精密电容测微仪温漂补偿之传感器安装夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种精密电容测微仪温漂补偿之传感器安装夹具，包括上夹板、夹具底座；所述的上夹板、夹具底座上下平行设置，并且上夹板、夹具底座一端之间设有垂直的立柱，立柱上下端分别与上夹板、夹具底座固定连接；所述的上夹板另一端设有安装通孔，传感器垂直的安装在所述的安装通孔内，并通过顶丝固定；夹具底座的上平面和传感器的下端面均为敏感工作面，两敏感工作面之间为被测隔膜放置位置；上夹板、夹具底座、立柱所用金属材料与传感器均相同。本实用新型专利技术实现夹具和传感器在竖直方向形成的热胀冷缩增量的互相抵消，从而来抑止精密电容测微仪器输出的温度漂移，达到客观真实测量隔膜厚度的功能。测量隔膜厚度的功能。测量隔膜厚度的功能。

【技术实现步骤摘要】
精密电容测微仪温漂补偿之传感器安装夹具


[0001]本技术属于测量
，具体涉及一种精密电容测微仪温漂补偿之传感器安装夹具。

技术介绍

[0002]精密电容测微仪是一种精密测量仪器。它可以应用于物体的微小位移、变形量、磨损量、薄膜油膜气膜和胶带涂层厚度等精密测量，也可以对机械或物体的微小振动进行精密测量(动态频响2.7KHz)，它还可应用于弹簧高度自动分选、压电陶瓷电致伸缩变形特性和陀螺马达刚度等测试。我公司研发生产的JWZC
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I型精密电容测微仪采用运算式测量原理和驱动电缆技术，是一种非接触式测量仪器，仪器测量精度、分辨率与测量位移或厚度大小(量程)有关。在小量程范围内，分辨率可高达纳米级。当测量最佳初始间距增大至3mm时，传感器敏感有效直径为φ18(装夹外径φ30)，仪器表头显示分辨到0.1μm，仪器本身直流输出电压分辨率为0.05μm/mV，测量范围可达
±
500μm，最佳线性范围
±
50μm。该电容传感测试仪器系统已在科研院所和高校的科学实验研究、机械加工制造与过程控制、航空航天本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.精密电容测微仪温漂补偿之传感器安装夹具，其特征在于，包括上夹板(1)、夹具底座(2)；所述的上夹板(1)、夹具底座(2)上下平行设置，并且上夹板(1)、夹具底座(2)一端之间设有垂直的立柱(3)，立柱(3)上下端分别与上夹板(1)、夹具底座(2)固定连接；所述的上夹板(1)另一端设有安装通孔，传感器(4)垂直的安装在所述的安装通孔内，并通过顶丝(5)固定；夹具底座(2)的上平面和传感器(4)的下端面均为敏感工作面，敏感工作面要求平整光...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓湘，李道佳，
申请(专利权)人：北京飞纳英创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：