本技术的范围。对本技术所作的任何显而易知的修饰或变更都不脱离本技术的精神与范围。
[0023]在一个实施例中,如图1

3所示,一种清洁型高效真空蚀刻线设备,包括防护箱1,还包括:
[0024]活动箱2,所述防护箱1内部固定设置有隔板11,隔板11通过一侧设置的支撑杆16安装在防护箱1内部,所述隔板11顶部设置有固定箱3,所述固定箱3上方设置有活动箱2,所述固定箱3与活动箱2内部均设置有安装板4,所述安装板4上分别设置有第一喷管6和第二喷管5,所述防护箱1外部设置有气泵20,气泵20包括真空泵和空气泵,能够进行吸气和进气,所述气泵20通过气管21与活动箱2内部相连通;
[0025]清洁管14,所述固定箱3内部设置有多个进液管12,隔板11一侧设置有连接管13,多个所述进液管12安装在连接管13上,所述连接管13与清洁管14相连通,清洁管14上设置有单向阀15,所述防护箱1内部设置有废液箱17,所述废液箱17与清洁管14相连通,所述固定箱3顶部设置有密封圈29;
[0026]升降机构,安装在所述防护箱1顶部,能够带动活动箱2上下运动;
[0027]导向机构,与所述活动箱2相连接,能够对活动箱2的运动方向进行导向。
[0028]清洁型高效真空蚀刻线设备通过升降机构带动活动箱2上下运动,活动箱2向下与固定箱3相贴合形成用于导料板蚀刻的密封箱,密封圈29对贴合位置进行密封,多个电路板放置在第一喷管6和第二喷管5,同时对多个电路板进行蚀刻,加快了真空蚀刻的速度,多个第一喷管6和第二喷管5均匀分布在电路板的两侧,保证了电路板表面的蚀刻均匀,气泵20抽出密封箱内部的空气,形成真空,加工完成后,气泵20向密封箱内部吹气,将废液通过进液管12、清洁管15吹入废液箱17中,便于后续的废液回收,作为一个实施例,附图中给出的
各个部件的左右上下位置只是一种排布方式,具体的位置根据具体需要设定。
[0029]在一个实施例中,如图1所示,所述升降机构包括滑动杆27、齿条26、齿轮25和用于驱动齿轮25本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洁型高效真空蚀刻线设备,包括防护箱,其特征在于,还包括:活动箱,所述防护箱内部固定设置有隔板,所述隔板顶部设置有固定箱,所述固定箱上方设置有活动箱,所述固定箱与活动箱内部均设置有安装板,所述安装板上分别设置有第一喷管和第二喷管,所述防护箱外部设置有气泵,所述气泵与活动箱内部相连通;清洁管,所述固定箱内部设置有多个进液管,所述进液管一端与清洁管相连通,所述防护箱内部设置有废液箱,所述废液箱与清洁管相连通,所述固定箱顶部设置有密封圈;升降机构,安装在所述防护箱顶部,能够带动活动箱上下运动;导向机构,与所述活动箱相连接,能够对活动箱的运动方向进行导向。2.根据权利要求1所述的清洁型高效真空蚀刻线设备,其特征在于,所述升降机构包括滑动杆、齿条、齿轮和用于驱动齿轮转动的动力件,所述活动箱顶部固定设置有滑...

【专利技术属性】
技术研发人员:范亮亮陈隆钟黄巧莉林秀娜
申请(专利权)人:深圳市兴亚柔性电路板有限公司
类型:新型
国别省市:

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