一种MEMS硅基孔腔雾化芯制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS硅基孔腔雾化芯，包括：硅衬底、填充层和加热丝，硅衬底一侧表面设置有若干个微孔、相对的另一侧表面设置有至少一个进液孔，微孔包括雾化孔和释放孔，硅衬底内部设置有储液腔，释放孔连通至储液腔，雾化孔连通至储液腔，进液孔连通至储液腔，填充层制作在硅衬底上微孔一侧表面，填充层封闭释放孔顶部，加热丝制作在填充层表面，加热丝的端部设置有接触电极。本实用新型专利技术相较于现有技术，雾化芯的锁油性能好，加工良率高，雾化加热面积大，加热时温度均匀性高，材料对人体无危害。无危害。无危害。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS硅基孔腔雾化芯


[0001]本技术属于发热雾化芯领域，尤其涉及一种MEMS硅基孔腔雾化芯。

技术介绍

[0002]发热雾化芯作为液体雾化产品的核心部件，对液体进行加热，使其变为雾状气溶胶形态散发出来，雾化元件加热雾化液体时要做到快速、均匀、一致、细腻且尽量减少有害物质产生。
[0003]现有液体加热雾化芯主要有以下两种类型：包棉雾化芯和多孔陶瓷雾化芯。包棉雾化芯中金属发热丝和棉芯直接接触，在高温下，发热丝中的金属成分以及棉芯材料的碎屑可能会被雾化形成的气溶胶携带而被使用者吸入，造成潜在的健康危害。同时，棉芯与金属发热丝非均匀接触，受热不均匀，以及高温碳化也会引起发热丝电阻变化，进而引起发热丝温度变化，使得雾化均匀性、稳定性、一致性较差。多孔陶瓷雾化芯由多孔陶瓷和发热电极两部分构成。多孔陶瓷经过高温烧结制成碗状结构，发热膜设计成特定形状附着在陶瓷表面，在工作过程中，发热膜通过均匀发热，把液体加热形成雾气，由陶瓷微孔散发。由于微米级蜂窝孔的存在，其雾化出的气溶胶更加细腻。并且通过调整微孔的大小、孔隙率，可以控制陶瓷芯的锁液、储液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS硅基孔腔雾化芯，其特征在于，包括：硅衬底(1)、填充层(2)和加热丝(3)，所述硅衬底(1)一侧表面设置有若干个微孔、相对的另一侧表面设置有至少一个进液孔(11)，所述微孔包括雾化孔(12)和释放孔(13)，所述硅衬底(1)内部设置有储液腔(14)，所述释放孔(13)连通至所述储液腔(14)，所述雾化孔(12)连通至所述储液腔(14)，所述进液孔(11)连通至所述储液腔(14)，所述填充层(2)制作在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文翔，王敏锐，
申请(专利权)人：美满芯盛杭州微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：