表面声波器件制造技术

表面声波器件包括一表面声波谐振器。该表面声波谐振器包括多个梳状电极和在该多个梳状电极的两侧设置的多个反射电极，并且每一所述反射电极具有至少两个不同间距。因此可以抑制纹波分量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及具有一表面声波谐振器的表面声波器件，更具体来说，涉及具有一对反射电极的表面声波(下文称为SAW)器件的构成，所述一对反射电极置于一对梳状电极的两侧。
技术介绍
近年来，无线装置如移动电话变得越来越小、越来越先进且越来越复杂。无线装置的高频电路包括SAW谐振器的滤波器。该滤波器是梯型滤波器或多模型滤波器。梯型滤波器具有其中多个表面声波滤波器按梯型结构连接的结构。多模型滤波器例如包括双模SAW(DMS)滤波器。图1显示一普通的单端口SAW谐振器，其在第6-338756号日本专利申请公报(下文称为文献1)和第10-215145号日本专利申请公报(下文称为文献2)中进行了描述。该SAW谐振器包括置于一压电基底上的一对梳状电极10。梳状电极10以交替方式交错置于压电基底上，被称为叉指型换能器(IDT)。每一梳状电极包括一汇流排(bus bar)和从所述汇流排开始沿相同方向延伸的多个电极指(electrode finger)。从同一汇流排开始延伸的所述多个电极指之间的间距(周期)λIDT确定IDT 10的波长。IDT 10具有单一的间距λIDT。在IDT 10的两侧设有一对反射电极12和14。图1中所示的反射电极12和14被称为光栅型电极，并且从一个汇流排开始延伸的多个电极指连接到另一汇流排。反射电极12和14的间距λa和λb对应于交替的电极指之间的周期。反射电极12具有间距λa，反射电极14具有间距λb。这里λa等于λb。然而，文献1和2中描述的常规SAW谐振器的问题在于谐振特性包括波动分量。图2是示出图1中所示的SAW谐振器的谐振特性的曲线图。参照图2，水平轴表示频率(MHz)，而垂直轴表示衰减(dB)。如图2中所示，该曲线示出谐振特性包括多个峰值，即纹波分量。图3显示当滤波器是由上述多个SAW谐振器组成的情况下的滤波特性。参照图3，在一个通带中包括多个纹波分量。这样，难以使用常规的滤波器形成平坦的通带。
技术实现思路
考虑到上述情况提出本专利技术，本专利技术提供了一种SAW器件，其特性在于其中的纹波分量得到了抑制。根据本专利技术的一个方面，优选地，提供了一种包括表面声波谐振器的表面声波器件。该表面声波谐振器包括多个梳状电极和置于梳状电极的两侧的多个反射电极，并且每一反射电极具有至少两个不同的间距。附图说明参照以下附图详细描述本专利技术的优选实施例，其中图1显示一常规的SAW谐振器；图2是说明图1所示SAW谐振器的谐振特性的曲线图；图3是说明具有多个图1所示SAW谐振器的滤波器的滤波特性的曲线图；图4显示根据本专利技术实施例的SAW器件(谐振器)；图5是说明具有多个图4所示SAW谐振器的滤波器的谐振特性的曲线图；图6是说明具有多个图4所示SAW器件的滤波器的滤波特性的曲线图；图7显示根据本专利技术第一实施例的SAW器件；图8是说明根据本专利技术第一实施例的谐振特性的曲线图；图9显示根据本专利技术第二实施例的SAW器件；图10是说明根据本专利技术第二实施例的谐振特性的曲线图；图11显示根据本专利技术第三实施例的SAW器件；图12显示根据本专利技术第四实施例的SAW器件；以及图13是说明根据本专利技术第四实施例的滤波特性的曲线图。具体实施例方式现在参照附图描述本专利技术的实施例。图4显示根据本专利技术实施例的SAW器件。所述SAW器件包括一IDT10以及反射电极22和24。IDT 10置于压电单晶体(如LT(LiTaO3)或LN(LiNbO3))制成的压电基底上。在图4中，压电基底对应于纸。反射电极22和24排列在IDT 10的两侧。SAW器件充当单端口SAW谐振器。IDT 10包括一对梳状电极，并且在两个汇流排之间施加驱动电压来激励依照间距λIDT的表面声波IDT 10。置于压电基底上的反射电极22和24充当反射体，并且限制从IDT 10传播的SAW。本专利技术的专利技术人发现，通过设计反射电极的结构可以减少SAW器件的谐振特性中的纹波。反射电极22具有n个不同的间距λa1、λa2、λa3、λa4……，以及λan(λa1≠λa2≠λa3≠λa4≠……≠λan)。n是2或大于2的自然数。换句话说，反射电极22具有n个不同的波长λa1、λa2、λa3、λa4……，以及λan(λa1≠λa2≠λa3≠λa4≠……≠λan)。n是2或大于2的自然数。反射电极22在每一间距中包括至少一对电极指。为了便于理解这种构成，图4中的反射电极22在每个间距中具有三对电极指。以此方式，将反射电极22中的多对电极指划分为n对。电极22具有多对电极指，它们分别具有不同的间距λa1、λa2、λa3、λa4……，以及λan。如上所述，专利技术人发现，将反射电极分为具有不同间距值的n对，可以减少谐振特性中所包括的纹波分量。也就是说，通过构造反射电极22使其具有多个不同的反射波长便可减少谐振特性中所包括的纹波。反射电极24与反射电极22具有一样的构成。也就是说，反射电极24具有n个不同的间距λb1、λb2、λb3、λb4……，以及λbn(λb1≠λb2≠λb3≠λb4≠……≠λbn)。n是2或大于2的自然数。换句话说，反射电极24具有n个不同的波长λb1、λb2、λb3、λb4……，以及λbn(λb1≠λb2≠λb3≠λb4≠……≠λbn)。n是2或大于2的自然数。反射电极24在每一间距中包括至少一对电极指。为了便于理解这种构成，图4中的反射电极24在每个间距中具有三对电极指。以此方式，将反射电极24中的电极指对分为n对。电极24具有多对电极指，它们分别具有不同的间距λb1、λb2、λb3、λb4……，以及λbn。图5显示图4中所示SAW器件的谐振特性。图5中的实线表示SAW器件的谐振特性。为进行比较，虚线表示图2中所示常规SAW器件的谐振特性。在反射电极22和24分别具有两种不同间距的情况下，谐振特性的纹波分量可得到抑制。图6显示其中以梯型结构连接多个SAW谐振器的SAW器件的滤波特性。参照图6，在以梯型结构连接多个SAW谐振器的情况下，可获得带通滤波特性。图6中的实线表示图4中所示SAW谐振器的滤波特性。图6中的虚线表示图1中所示的、以梯型结构连接的SAW谐振器的滤波特性。优选地，反射电极22和24的划分数量n是相等的。然而，即使划分数量不相等，也可证实抑制纹波的效果。另外，电极22和24的对应部分可以具有相同的间距或者可以具有不同的间距。举例而言，与IDT 10最近的λa1和λb1可以相等(λa1＝λb1)或者可以不相等(λa1≠λb1)。此外，具有相同间距的电极指可以排列在不同的地方。在极端情况下，λa1可以等于λbn，也就是说，λa1＝λbn。另外，反射电极22的所述多个间距的一部分可以与反射电极24的不同。在反射电极22和24中，具有相同间距的电极指的对数可以不同。(第一实施例)图7显示根据本专利技术第一实施例的SAW器件。所述SAW器件包括IDT 10和一对反射电极32和34。IDT 10置于42°Y切割X传播(42°Y-cutX-propagation)LitaO3制成的压电基底上。该一对反射电极32和34排列在IDT 10的两侧。排列在压电基底上的电极图形是由例如以铝为主要成分的导电材料制成的。将反射电极32分为两个分割部分a1和a2。一个分割部分a1包括按间距λa1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面声波器件，包括一表面声波谐振器，其中：该表面声波谐振器包括多个梳状电极和在该多个梳状电极的两侧设置的多个反射电极；并且每一所述反射电极具有至少两个不同间距。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤原之，川内治，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]