一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置，包括由首端面板、首段腔体、中段腔体、尾段腔体、尾端面板依次密封连接形成的冷却腔体和螺旋波等离子体源。螺旋波等离子体源包括贯穿冷却腔体的放电室，嵌套于中、尾段腔体内部的环形永磁铁，位于冷却腔体内部且环绕、紧贴放电室外壁的天线和连通射频电源与天线且贯穿首端面板的电极棒。冷却液进、出口设置在冷却腔体的首端面板外表面，并与冷却腔体连通。本实用新型专利技术有效降低了螺旋波等离子体源在千瓦级功率运行时天线的温度，有效降低冷却腔体内部温度对环形永磁铁磁场的影响，实现了千瓦级螺旋波等离子体装置长时间稳态放电，并展示了永磁铁应用于大功率螺旋波等离子体源的可能性。螺旋波等离子体源的可能性。螺旋波等离子体源的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置


[0001]本技术涉及低温等离子体源应用领域，具体涉及一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置。

技术介绍

[0002]一种可以在稳定状态下高效运行的高密度、高电离率、紧凑型螺旋波等离子体源，是等离子研究和应用的有力装置。几十年来，研究人员在装置的尺寸、磁场位型和强度以及中性气体压力等广泛参数上对螺旋波等离子体进行了深入研究。由于螺旋波等离子体源可以产生高密度(电子密度高达10
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‑3)、低温(电子温度从几个eV到十几个eV)、高电离率(电离度超过70％)、低中性气压(压力范围从0.1到几Pa)和低射频功率(输入射频功率小于几千瓦)，螺旋波等离子体源是等离子体研究的潜在候选者，作为等离子源可用于半导体制造(等离子体刻蚀)、气体激光器、构建磁约束核聚变中偏滤器等离子体环境、等离子加速器和航天中人造卫星深空探测的等离子体电推进器，也可作为基础等离子物理中湍流等的物理研究平台。
[0003]该螺旋波等离子体源装置是无电极射频等离子体源装置，是利用射频电源激励本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置，其特征在于，包括冷却腔体(1)和螺旋波等离子体源；所述冷却腔体(1)由首端面板(2)、首段腔体(3)、中段腔体(4)、尾段腔体(5)和尾端面板(6)依次密封连接而成；所述螺旋波等离子体源，包括贯穿冷却腔体(1)的放电室(7)，嵌套于中段腔体(4)内部和尾段腔体(5)内部的环形永磁铁(11)，位于冷却腔体(1)内部且环绕放电室(7)外壁的天线(12)和连通射频电源与天线(12)且贯穿首端面板(2)的电极棒(8)；冷却液进口(2a)和冷却液出口(2b)均设置在冷却腔体(1)的首端面板(2)外表面，冷却液进口(2a)和冷却液出口(2b)均与冷却腔体(1)连通。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述螺旋波等离子体源稳态放电装置还包括腔体固定支撑结构；所述腔体固定支撑结构，包括支撑并固定冷却腔体(1)的固定夹具(9)及支撑件(10)。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，包括首端面板(2)与首段腔体(3)连接处通过首段腔体密封凹槽和氟橡胶圈(3a)密封并用螺栓固定；首段腔体(3)与中段腔体(4)连接处通过中段腔体前密封凹槽和氟橡胶圈(4a)密封并用螺栓固定；中段腔体(4)与尾段腔体(5)连接处通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢智康，徐国盛，叶孜崇，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：新型
国别省市：