MEMS谐振器、制造这种谐振器的方法以及MEMS振荡器技术

本发明专利技术涉及一种ＭＥＭＳ谐振器，其包括可移动元件（４８），所述可移动元件（４８）包括具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数的第一部分（Ａ），所述可移动元件（４８）还包括具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数的第二部分（Ｂ），第二温度系数的符号与第一温度系数的符号至少在该ＭＥＭＳ谐振器的工作条件下是相反的，第一部分（Ａ）的横截面积和第二部分（Ｂ）的横截面积是这样的：第一部分（Ａ）的杨氏模量的绝对温度系数与第一部分（Ａ）的横截面积的乘积对第二部分（Ｂ）的杨氏模量的绝对温度系数与第二部分（Ｂ）的横截面积的乘积的偏离不超过２０％，横截面积是局部垂直于可移动元件（４８）测得的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ谐振器，其包括可移动元件（４８），所述可移动元件（４８）包括具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数的第一部分（Ａ），所述可移动元件（４８）还包括具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数的第二部分（Ｂ），第二温度系数的符号与第一温度系数的符号至少在该ＭＥＭＳ谐振器的工作条件下是相反的，第一部分（Ａ）的横截面积和第二部分（Ｂ）的横截面积是这样的：第一部分（Ａ）的杨氏模量的绝对温度系数与第一部分（Ａ）的横截面积的乘积对第二部分（Ｂ）的杨氏模量的绝对温度系数与第二部分（Ｂ）的横截面积的乘积的偏离不超过２０％，横截面积是局部垂直于可移动元件（４８）测得的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫TM范贝克，汉斯彼得勒布尔，弗里德里克WM范赫尔门特，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]